Cleanrooms worden gebruikt in vrijwel elke industrie waar kleine deeltjes het productieproces negatief kunnen beïnvloeden. Ze variëren in omvang en complexiteit, en worden uitgebreid gebruikt in industrieën zoals de productie van halfgeleiders, farmaceutische producten, biotechnologie, medische apparatuur en biowetenschappen, evenals cruciale procesproductie die gebruikelijk is in de lucht- en ruimtevaart, de optica, het leger en het ministerie van energie.
Een cleanroom is elke ruimte waarin voorzieningen worden getroffen om deeltjesverontreiniging te verminderen en andere milieuparameters zoals temperatuur, vochtigheid en druk te controleren. Het belangrijkste onderdeel is het High efficiency Particulate Air (HEPA)-filter dat wordt gebruikt om deeltjes op te vangen die 0.3 micron en groter zijn. Alle lucht die wordt geleverd aan een cleanroom stroomt door HEPA-filters, en in sommige gevallen waar strenge zuiverheidseisen moeten worden gesteld, worden Ultra Low Particulate Air (ULPA)-filters gebruikt.
Personeel dat in cleanrooms wordt geselecteerd, ondergaat een uitgebreide training in de theorie van de contaminatiebestrijding. Zij gaan de cleanroom binnen en verlaten door luchtsluizen, luchtdouches en/of het bezitten van ruimten, en zij moeten speciale kleding dragen die wordt ontworpen om verontreinigende stoffen op te sluiten die natuurlijk door huid en het lichaam worden geproduceerd.
Afhankelijk van de classificatie of functie van de ruimte kan het personeel dat de kleding in handen heeft net zo beperkt zijn als laboratoriumjassen en haarnetten, of net zo uitgebreid als volledig gewikkeld in meerdere gelaagde bunny-pakken met onafhankelijk ademingsapparaat.
Cleanroom-kleding wordt gebruikt om te voorkomen dat stoffen van het lichaam van de drager vrijkomen en het milieu vervuilen. De cleanroom-kleding zelf mag geen deeltjes of vezels vrijkomen om verontreiniging van het milieu door personeel te voorkomen. Dit soort besmetting van personeel kan de productprestaties in de halfgeleider- en farmaceutische industrie nadelig beïnvloeden en kan kruisbesmetting veroorzaken tussen medisch personeel en patiënten in de gezondheidszorg.
Cleanroom-kleding omvat laarzen, schoenen, schorten, baardbeschermers, bouffant caps, overalls, gezichtsmaskers, rotsen/laboratoriumjassen,
badjassen, handschoen- en vingerbeschermers, haarnetten, kappen, mouwen en schoenovertrekken. Het type cleanroom-kleding dat wordt gebruikt, moet overeenkomen met de cleanroom- en productspecificaties. Voor cleanrooms op laag niveau zijn mogelijk alleen speciale schoenen nodig met een volledig gladde zool die niet in stof of vuil wordt getraced. De onderkant van de schoen mag echter geen gevaar voor uitglijden veroorzaken, omdat veiligheid altijd voorop staat. Een cleanroom-pak is meestal vereist voor het betreden van een cleanroom. Klasse 10, 000 cleanrooms kunnen eenvoudige smocks, hoofddeksels en booties gebruiken. Voor cleanrooms van klasse 10 zijn zorgvuldige procedures voor het dragen van een handschoen met een ritssluiting voor alle cleanrooms, laarzen, handschoenen en een volledige behuizing voor adembescherming vereist.
Klasse |
maximale deeltjes per m3 |
FED STD 209E
equivalent |
> =0.1 µm |
> =0.2 µm |
> =0.3 µm |
> =0.5 µm |
> =1 µm |
> =5 µm |
ISO 1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
|
ISO 2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
|
|
|
ISO 3 |
1, 000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
Klasse 1 |
ISO 4 |
10, 000 |
2, 370 |
1, 020 |
352 |
83 |
|
Klasse 10 |
ISO 5 |
100, 000 |
23, 700 |
10, 200 |
3, 520 |
832 |
29 |
Klasse 100 |
ISO 6 |
1, 000, 000 |
237, 000 |
102, 000 |
35, 200 |
8, 320 |
293 |
Klasse 1, 000 |
ISO 7 |
|
|
|
352, 000 |
83, 200 |
2, 930 |
Klasse 10, 000 |
ISO 8 |
|
|
|
3, 520, 000 |
832, 000 |
29, 300 |
Klasse 100, 000 |
ISO 9 |
|
|
|
35, 200, 000 |
8, 320, 000 |
293, 000 |
Kamer Air |