Pecvd Plasma Enhanced Chemische vapor-depositie

• After-sales Service: 1 Year
• Warranty: 1 Year
• Application: Industry, School, Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE
• Structure: Desktop
• Model NR.: CY-PECVD-240
• Material: Stainless Steel
• Type: Tubular Furnace
• koelmethode voor rf-voeding: luchtkoeling
• verwarmingszone: enkele verwarmingszone 200 mm
• temperatuurnauwkeurigheid: +-1c
• materiaal van de ovenbuis: kwarts met hoge zuiverheid
• grootte van de ovenbuis: diam. 50*1200 mm
• instelbare snelheid: 0-20 tpm
• Transportpakket: Standard Export Wooden Packaging
• Handelsmerk: CYKY
• Oorsprong: Zhengzhou Henan China
• Gs-Code: 8401200000
• Productiecapaciteit: 50sets Per Month

Beschrijving

PECVD Plasma Enhanced Chemische vapor-depositie voor amorf silicium en microkristallijne siliconenfilms

Productbeschrijving

CY-PECVD-240 chemische dampafzetting met behulp van plasma-versterkte chemische dampafzetting technologie, lage basistemperatuur, snelle afzetting, afzetting van siliciumnitride, amorf silicium en microkristallijne siliconenfilms op optisch glas, silicium, kwarts, roestvrij staal en andere substraatmaterialen, goede kwaliteit van filmvorming, minder gaatjes, niet makkelijk te kraken. Het is geschikt voor de bereiding van amorfe silicium en microkristallijne silicium dunne film zonnecellen, en kan op grote schaal worden gebruikt bij het onderzoek en de kleine batch-voorbereiding van dunne film materialen in hogescholen en universiteiten en wetenschappelijke onderzoeksinstellingen.

Belangrijkste functies en kenmerken:

PECVD-apparatuur gebruikt het principe van capacitieve gloeiontlading met platte platen om het procesgas dat de depositiekamer binnengaat te scheiden en plasma te genereren. De gedistantieerde groepen reageren chemisch opnieuw in het plasma. Door de aanwezigheid van plasma worden de ontleding, de combinatie, excitatie en ionisatie van gasmoleculen bevorderd, en wordt de vorming van reactieve groepen bevorderd, waardoor de depositietemperatuur wordt verlaagd. Een film wordt op een ondergrond neergezet bij een bepaalde temperatuur. De dichtheid en energie van het plasma kunnen worden aangepast aan het proces, en de groeisnelheid en microstructuur van de film kunnen worden gecontroleerd.

Productparameters

Productmodel	CY-PECVD-240 apparatuur voor het afzetten van chemische dampen
Staat van de installatie	De apparatuur moet worden gebruikt op een hoogte van minder dan 1000 m, bij een temperatuur van 25 ° C ±15 ° C en bij een vochtigheid van 55% RH±10% RV. 1, water: De apparatuur is uitgerust met een zelfcirculerende koelmachine (gevuld met zuiver water of gedeïoniseerd water) 2, elektriciteit: AC220V 50Hz, moet een goede aarding hebben 3. Gas: Stikstof/argon (zuiverheid boven 99.99%) moet in de apparatuurkamer worden gevuld, en de voor het experiment benodigde gasfles moet zelf worden voorbereid (met Ø10mm dubbele mouwverbinding) en drukreduceerklep 4, ventilatievoorziening: vereist
Belangrijkste kenmerk	1. Lage temperatuur voor het vormen van folie vereist 2. Snelle depositie en brede toepassing Klein formaat, eenvoudig te bedienen 4. Eenvoudig te bedienen met radiofrequentie als verbeteringsbron 5. Eenvoudig te reinigen en te installeren. 6. Geïntegreerde bediening via het touchscreen
Voeding radiofrequentie	Signaalfrequentie: 13,56 MHz±0.005% Uitgangsvermogen: 0 ~ 500 W. Gereflecteerd vermogen: <3 W (maximaal vermogen) Stabiliteit van het vermogen: ±0.1%
Vacuümkamer	De capacitieve koppelingsmodus wordt gebruikt met de monsternametabel aan de onderkant en de gastoevoerbuis aan de bovenkant. Monsterverwarming: RT-1000ºC hoger, nauwkeurigheid temperatuurregeling: ±1°C. Monstersnelheid: Instelbaar toerental: 1-20 tpm instelbaar Spuitkop: Φ100mm afstand 40-100mm online continu instelbaar Monsterhouder: Diameter 100 mm Vacuümkamer: Type voordeur, φ245mm X 300 mm roestvrij staal Observatievenster: φ100mm met keerplaat
Gastoevoersysteem	Meetbereik Kanaal A: 0 ~ 200SCCM, Ar gas Kanaal B: 0 tot 200SCCM, O2-gas Kanaal C: 0 ~ 200SCCM, N2-gas Bron van vloeistof: Argon of stikstof Specificatie van de connector: 6,35 mm kabelconnector
Vacuümsysteem	Poort type aanzuigpoort: KF40;uitlaatpoort: G1” Uitlaatsnelheid Stikstof: 60 l/s. Stikstof met beschermnet: 55 l/s. Lagertype: Keramisch lager, met vet gesmeerd Koelmethode: Geforceerde luchtkoeling Toerental: 69000 tr/min. Opstarttijd: 1.5 tot 2 minuten Stoptijd: 15 tot 25 minuten Compressieverhouding N2:2x 107 Compressieverhouding H2:3x 103 Max. Toegestane tegendruk: 800 Pa Levensduur van de lagers: 20000 uur Regelaar van de moleculaire pomp: TC75 Type hulppomp: Tweetraps vacuümpomp met roterende schoepen Uitlaatsnelheid: 160 l/min.
Depositiestudio	0.133-40Pa(kan worden aangepast aan het proces)
Vacuümmeter	Gecombineerde vacuümmeter
Waterkoeler	Waterdebiet: 10 l/min; vermogen: 0,1 kW Koelwatertemperatuur: <37°C.
Garantieperiode	De standaardgarantieperiode is 1 jaar

Gedetailleerde foto's

 

Zhengzhou CY Scientific instrument Co., Ltd. is opgericht in 2005 en is een bedrijf dat gespecialiseerd is in de ontwikkeling en productie van onderzoeksapparatuur voor laboratoriumtechnologie. De producten worden gemengd, geperst, verbrand, gesneden, gemalen, gepolijste, gecoate, analytische apparatuur en gerelateerde verbruiksartikelen. Tot de producten behoren apparatuur voor het sinteren van laboratoria, coatingapparatuur, enzovoort. Momenteel is het geëxporteerd naar 25 landen en regio's zoals de Verenigde Staten, Europa en Zuidoost-Azië, en is het goed ontvangen door verschillende wetenschappelijke onderzoekseenheden.

We hebben een volwassen technologie onderzoek en ontwikkeling team, het aantal technici is 33, het bedrijf heeft 150 mensen, meer dan 500 vierkante meter kantoorruimte, de fabriek beslaat een gebied van ongeveer 1,500 vierkante meter gelegen in Zhengzhou High-tech Zone Electronic Industrial Park. De producten bevinden zich voornamelijk in de onderzoeksmarkt, die wetenschappelijk onderzoek in de laboratoria van universiteiten en hogescholen dient, en kunnen ook producten aanpassen aan uw behoeften.





V. bent u een fabrikant of een handelsmaatschappij?
A. wij zijn professionele fabrikanten van laboratoriuminstrumenten, hebben een eigen ontwerpteam en fabriek, hebben een volwassen technische ervaring en kunnen de kwaliteit van producten en de optimale prijs garanderen.

V. Hoe is het aftersales-servicesysteem van uw bedrijf?
A. de garantieperiode van het product is 12 maanden, we kunnen levenslange onderhoudswerkzaamheden uitvoeren. We hebben professionele pre-sales- en aftersales-afdelingen die binnen 24 uur op u kunnen reageren om eventuele technische problemen op te lossen.

V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?
A.1. Als de goederen op voorraad zijn, is het 5-10 dagen. We kunnen onze klanten op maat gemaakte diensten aanbieden. Het duurt gewoonlijk 30-60 dagen, afhankelijk van de specificaties van het aangepaste instrument.

V. de stroomvoorziening en stekker in ons land zijn verschillend. Hoe lost u het op?
A. we kunnen een transformator en stekker leveren volgens uw lokale vereisten, afhankelijk van de stekker van verschillende landen.

V. Hoe te betalen?
A.T / T, L / C, D / P, enz., wordt het gebruik van Alibaba Trade Guarantee aanbevolen.

V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?
A.1. Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking 2. Express, lucht, zee scheepvaart volgens de eisen van de klant, vinden de meest geschikte manier.

Neem voor meer vragen contact op met de klantenservice