Moleculaire turbopomp met hoog vacuüm (100mm-serie)

• Materiaal: Roestvrij staal
• Vermogen: Elektrisch
• Valve Body Type: Vlinder
• Functie: Intelligente Type
• membraan Materiaal: FPM
• Prestatie: No Leak
• Model NR.: F-100/110
• theorie: vacuümpomp
• structuur: eentraps pomp
• type: bladpomp
• Transportpakket: Wooden Case
• Handelsmerk: SUOTO
• Oorsprong: Shanghai, China
• Gs-Code: 8414100090
• Productiecapaciteit: 20, 000 PCS/Year

Beschrijving

De moleculaire turbopomp is een mechanische vacuümpomp met een rotor die is gemaakt van een snel draaiend turbineblad, spiraalvormige groef of een combinatie van deze twee. De gasmoleculen komen de moleculaire pomp van de turbo binnen en botsen met het oppervlak van de rotoren, waardoor kinetische energie ontstaat, waardoor de gasmoleculen zich naar de turbomoleculaire pompuitlaat bewegen.

De pompen bieden een volledig magnetische levitatierotor, die een schoon, betrouwbaar vacuüm biedt voor de hedendaagse halfgeleider- en zonne-industrie. Het is voorzien van een 5-assige magnetische lager en een controller voor halve stellingen, waarvoor geen afstelling of reservebatterij, hoge compressie en corrosiebestendig zijn vereist.

Model	F-100/110	F-100/150
Capaciteit(l/s)	110	150
H2-compressieverhouding	5× 10 2	5× 10 2
N2-compressieverhouding	1× 10 8	1× 10 8
Ultieme druk (Pa)	≤ 6× 10 -6 DN100 LF ≤ 6× 10 -8 DN100 CF	≤ 6× 10 -6 DN100 LF ≤ 6× 10 -8 DN100 CF
Rotatiesnelheid (tpm)	42300	42300
Opstarttijd (min)	< 2	< 2
Inlaatflens	KF25 (DN25 ISO-KF)	KF25 (DN25 ISO-KF)
Uitlaatflens	LF100 (DN100 ISO-KF)	LF100 (DN100 ISO-KF)
Lager	standaard	standaard
Steunpomp(en)	2	2
Koelwater (º C)	≤ 25	≤ 25
Verwarming T(º C)	≤ 100	≤ 100
Omgevingstemperatuur T(º C)	5 tot 40	5 tot 40
Olie gevuld (ml)	2*6	2*6
Oriëntatie van de installatie	alle	alle
Gewicht (kg)	8	8