After-sales Service: | 24 Hours After Sales Service |
---|---|
Warranty: | 1 Year |
Toepassing: | Industrie, Laboratorium |
aangepaste: | aangepaste |
certificaat: | CE, ISO |
Structuur: | Desktop |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Jinan ACME MW1070 MPCVD-machine | ||
Vacuüm | Vacuümmeting | Piëzoresistieve meter 0.1 kpa capaciteitsmeter 0-1000Pa |
Bedrijfsdrukbereik | 4-28 kPa | |
Vacuümleksnelheid | ≤ 5 * 10-9Pa.M3/S (HE-lekdetectie) | |
Drukregeling | Automatische besturing | |
Caviteitsmateriaal | Excitatiekamer uit aluminiumlegering, kwartsvacuümkamer | |
Observatievenster | Temperatuurmeetgat met een diameter van 10 mm en observatievenster van poreus gat | |
Koelmodus | Koelmodus | Waterkoeling + luchtkoeling van de kamer |
Grootte van voorbeeldtabel | Molybdeen-trap Φ 70 mm, uniform oppervlak Φ 50 mm | |
Temperatuurmeting | Infraroodthermometer, bereik 300-1400 ºC | |
Koelwaterstroming | >50 l/min. | |
Koelwatertemperatuur | 20 °C. | |
Interface voor koelwater | 1-inch buitendraad-interface | |
Besturingssysteem | Besturingssysteem | PLC-besturing, 15-inch touchscreen-bediening |
Menu verwerken | 10 procesmenu's, 25 regels voor elk | |
Magnetron en voeding | Radarfrequentie | 2.45±0,1 GHz |
Uitgangsvermogen | 1.5-7,5 kW (uitgerust met een interne microgolfvoeding van 10 kw) | |
Ingangsstroom | 380 AC/50 Hz, driefasige vijfdraads (3 * 10+2 * 6 netlijn),>15 kW | |
Leksnelheid magnetron | Leksnelheid van de magnetron 5 cm van de apparatuur ≤ 5 mW/cm2 | |
Procesgas | Debietmeter en interface | H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) 1/4 „VCR Vrouwelijke snelkoppeling voor PU-buis van 8 mm met perslucht |
De doorstroommeter kan het type gas veranderen dat wordt gebruikt door software | ||
Druk luchttoevoer | 0.3 MPa | |
Persluchtdruk | 0.5 MPa | |
Vacuümpomp | Vacuümpomp met roterende schoepen | Oliepomp |
Pompsnelheid | 4 L/S | |
Voeding | AC 380 V(±10%) | |
Interface | Luchtafzuiging KF25, luchtuitlaat KF25 | |
Gebruiksomgeving | Omgevingstemperatuur en vochtigheid | De kamertemperatuur is lager dan 26 ºC en de de vochtigheid is lager dan 40% |
Totale afmetingen van de apparatuur | Grootte | 1250 (L) × 800 (B) × 2100 (H) MM |
Uiterlijk van de apparatuur | ||
Voorwaarden voor acceptatie van apparatuur: | 1. Installatie van apparatuur: Nadat de installatie van de apparatuur is voltooid, zullen partij A en partij B de inbedrijfstelling ter plaatse uitvoeren, en zullen de technici van partij B de exploitatie van de apparatuur, de veiligheids- en onderhoudstraining voor de persoon die verantwoordelijk is voor partij A. leiden | |
2. Systeemtest: Het systeem kan normaal worden gestart en bediend, en de losgekoppelde vuurbal is stabiel zonder te springen. | ||
3. Microgolflekkage: De microgolflekkage is minder dan 5 mW/cm2 (het uitgangsvermogen van de microgolfbron is meer dan 80%, 10 cm van de apparatuur) |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties