| Siliciumcarbide kristalgroeioven |
| 1. Structuur van de uitrusting |
 |
| 2. Overzicht van de uitrusting |
| De siliciumcarbide kristalgroeioven wordt voornamelijk gebruikt om grote, hoogwaardige SiC enkelvoudige kristallen te kweken met behulp van de physical vapor transport method (PVT). |
| 3. Technische voordelen |
| 1. Gebruik een ontwerp met twee spoelen en op basis van multifysicasimulatie, optimaliseer de afstand, het aantal slagen, de spoelpositie en andere parameters van de twee spoelen om onafhankelijke controle te verkrijgen over het temperatuurveld van het zaadkristal en de bron, en om een grote en hoogwaardige groei van siliciumcarbide te bereiken. Het warme veld. |
| 2. Onderzoek verrichten naar het ontwerp van het onafhankelijke roterende mechanisme van de kroes; en op innovatieve wijze een onafhankelijk steunontwerp in de roterende structuur van de kroes introduceren, zodat de kroes onafhankelijk van de warmtebewaring kan draaien tijdens het groeiproces en de invloed van warmtebehoud op het temperatuurveld van de kroes kan verminderen. Los het probleem van het niet-controleerbare temperatuurveld op als gevolg van verlies van thermische isolatie en vervorming tussen ovens tijdens de groei van enkel kristal van siliciumcarbide, en verbeter de kristalgroeiopbrengst. |
Combineer numerieke simulatie en theoretische berekeningen om de structuur van de smeltkroes en temperatuurgradiënten te optimaliseren, de kristallisatie en kinetische processen te onthullen, het voorbereidingsproces van 6 inch SiC-kristallen te doorbreken en het moeilijke probleem van de verrijking van defecten in SiC-kristallen effectief op te lossen.
4. Parameters van de apparatuur
| kwartsreflector |
Diameter 440 mm x 900 mm |
Vermogensfrequentie, HZ |
50±1 |
| Maximale bedrijfstemperatuur 2600 °C (in argon) |
|
Aantal fasen |
3 |
| werkgas |
Argon, stikstof |
Gecomprimeerd gas, MPa |
0.6 |
| Maximale vacuümwaarde torr |
10-5 Torr |
Maximaal vermogen, kw |
50 |
| Generatorvermogen kw |
70 kw |
Dagen, dagen van kristalgroei |
7 |
| Frequentie van generatorvermogen kHz |
12 kHz |
Stikstofverbruik, m3/oven |
≤0.25 |
| Geautomatiseerd parameterregelsysteem |
|
Methode voor elektrodeaansluiting |
△ |
| koelsysteem |
Koeleenheid 50 kW (gesloten circuit) |
Afmetingen van de apparatuur (lengte x breedte x hoogte) mm |
920 x 920 x 2790 |
| Voedingsspanning, V |
380±19 |
Maximale stroom, A |
90 |
| Uitgangsspanning, V |
500-550 |
|
|
Opmerking: Aangepaste services kunnen worden geleverd op basis van de wensen van de klant
