Beschrijving
De moleculaire turbopomp is een mechanische vacuümpomp met een rotor die is gemaakt van een snel draaiend turbineblad, spiraalvormige groef of een combinatie van deze twee. De gasmoleculen komen de moleculaire pomp van de turbo binnen en botsen met het oppervlak van de rotoren, waardoor kinetische energie ontstaat, waardoor de gasmoleculen zich naar de turbomoleculaire pompuitlaat bewegen.
De pompen bieden een volledig magnetische levitatierotor, die een schoon, betrouwbaar vacuüm biedt voor de hedendaagse halfgeleider- en zonne-industrie. Het is voorzien van een 5-assige magnetische lager en een controller voor halve stellingen, waarvoor geen afstelling of reservebatterij, hoge compressie en corrosiebestendig zijn vereist.