Aangepaste: | Aangepaste |
---|---|
Structuur: | Desktop |
Materiaal: | Aluminium |
Certificering: | CE, TUV |
Toepassing: | School, Hospital, Laboratorium |
Type: | Magnetron Sputtering Source |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Functies |
De sputter kop kan +/- 25 graden worden gekanteld om de invalshoek van bombardementen aan te passen om de sputtering opbrengst te verbeteren. Gemaakt van hoogwaardige materialen van roestvrij staal en keramiek. Bij het ontwerp van de permanente magnetische constructie worden berekeningen van elektromagnetische eindige elementen gebruikt om een hoge veldsterkte en een uniform veldprofiel te bereiken. De magneet is voorzien van een coating van beschermend materiaal tegen corrosie van koelwater om de duurzaamheid te maximaliseren. Standaard RF-connector, die past bij een breed scala aan DC- en RF-sputtering-voedingen. De sputterkoppen met lage impedantie zijn eenvoudig Te verweven met een externe voeding. Eenvoudig te installeren standaardaansluiting met meegeleverde snelkoppeling Inclusief 2-inch koperen achterplaat (EQ-CBP-2) . Het vervangen van de doelwitten is eenvoudig en het is niet nodig het pistool aan te passen aan doelen met een andere hoogte. |
Vereiste voeding | DC (max. ) 500 W. RF (max. ) 300 W. |
Type elektrische aansluiting |
Standaard HN-female-connector is inbegrepen (DC en RF, Pic. 1) Optionele SL16-kabelconnector Optionele RF-kabel van 148 cm met SL6-connector |
Sputtering stroom (max. ) | 5 A |
Sputtering spanning | 200-1000 V. |
Sputtering druk | 1-1000 mTorr |
Afmetingen | Diameter van de anode Shield: 86 mm |
Sputtering doel |
Diameter: 2.0 mm, Dikte: Tot 1/4" voor niet-magnetische tandschijf; Tot 1/16" voor magnetische tandschijf Gebruik: Tot 30% Magneet: NdFeB zeldzame aardmagneet |
Vereiste koelwater |
Debiet: 0.8 GPM, gefilterd Waterinlaattemperatuur: < 20 C. Waterslangen: 6 mm snelkoppeling. |
Montage | Doorvoer: 3/4" O. D. -buis |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties