Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Gecontroleerde Leverancier De vier-doelsmagnetron -sputtering -coater is een kosteneffectieve magnetron-sputtering -coater die onafhankelijk door ons bedrijf is ontwikkeld en die de kenmerken heeft van standaardisatie, modularisatie en maatwerk. De magnetron target heeft een keuze uit 1 "2", klanten kunnen kiezen op basis van de grootte van het plated substraat; De voeding is een gelijkstroomvoeding van 500 W en een RF-voeding van 500 W, gelijkstroomvoeding kan worden gebruikt voor de voorbereiding van metaalfolie, RF-voeding kan worden gebruikt voor de voorbereiding van niet-metalen folie, drie doelen kunnen voldoen aan de behoeften van meerlaagse of meerdere coatings. Als klanten andere coatingbehoeften hebben, kunt u andere RF-voedingen en pulsvoedingen aanpassen. Elk type voeding heeft verschillende specificaties van 300 W tot 1000 W.
Het coatinginstrument is uitgerust met twee zeer nauwkeurige massaflowmeters. Als klanten andere behoeften hebben, kunnen ze het gaspad van maximaal vier massameters aanpassen om te voldoen aan de behoeften van complexe gasconstructies; Het instrument is uitgerust met geavanceerde troebelleculaire pompgroep, het limietvacuüm kan 1,0E -5Pa bereiken, en andere typen moleculaire pompen zijn verkrijgbaar voor aankoop. De gastroute van de moleculaire pomp wordt geregeld door meerdere magneetkleppen, die zich kunnen realiseren dat de kamer kan worden geopend en het monster kan worden genomen zonder de pomp, wat uw werkefficiëntie aanzienlijk verbetert. Dit product kan worden geselecteerd als een industriële computer om het systeem te besturen, in het computerprogramma kan de regeling van de vacuümpompgroep worden bereikt, kan de regeling van de sputtering van de voeding en andere meeste functies, uw experimentele efficiëntie verder verbeteren.
Het vier doelmagnetron-sputtering coatinginstrument kan worden gebruikt voor het bereiden van een enkele of meerdere lagen ferroelektrische film, geleidende film, lichtmetalen film, halfgeleiderfilm, keramische film, diëlektrische film, optische film, oxidefilm, harde film, polytetrafluoroethyleenfilm enzovoort. Vergeleken met soortgelijke apparatuur wordt de driedoelsmagnetron-sputtering niet alleen veel gebruikt, maar heeft ook de voordelen van klein formaat en eenvoudige bediening. Het is een ideale apparatuur voor het bereiden van materiaalfilms in het laboratorium
Dual-target DC-magnetron-toepassing voor het sputteren van coaters:
Dit apparaat kan worden gebruikt voor het bereiden van dunne ferroelektrische folies met één of meerdere lagen, geleidende films, films van legering, en dergelijke. Vergeleken met soortgelijke apparatuur wordt de dual-target magnetron sputtering coater niet alleen veel gebruikt, maar heeft ook de voordelen van klein formaat en eenvoudige bediening, en is het een ideale apparatuur voor het bereiden van materiaalfilms in een laboratorium.
Dual-target DC magnetron sputtering coater technische parameters:
| Coating vacuüm systeem |
Vacuüm montage |
Mechanische pomp van 60 m3/h en KYKY1600L moleculair pomp om het pompsysteem te vormen en uitgerust met een zeer nauwkeurige samengestelde vacuümmeter om de vacuümgraad in realtime te meten en te bewaken; |
||
Pomptijd |
Nadat het systeem korte tijd aan de atmosfeer is blootgesteld en met droge stikstof is gevuld, begint het pompen. De vacuümgraad binnen 30 minuten minder dan 5×10-4Pa is, en de vacuümgraad minder dan 5 Pa is nadat het systeem stopt met pompen en 12 uur uitgeschakeld is; | |||
| Ultiem vacuüm |
≤6 × 10-5Pa | |||
| Klep montage |
Voorafzuigklep DN40, elektrische hoofdklep CF200, ontluchtingsklep DN16 , magneetventiel DN40 en diverse vacuümleidingen , enz. (de bovenstaande kleppen zijn pneumatisch of elektrisch) | |||
| Vacuüm automatisch constant druk |
De apparatuur kan snel het hoge vacuüm bereiken en kan automatisch in real-time worden aangepast wanneer de vereiste vacuümgraad na de luchtinlaat van het proces wordt bereikt, zodat een stabiele vacuümgraad wordt gehandhaafd en het proces in hoge mate wordt verminderd, en zorgen voor de herhaalbaarheid van het voorbereide monster. | |||
| Magnetron sputteren generatie - en regelreactiesysteem |
Coating vacuüm kamerlimiet |
≤6×10-5Pa; Detectiesnelheid vacuümlek systeem: ≤8.0×10-7 Pa.l/S. | ||
| Vacuüm kamergrootte |
500 x 500 x 420 mm, | |||
| Type gas | Argon, stikstof, waterstof, zuurstof | |||
| Substraatgrootte en functioneel onderdelen |
Er kunnen substraatmaten van Φ4 inch (compatibel met kleine maten) worden geplaatst; rotatiebereik van substraat 5~60 rpm instelbaar; verwarmingstemperatuur van substraat 600±1ºC, geregeld door thermokoppel gesloten-loop feedback (d.w.z. PID-temperatuurregeling) | |||
| Koeling methode |
Waterkoeling | |||
| Systeem voor het neerzetten en regelen van de sputter | Controle systeem |
PLC+ PC software coating machinebesturingssysteem | ||
| Constante druk werkinlaat | lucht | Gebruik een dunne laagje vacuümmeter voor metingen |
||
| Meten bereik |
3 Pa 0.013 Pa | |||
| Doelnummer | grootte, | 4 2-inch sputter doelen | ||
| Doel Afstand |
De vier doelen worden verticaal omhoog gespiegeld en de afstand tussen het doel en het monster is instelbaar | |||
Voeding |
2 sets RF-sputtering-voedingen van 500 W (automatische aanpassing), 2 sets van 500 W DC-sputtering-voeding, 1 set van 500 W bias-voeding (de dichtheid en uniformiteit van de filmlaag verbeteren en een sputtering-reinigingsfunctie hebben) | |||
| Proceslucht Inlaateenheid |
2 -weg MFC -massaflowmeter regelt de gasflow (0-100SCCM, 0-200 SCCM), nauwkeurig tot 0.1 sccm instelbaar | |||
Gelijkheid |
De uniformiteit van de dikte van het binnenste membraan van het 4-inch wafer-monster is minder dan 3%, en de fout tussen het middelpunt en de kantdikte is minder dan 3% | |||
| Overig | Voeding spanning |
AC220 V, 50 Hz | ||
| In het algemeen afmetingen |
600 x 650 x 1280 mm | |||
| Machine gewicht |
350 kg | |||
| Machine vermogen |
4 KW | |||
Zhengzhou CY Scientific instrument Co., Ltd. is opgericht in 2005 en is een bedrijf dat gespecialiseerd is in de ontwikkeling en productie van onderzoeksapparatuur voor laboratoriumtechnologie. De producten worden gemengd, geperst, verbrand, gesneden, gemalen, gepolijste, gecoate, analytische apparatuur en gerelateerde verbruiksartikelen. Tot de producten behoren apparatuur voor het sinteren van laboratoria, coatingapparatuur, enzovoort. Momenteel is het geëxporteerd naar 25 landen en regio's zoals de Verenigde Staten, Europa en Zuidoost-Azië, en is het goed ontvangen door verschillende wetenschappelijke onderzoekseenheden.
We hebben een volwassen technologie onderzoek en ontwikkeling team, het aantal technici is 33, het bedrijf heeft 150 mensen, meer dan 500 vierkante meter kantoorruimte, de fabriek beslaat een gebied van ongeveer 1,500 vierkante meter gelegen in Zhengzhou High-tech Zone Electronic Industrial Park. De producten bevinden zich voornamelijk in de onderzoeksmarkt, die wetenschappelijk onderzoek in de laboratoria van universiteiten en hogescholen dient, en kunnen ook producten aanpassen aan uw behoeften.
V. bent u een fabrikant of een handelsmaatschappij?
A. wij zijn professionele fabrikanten van laboratoriuminstrumenten, hebben een eigen ontwerpteam en fabriek, hebben een volwassen technische ervaring en kunnen de kwaliteit van producten en de optimale prijs garanderen.
V. Hoe is het aftersales-servicesysteem van uw bedrijf?
A. de garantieperiode van het product is 12 maanden, we kunnen levenslange onderhoudswerkzaamheden uitvoeren. We hebben professionele pre-sales- en aftersales-afdelingen die binnen 24 uur op u kunnen reageren om eventuele technische problemen op te lossen.
V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?
A.1. Als de goederen op voorraad zijn, is het 5-10 dagen. We kunnen onze klanten op maat gemaakte diensten aanbieden. Het duurt gewoonlijk 30-60 dagen, afhankelijk van de specificaties van het aangepaste instrument.
V. de stroomvoorziening en stekker in ons land zijn verschillend. Hoe lost u het op?
A. we kunnen een transformator en stekker leveren volgens uw lokale vereisten, afhankelijk van de stekker van verschillende landen.
V. Hoe te betalen?
A.T / T, L / C, D / P, enz., wordt het gebruik van Alibaba Trade Guarantee aanbevolen.
V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?
A.1. Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking 2. Express, lucht, zee scheepvaart volgens de eisen van de klant, vinden de meest geschikte manier.
Neem voor meer vragen contact op met de klantenservice
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Gecontroleerde Leverancier 
