Application: | Industry, School, Lab |
---|---|
Customized: | Customized |
Certification: | CE |
Structure: | Desktop |
Material: | Stainless Steel |
Type: | Tubular Furnace |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Hoogwaardige CVD-vacuümbuisoven voor het bereiden van 1200C Mini-grapeen te koop
Dit CVD-systeem is speciaal ontworpen voor de productie van grafieen, met een mini-buisoven van 1200 ºC, uitgerust met een zeer nauwkeurige massaflowmeter en een dunne-film vacuümmeter. Vergeleken met de conventionele Pirani-weerstandsmeter is de aflezing van de dunne-laagmeter nauwkeurig en niet beïnvloed door het type gas, dat zeer geschikt is voor het vacuümcoatingproces. Tegelijkertijd is de apparatuur uitgerust met een brandbaar gasdetectieapparaat, dat is verbonden met een solenoïdeklep aan de luchtuitlaat. Zodra er een lekkage is, kan de solenoïdeklep worden gesloten om de veiligheid te garanderen.
Deze set apparatuur heeft een kleine voetafdruk en is zeer geschikt voor laboratoriumvoorbereiding van CVD.
Parameters voor het mini-buisfornuis van 1200 ºC: |
|
Voedingsspanning |
AC220 V, 50 Hz |
Maximaal vermogen |
2 KW |
Verwarmingszone |
Enkele verwarmingszone 200 mm |
Constante temperatuur zone lengte |
100 mm |
Verwarmingselement |
Hittebestendige lichtmetalen draad |
Thermokoppel |
Type K. |
Bedrijfstemperatuur |
≤1150ºC |
Verwarmingssnelheid |
Stel ≤10 ºC/min voor |
Nauwkeurigheid van de temperatuurregeling |
±1 ºC |
Methode voor temperatuurregeling |
AI-PID 30-segments procescurve, met oververhittings- en burnout-beveiliging |
Materiaal van de ovenbuis |
Kwarts met hoge zuiverheid |
Grootte van de ovenbuis |
φ50mm O. D x 450 mm L |
Vacuümpomp |
Pompsnelheid mechanische pomp 1, 1 l/s. |
Ultieme zuigkracht |
5 Pa |
Parameters van de drie-kanaals massaflowmeter: |
|
Type klep |
Roestvrijstalen naaldklep |
Aantal gaspaden |
Drie |
Drukbereik |
0.05 tot 0, 3 MPa |
Bereik |
AR 0~500sccm H2 0~200sccm CH4 0~10sccm |
Bereik van de doorstroomregeling |
±1.5% |
Volume van de mengtank |
750 ml. |
Materiaal van de gaspad |
304 roestvrij staal |
Pijpinterface |
6, 35 mm-connector met ring |
Voeding |
AC220V 50 Hz |
Afbeeldingen van mini CVD-buisovens:
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties