Application: | School, Lab |
---|---|
Customized: | Customized |
Certification: | CE, TUV |
Structure: | Desktop |
Material: | Steel |
Type: | Mpcvd Furnace |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
MPCVD-apparatuur voor het neerzetten van diamanten in één kristal
MPCVD microgolfplasma chemisch dampafzetting (MPCVD) systeem wordt voornamelijk gebruikt in diamantfolie van enkel kristal en polykristal , diamantteelt, chemische dampafzetting van diamantfilm (CVD), materiaaloppervlaktebehandeling en -modificatie, oxidagroei bij lage temperaturen en andere velden.
Toepassing
Bereiding van één kristaldiamant van hoge kwaliteit;
Bereiding van hoogwaardige polykristallijne vrijstaande diamantfilms;
Bereiding van polykristallijne diamantfilms van hoge kwaliteit;
Voorbereiding van diverse carbon nanofilms zoals grapeen, carbon nanotubes, fullerenes en diamantfilms.
Functies
1) Hoge productie-efficiëntie, grote productie, hoge kwaliteit, 7*7--81 diamanten, 8*8--65 diamanten, 9*9--51 diamanten, 10*10--42 diamanten, 12*12--26 diamanten, 15*15--17 diamanten
Verschillende maten, verschillende aantallen diamanten.
2) de apparatuur heeft de industriële productie bereikt. Het molybdeen stadium is 90mm groot, met een snelle groeisnelheid, een hoge opbrengst en een goede stabiliteit.
3) de apparatuur is momenteel de eerste belangrijkste apparatuur in binnen- en buitenland die de geïndustrialiseerde productie van enkelvoudige kristaldiamant kan realiseren. De precisie en kwaliteit van de bewerkte componenten zijn zeer hoog.
4)de verwerkingskwaliteit van onze apparatuur is vrij voortreffelijk. Uitgerust met geavanceerde productietechnologie om ervoor te zorgen dat klanten gekwalificeerd product produceren.
Technische specificaties
Vacuüm | Vacuümmeting | Piëzo -resistieve meter 0.1 kpa capaciteitsmeter 0-1000 Pa |
Bedrijfsdrukbereik | 4-30 kPa | |
Vacuümleksnelheid | <1*10-9 Pa·m 3 / s | |
Drukregeling | Automatische besturing | |
Caviteitsmateriaal | Excitatiekamer uit aluminiumlegering, kwartsvacuümkamer | |
Observatievenster | Temperatuurmeetgat met een diameter van 10 mm en observatievenster van poreus gat | |
Koelmodus | Koelmodus | Waterkoeling + luchtkoeling van de kamer |
Grootte van voorbeeldtabel | Molybdeen-trap Φ 85 mm, uniform oppervlak Φ 50 mm | |
Temperatuurmeting | Infraroodthermometer, bereik 300-1400 ºC | |
Koelwaterstroming | >50 l/min. | |
Koelwatertemperatuur | 20 °C. | |
Interface voor koelwater | 1-inch buitendraad-interface | |
Besturingssysteem | Besturingssysteem | PLC-besturing, 15-inch touchscreen-bediening |
Menu verwerken | 10 procesmenu's, 25 regels voor elk | |
Magnetron en voeding | Radarfrequentie | 2.45±0,1 GHz |
Uitgangsvermogen | 1.5 kW (uitgerust met een interne microgolfvoeding van 10 kw) | |
Ingangsstroom | 380 AC/50 Hz, driefasige vijfdraads (3 * 10+2 * 6 netlijn),>15 kW | |
Leksnelheid magnetron | Leksnelheid van de magnetron 5 cm van de apparatuur ≤ 5 mW/cm2 | |
Procesgas | Debietmeter en interface | H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) 1/4 „VCR Vrouwelijke snelkoppeling voor PU-buis van 8 mm met perslucht |
De flowmeter kan het type gas veranderen dat wordt gebruikt door software | ||
Druk luchttoevoer | 0.3 MPa | |
Persluchtdruk | 0.5 MPa | |
Vacuümpomp | Vacuümpomp met roterende schoepen | Oliepomp |
Pompsnelheid | 4 L/S | |
Voeding | AC 380 V(±10%) | |
Interface | Luchtafzuiging KF25, luchtuitlaat KF25 | |
Gebruiksomgeving | Omgevingstemperatuur en vochtigheid | De kamertemperatuur is lager dan 26 ºC en de de vochtigheid is lager dan 40% |
Totale afmetingen | Grootte | 1250 (L) × 800 (B) × 2100 (H) MM |
Voorwaarden voor acceptatie van apparatuur: | 1. Installatie van apparatuur: Nadat de installatie van de apparatuur is voltooid, zullen partij A en partij B de inbedrijfstelling ter plaatse uitvoeren, en zullen de technici van partij B de exploitatie van de apparatuur, de veiligheids- en onderhoudstraining voor de persoon die verantwoordelijk is voor partij A. leiden | |
2. Systeemtest: Het systeem kan normaal worden gestart en bediend, en de losgekoppelde vuurbal is stabiel zonder te springen. | ||
3. Microgolflekkage: De microgolflekkage is minder dan 5 mW/cm2 (het uitgangsvermogen van de microgolfbron is meer dan 80%, 10 cm van de apparatuur) |
Contactgegevens:
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties