Lab Dual-Head High Vacuum 2-inch magnetron Sputtering Coater Deposition Metal Film, lichtmetalen Nano Film

• Type: Coating Productielijn
• Bekleding: Plasma Sputtering Coater
• Substraat: Ceramic and Metal
• Certificaat: CE
• Conditie: Nieuw
• productnaam: dc/rf-magnetron-plasma sp
• Model NR.: CY-MSP-300-DCRF
• dc-bron: 500 w.
• rf-bron: 300 w.
• Transportpakket: Wooden Case
• Specificatie: plasma sputtering system
• Handelsmerk: CYKY
• Oorsprong: China
• Productiecapaciteit: 500 Sets Per Month

Beschrijving

DC/RF Dual-Head High Vacuum 2-inch magnetron Plasma Sputtering Coater
 
CY-VTC-600-2HD is een compact magnetron-sputtersysteem met twee 2"  doelbronnen, bijvoorbeeld één DC-bron voor het coaten van metallic film, en een andere RF-bron voor het coaten van niet-metallisch materiaal. Er is een filmdiktetracker meegeleverd, zodat de gebruiker de verwerking eenvoudig kan controleren. Deze coater is ontworpen voor het coaten van zowel enkele als meerdere lagen folie voor een breed scala aan  materialen, zoals legering, ferroelektrisch, halfgeleider, keramiek, Diëlektrisch, optisch, PTFE  etc.  tegen lage kosten.
 
Specificatie van de dubbele magnetron plasma-sputtering coater
 

Ingangsvermogen	220 VAC 50/60 Hz, eenfasig 2000 W (inclusief pomp)
Bron voeding	Twee sputterende stroombronnen zijn in één bedieningskast geïntegreerd   DC-bron: 500 W voor het coaten van metalen materialen   RF-bron: 300 W voor het coaten van niet-metalen materialen
Magnetron-sputterkop	Twee 2" magnetron Sputtering Heads met waterkoelmantels zijn dat inclusief Eén is aangesloten op een RF-bron voor niet-geleidende materialen De andere is aangesloten op een gelijkstroombron voor coating metalen materialen Vereiste doelgrootte: Diameter 2 inch Diktebereik: 0.1 - 5 mm voor zowel metalen als niet-geleidende objecten (inclusief steunplaat) Eén  Cu en één gefuseerde SiO2-targets zijn opgenomen voor demonstratie van testen Aanbevolen coatingmethode Op maat gemaakte coater: Twee DC-koppen zonder RF-sputtering; twee RF-koppen zonder DC-sputering; 3 RF-koppen zijn op aanvraag verkrijgbaar Optioneel: RF-kabel van 148 cm is tegen extra kosten te vervangen
Vacuümkamer	Vacuümkamer: 300 mm diameter x 300 mm hoogte, gemaakt van roestvrij staal Observatievenster: Diameter 100 mm Scharnierend deksel op de bovenkant met pneumatische krachtpaal maakt eenvoudig doeluitwisseling
Monsterhouder	Grootte monsterhouder: Diameter 140 mm voor. 4" wafer max De draaisnelheid van de monsterhouder is instelbaar: 1 - 20 tpm voor een uniforme coating De temperatuur van de houder kan worden ingesteld van RT tot 500°C. Met nauwkeurigheid +/- 1.0 °C.
Gasflow-regeling	Twee digitale precisieMFC (massaflowregelaar) zijn geïnstalleerd om twee soorten gassen toe te staan ingevuld Debiet: Max. 200 ml/min. (0-200 SCCM) De stroomsnelheid kan worden ingesteld met het 6-inch touchscreen paneel
Vacuümpompstation	De supersnelle turbovacuümpomp (gemaakt in Duitsland) is direct op de vacuümkamer geïnstalleerd voor een maximaal vacuümniveau   De heavy duty tweetraps mechanische pomp, 220 liter/minuut (7,8 CFM), is aangesloten op de turbopomp voor een hogere pompsnelheid Inclusief mobiel pompstation en de compacte sputter kan boven op het station worden geplaatst Standaard vacuümniveau: < 4x10^-5 Torr .  Max. Vacuümniveau: 10^-6 torr met bakkamer
Waterkoeler	Er is één digitale temperatuurgeregelde circulatiewaterkoeler  meegeleverd voor het koelen van beide magnetron-sputterkoppen. Koelbereik: 5~35°C. Vlooisnelheid: 16 l/minuut
Opties	Precise quartz  Film Thickness Monitor is beschikbaar op het meest vereiste om in de kamer te worden ingebouwd om de laagdikte nauwkeurig te bewaken 0.10 Å. Pricesion  Thin Film & Coating Analysis Systems met meetmogelijkheid is beschikbaar voor het meten van de dikte van de film na het coaten.
Totale afmetingen	Deksel gesloten: 48 × 28 × 32 inch deksel open: 48 × 28 × 37 inch
Nettogewicht	200 kg
Garantie	Eén jaar beperkte garantie met levenslange ondersteuning

 

Gedetailleerde foto's

referentiebeeld van de magnetron plasma-sputtering coater met twee koppen


andere gerelateerde coatingmachine die we hebben:






onze bedrijfsinformatie:
Zhengzhou CY Scientific instrument Co., Ltd. opgericht in  2013 is een high and new technology onderneming geregistreerd in de provincie Zhengzhou, Henan.  Wij leveren voornamelijk de laboratoriuminstrumenten voor materiaalonderzoek in laboratoria als de snijmachine, freesmachine, polijstmachine, sinteroven, mengmachine, handschoenenkastje, filmcoating, enz.


contactgegevens: