Lage temperatuur Pecvd Plasma Enhanced Chemische dampafzetting Graphene Furnace

• Toepassing: Industrie, School, Laboratorium
• aangepaste: aangepaste
• certificaat: CE, TUV
• Structuur: Desktop
• Materiaal: Aluminium
• Type: Tubular Furnace
• Model NR.: CY-PECVD- E
• uitgangsvermogen: 5-300 w.
• reflectievermogen: max. 200 w.
• lawaai: <50 db
• matching: automatisch
• buisgrootte: aangepast
• Transportpakket: Wooden Box
• Specificatie: OD. 60mm
• Handelsmerk: CYKY
• Oorsprong: Zhengzhou, China
• Gs-Code: 85141090
• Productiecapaciteit: 2100 Sets Per Month

Beschrijving

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition  PECVD-oven gebruikt voor CVD de groei van de grapheen        

Inleiding
  CY-PECVD- E  Is een betaalbare en compacte  PE-CVD   (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)  -buisoven
systeem met automatisch schuifbaar mechanisme. Het  Bestaat uit een RF-plasmagenerator van 300 W, een  2"O. D-oven met split-tube en de  
geïntegreerde schuifrail waarmee u de kunt voorverwarmen en verschuiven oven naar de sample zone om uw te krijgen monster
een directe blootstelling bij hoge temperaturen.   Dit systeem kan worden bijgewerkt naar een geavanceerd model met opties.   Het is een ideaal instrument
voor  De onderzoeker om innovatie onder een beperkt budget te maken.
Het kan worden gebruikt voor        Een breed scala aan materiaaldepositie, waaronder SiOx, sinx, SiOxNy en amorf silicium (A-Si: H)
afzetten.
  Specificatie

Automatisch schuifbaar fornuis met gedeelde buis	Ingangsvermogen: 208 - 240 V AC, 1, 2 kW 1200°C Max. Bedrijfstemperatuur gedurende < 60 minuten 1100°C Max voor continue verwarming Kwartsbuis met hoge zuiverheid  , 2 inch buitendiameter x 1.7 inch binnendiameter x  39.4 inch lengte   programmeerbare precisie digitale temperatuurregelaar met 30 segmenten 200 mm (8 inch), één zone. 2.3 inch (60 mm)  (+/-1°C) bij 1000°C.   Het buisfornuis is een automatisch glijdende RTP-buisoven, en is uitgerust met een touch screen-controller voor een eenvoudige bediening. De schuifsnelheid kan worden geregeld met de automatische schuifregeling.
Plasma RF-generator	Uitgangsvermogen:           5 -300 W  Instelbaar met ± 1% stabiliteit RF-frequentie:           13.56 MHz ±0.005% stabiliteit Reflectievermogen:       Max. 200 W. Overeenkomst:                 Automatisch RF-uitgangspoort:         50 ohm, N-type, vrouw Ruis:                       < 50 dB.   Koeling:                     Luchtkoeling. (waterkoeling is op aanvraag beschikbaar en een  Waterkoeler  Kan afzonderlijk worden besteld) Vermogen:                     208 VAC, 50 Hz
Vacuümflens en fittings	De vacuümflensset is gemaakt van roestvrij staal 304.   De linker flens bevat een vacuümpoort KF-25,   Twee KF-25-snelklem, een haakse KF-25-klep,   Een KF-25-vacuümbalg,   Een flenssteun  1/4 O. D-slangkoppeling en een naaldklep. De rechter flensmontage omvat  Een digitale pirani-meter, 1/4 O. D-slangfitting,   1/4"-doorvoer en  Een naaldklep.
Vacuümpomp	AC 220 V 50 HZ  1/2 PK  375 W. 2 liter /S  Of  120 liter/m.   Olievanger (inlaat) en uitlaatfilter (uitlaat) zijn gemonteerd. Max. Vacuüm:   10-6 torr met turbopomp Voor een vacuümgraad van minder dan 0.1 pa kiest u de schoepenvacuümpomp  760 torr.
Afmetingen van het product.	Nettogewicht: 350 lbs Transportgewicht: 480 kg
Optioneel	Kies hieronder de systemen voor de levering van gas op basis van uw budget   Voordelige  Compacte driekanaals gasmixer met anticorrosie Compacte vloeistofverdampingssystemen Drie kanalen  MFC  -gasregelsysteem   Regelmodule van constante temperatuur
Garantie	Eén jaar beperkte garantie met ondersteuning voor de heftijd  (verbruiksartikelen zoals verwerkingsbuizen, O-ringen en verwarmingselementen vallen niet    Onder de garantie.   Bestel de  Vervanging bij de onderstaande gerelateerde producten. )
Naleving	CE-gecertificeerde  temperatuurregelaar is IN OVEREENSTEMMING met en CE-gecertificeerd
Waarschuwing	De buisovens met kwartsbuis zijn ontworpen voor gebruik onder vacuüm en lage druk < 0.12 MPa (absolute druk)  om de verluchtkamer te riseren en een veilige werking te garanderen.

Zhengzhou CY Scientific instrument Co., Ltd is voornamelijk bezig met het onderzoek en de ontwikkeling, het ontwerp, de productie en de verkoop van apparatuur die in wetenschappelijke onderzoeken wordt gebruikt. Onafhankelijkheid en innovatie is het tenet van het bedrijf. Onze belangrijkste producten zijn:   Buisoven, moffeloven, plasmareiniger, vacuümoven, sfeeroven, CVD-systeem en maatwerk
Lab equipment. Welcome u komt ons bezoeken.