Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Pecvd voor Continuous Graphene Film

• After-sales Service: 1 Year
• Warranty: 1 Year
• Application: Industry, School, Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE
• Structure: Desktop
• Model NR.: CY-PECVD-200SST
• Material: Stainless Steel
• Type: Tubular Furnace
• koelmethode voor rf-voeding: luchtkoeling
• verwarmingszone: enkele verwarmingszone 200 mm
• temperatuurnauwkeurigheid: +-1c
• materiaal van de ovenbuis: kwarts met hoge zuiverheid
• grootte van de ovenbuis: diam. 50*1200 mm
• instelbare snelheid: 0-20 tpm
• Transportpakket: Standard Export Wooden Packaging
• Handelsmerk: CYKY
• Oorsprong: Zhengzhou Henan China
• Gs-Code: 8401200000
• Productiecapaciteit: 50sets Per Month

Beschrijving

plasma-versterkte chemische dampafzetting pecvd voor Continuous Graphene of Tweeledige filmrowthe

Productbeschrijving

Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) is een type chemische dampafzetting dat wordt gekenmerkt door het gebruik van plasma-activering bij lage temperaturen om de reactie op chemische dampafzetting te verbeteren. De voordelen van deze methode zijn dat de depositietemperatuur laag is, de depositiesnelheid snel is, en de geproduceerde folie uitstekende elektrische eigenschappen, goede hechting van het substraat en een uitstekende step-dekking heeft.

PECVD-gebieden voor het aanbrengen van dampafzetting:
Plasma-enhanced CVD-systemen kunnen worden gebruikt in: grapheen-voorbereiding, sulfide-voorbereiding, nanomaterialen-voorbereiding en andere testlocaties. Een verscheidenheid aan films zoals   SiOx, sinx, amorf silicium, microkristallijn silicium, nano-silicium, SIC, diamant-achtig, etc. kunnen op het oppervlak van flake of soortgelijke monsters worden afgezet, en films van het P -type en N-type kunnen worden afgezet. De neergelegde folie heeft een goede uniformiteit, compactheid, hechting en isolatie. PECVD vapor deposition wordt veel gebruikt in snijgereedschappen, zeer nauwkeurige matrijzen, harde coatings, hoogwaardige decoratie en andere velden en heeft een breed scala aan toepassingen in ultragrote geïntegreerde schakelingen, opto-elektronische apparaten, MEMS en andere velden.
 

Productparameters

 

	Modelnummer	CY-PECVD-200SST
	Caviteitsgrootte	Phi 500 -
	Lengte warme zone	200
	RF-voeding	500 W-
	Temperatuur	1000 ºC
	Pomp voor forestage	Moleculaire pompset
	Type display	T
	Warme zone	I-
	Waterkoeler	CW5200
	Caviteitsmateriaal	SS
	Sample      -verwarming Verwarmingstemperatuur	Boven  RT-1000ºC:      Nauwkeurigheid van de temperatuurregeling:  ±1.C,  met behulp van temperatuurmeter voor temperatuurregeling; Instelbaar toerental: 1-20 tpm instelbaar
	Grootte spuitkop	Φ90mm, de afstand tussen de elektroden  tussen de spuitkop en het monster 40-100mm online continu instelbaar (kan worden aangepast aan het proces), en met een liniaal-indexdisplay
	Voorbeeldtabel	diameter van 200 mm
	Werkvacuüm voor depositie	0.133-133 Pa (kan worden aangepast volgens proces)
	Bovenste flens	Het kan met de motor worden opgetild, het substraat is makkelijk te veranderen en er is een visuele poort
Substraattabel			Lineaire en azimut-beweging van de substraattafel, verwarming van de ondergrond en temperatuurregeling, bediening van de montastafel en het touchscreen, lineaire beweging van de substraat wordt handmatig geregeld en rotatie van de substraat wordt geregeld door DC-motoren
Vacuümkamer			Type voorportieropening, φ500mm X 500 mm roestvrij staal
Observatievenster			φ100mm met keerplaat
Massameter			Halfweg-massaflowmeter
Aantal paden van gas			Zes paden
Drukbereik			0.15 MPa tot 0.15 MPa
Bereik			0 tot 100 SCCM (zuurstof) 0 tot 100 SCCM (CF4) 0 tot 200 SCCM (SF6) 0 tot 200 SCCM (argon) 0 tot 500 SCCM (andere gassen lucht) 0-500 SCCM (andere gassen stikstof)
Bereik van de doorstroomregeling			Plus of min 1.5%
Materiaal van de gaspad			304 roestvrij staal
Pijpkoppeling			6,35 mm busverbinding
Vacuümsysteem			Voorste pomp: Olievrije vacuümpomp 4,7 l/s. Moleculaire pomp: 1200 l/s.
Meetbereik			1 x 10-5 tot 1 x 105 Pa
Meetnauwkeurigheid			1 x 10-5 ~ 1 x 10-4Pa±40% uitlezing 1 x 10-4 ~ 1 x 105Pa voor een meting van ±20%

Gedetailleerde foto's

Zhengzhou CY Scientific instrument Co., Ltd. is opgericht in 2005 en is een bedrijf dat gespecialiseerd is in de ontwikkeling en productie van onderzoeksapparatuur voor laboratoriumtechnologie. De producten worden gemengd, geperst, verbrand, gesneden, gemalen, gepolijste, gecoate, analytische apparatuur en gerelateerde verbruiksartikelen. Tot de producten behoren apparatuur voor het sinteren van laboratoria, coatingapparatuur, enzovoort. Momenteel is het geëxporteerd naar 25 landen en regio's zoals de Verenigde Staten, Europa en Zuidoost-Azië, en is het goed ontvangen door verschillende wetenschappelijke onderzoekseenheden.

We hebben een volwassen technologie onderzoek en ontwikkeling team, het aantal technici is 33, het bedrijf heeft 150 mensen, meer dan 500 vierkante meter kantoorruimte, de fabriek beslaat een gebied van ongeveer 1,500 vierkante meter gelegen in Zhengzhou High-tech Zone Electronic Industrial Park. De producten bevinden zich voornamelijk in de onderzoeksmarkt, die wetenschappelijk onderzoek in de laboratoria van universiteiten en hogescholen dient, en kunnen ook producten aanpassen aan uw behoeften.





V. bent u een fabrikant of een handelsmaatschappij?
A. wij zijn professionele fabrikanten van laboratoriuminstrumenten, hebben een eigen ontwerpteam en fabriek, hebben een volwassen technische ervaring en kunnen de kwaliteit van producten en de optimale prijs garanderen.

V. Hoe is het aftersales-servicesysteem van uw bedrijf?
A. de garantieperiode van het product is 12 maanden, we kunnen levenslange onderhoudswerkzaamheden uitvoeren. We hebben professionele pre-sales- en aftersales-afdelingen die binnen 24 uur op u kunnen reageren om eventuele technische problemen op te lossen.

V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?
A.1. Als de goederen op voorraad zijn, is het 5-10 dagen. We kunnen onze klanten op maat gemaakte diensten aanbieden. Het duurt gewoonlijk 30-60 dagen, afhankelijk van de specificaties van het aangepaste instrument.

V. de stroomvoorziening en stekker in ons land zijn verschillend. Hoe lost u het op?
A. we kunnen een transformator en stekker leveren volgens uw lokale vereisten, afhankelijk van de stekker van verschillende landen.

V. Hoe te betalen?
A.T / T, L / C, D / P, enz., wordt het gebruik van Alibaba Trade Guarantee aanbevolen.

V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?
A.1. Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking 2. Express, lucht, zee scheepvaart volgens de eisen van de klant, vinden de meest geschikte manier.

Neem voor meer vragen contact op met de klantenservice