Stabiel PLD-vacuümcoatingsysteem met hoogwaardige roestvrijstalen kogel diameter vacuümkamer 450 mm
Korte introductie van Aanpasbaar pulsed laser sputtering deposition systeem:
Gepulseerd laser deposition systeem, afgekort als PLD systeem, bestaat dit systeem uit twee delen: Excimeer laser en vacuüm coatingkamer; De vacuümcoatingkamer bestaat uit een sputtering-vacuümkamer, een roterende doelfase, een anti-oxidatie-verwarmingsfase van het substraat, een werkgaspad, gasafzuigsysteem, een installatiemachinetafel, vacuümmeting en een elektrisch regelsysteem.
Samenstelling van de apparatuur van Een aanpasbaar pulsed laser sputtering deposition-systeem:
1. Laser
Gebaseerd op de best verkopende IPEX-serie industriële excimeer lasers van LightMachinery is de laser geoptimaliseerd voor PLD-toepassingen; De excimeer lasers uit de IPEX-serie leveren uitstekende prestaties, duurzaamheid, betrouwbaarheid en eenvoudige integratieprestaties om te voldoen aan de eisen van onderzoekers en systeemintegrators op het gebied van gepulseerde laserdepositie (PLD).
1) de voordelen van de laser
(1) de optie GasMiser-1000 werkt met ICON-technologie om gas uit te breiden levensduur en lagere bedrijfskosten
(2) uitstekende vlekuniformiteit en energiestabiliteit tussen pulsen, korte pulsbreedte
(3) de energie blijft constant bij alle herhalingsfrequenties
(4) de automatische sealfunctie van EasyClean houdt het gas gevuld en vermindert het uitvaltijd bij onderhoud
(5) zeer stabiele optische bevestiging voor een uitstekende nauwkeurigheid bij het richten van de straal
(6) aanpasbaar systeem voor het afleveren van bundels, dat geschikt is voor specifieke PLD-toepassingen behoeften
2) PLD stabiele prestaties
Constante pulsenergie: De excimeer-lasers uit de IPEX-740 / 760-serie die ICON en GasMiser-1000-technologieën combineren, hebben een ongeëvenaarde dynamische en statische gaslevensduur na één gasuitwisseling. Van de enkele tot de maximale herhalingsfrequentie is de pulseenergie constant op alle herhalingsfrequenties. Deze methode garandeert dat de PLD-procesparameters niet zullen veranderen met de verandering van de werktijd van de laser en de herhalingsfrequentie.
Constante pulsstabiliteit: De geavanceerde energiebewakingsmethode wordt gebruikt om de pulsenergie aan te passen, die de ontladingsspanning en het gemengde gas nauwkeurig kan aanpassen, en een constante uitgangsenergie kan handhaven onder alle werkomstandigheden (inclusief de Burst-modus). De stabiliteit van puls naar puls is beter dan 1%.
Constante aanwijsstabiliteit: Optische steun met een hoge stabiliteit, die een aanwijsstabiliteit biedt van meer dan 200 μrad, zodat na optische reparatie geen herkalibratie nodig is.
Constante straalkwaliteit: De straalintensiteitsverdeling van de IPEX-740 / 760 serie lasers is ontworpen om een scherpe rand en een vlakke top te hebben, vooral heeft minimale verandering binnen de levensduur van de laserkamer.
3) Laserspecificaties
| Golflengte (nm) |
193 (ARF) |
248 (KRF) |
308 (XeCl) |
| Gestabiliseerde pulsenergie (MJ) bij alle herhalingsfrequenties |
IPEX-740-serie |
150 |
400 |
250 |
| IPEX-760-serie |
200 |
600 |
500 |
| Maximale pulsenergie (MJ) bij lage herhalingsfrequenties |
IPEX-740-serie |
230 |
450 |
300 |
| IPEX-760-serie |
250 |
700 |
600 |
| Gestabiliseerd gemiddeld vermogen (W) |
IPEX-746 |
15 |
40 |
25 |
| IPEX-744 |
6.0 |
20 |
12 |
| IPEX-742 |
3.0 |
10 |
6.0 |
| IPEX-766 |
10 |
30 |
25 |
| IPEX-764 |
5.0 |
18 |
10 |
| IPEX-762 |
2.5 |
9.0 |
5.0 |
| Maximale herhalingsfrequentie (pps) |
IPEX-746 |
100 |
100 |
100 |
| IPEX-744 |
40 |
50 |
50 |
| IPEX-742 |
20 |
25 |
25 |
| IPEX-766 |
40 |
50 |
40 |
| IPEX-764 |
25 |
30 |
20 |
| IPEX-762 |
12 |
15 |
10 |
Pulsduur(n)
(FWHM, nominaal) |
IPEX-740/760-serie |
12 - 20 |
Afmetingen van de straal (mm)
(V×H, nominaal) |
IPEX-740-serie |
12 × 26 |
| IPEX-760-serie |
12 × 28 |
Bundeldivergentie (mrad)
(V×H, nominaal) |
IPEX-740/760-serie |
1 × 3 |
2. Vacuümcoatingkamer
1) 1 set componenten van de sputterende vacuümkamer
De grootte van de bolvormige vacuümkamer is Ф450mm. Het is gemaakt van hoogwaardig roestvrij staal. Het wordt gelast door argon boog. Het oppervlak wordt gepolijst door een speciaal proces. De interface is afgedicht met een metalen pakking of een fluorrubber ring.
2) 1 set draaiende onderdelen van het doelplatform
(1) er kunnen vier targets tegelijk worden geladen, de doelgrootte: (i) Φ60mm En (II) Φ25mm;
(2) elk doel kan draaien, de rotatiesnelheid is 5~60 tpm, continu instelbaar, geregeld door het door de motor aangedreven magnetische koppelmechanisme;
(3) het omzettingsmechanisme voor de doelpositie wordt geregeld door het door de motor aangedreven magnetische koppelmechanisme.
(4) de afscherming van het doelmateriaal beschermt 4 doelen, en er wordt slechts één doelmateriaal tegelijkertijd in de film gesputterd, om kruisbesmetting tussen de doelmaterialen te voorkomen.
3) Anti-oxidant substraat verwarming tafel assemblage 1 set
(1) substraatgrootte: Φ2 ″ substraat kan worden geplaatst;
(2) de maximale temperatuur van de substraatverwarming is 800ºC±1ºC, geregeld door thermokoppel-feedback met gesloten lus, en de verwarming is gemaakt van antioxidant materiaal.
(3) het substraat kan continu draaien, het toerental is 5~60 tpm, geregeld door het door de motor aangedreven magnetische koppelmechanisme;
(4) de afstand tussen het substraat en het doelplatform is instelbaar van 30 tot 90 mm en wordt geregeld door een handmatig afstelmechanisme voor de balg buiten de kamer.
(5) Handmatige controle van de onderdelen van de keerplaat: 1 set;
(6) monsterhouder: 2;
4) Venster en flens interface delen 1 set
5) laserstraal scansysteem 1 set
Tweedimensionaal mechanisch platform voor scannen, twee sets motorbesturing of handmatige bediening;
6) werkgasleiding 2 kanalen
7) gaspompeenheid, klep, pijpleiding 1 set
8) 1 set montageframe van de machine
Hoogwaardig vierkant stalen profiel gelast, snel uitladen coamingoppervlaktespray behandeling; Machineoppervlak met roestvrijstalen huiddecoratie; Vier zwenkwielen kunnen worden bevestigd en beweegbaar
9) vacuümmeting en elektrisch regelsysteem 1 set
10) Computer besturingssysteem 1 set
Gerelateerde foto's van Een aanpasbaar pulsed laser sputtering deposition systeem:
Zhengzhou CY Scientific instrument Co., Ltd. Is opgericht in 2005 en is een bedrijf dat gespecialiseerd is in de ontwikkeling en productie van onderzoeksapparatuur voor laboratoriumtechnologie. De producten worden gemengd, geperst, verbrand, gesneden, gemalen, gepolijste, gecoate, analytische apparatuur en gerelateerde verbruiksartikelen. Tot de producten behoren apparatuur voor het sinteren van laboratoria, coatingapparatuur, enzovoort. Momenteel is het geëxporteerd naar 25 landen en regio's zoals de Verenigde Staten, Europa en Zuidoost-Azië, en is het goed ontvangen door verschillende wetenschappelijke onderzoekseenheden.
We hebben een volwassen technologie onderzoek en ontwikkeling team, het aantal technici is 33, het bedrijf heeft 150 mensen, meer dan 500 vierkante meter kantoorruimte, de fabriek beslaat een gebied van ongeveer 1, 500 vierkante meter gelegen in Zhengzhou High-tech Zone Electronic Industrial Park. De producten bevinden zich voornamelijk in de onderzoeksmarkt, die wetenschappelijk onderzoek in de laboratoria van universiteiten en hogescholen dient, en kunnen ook producten aanpassen aan uw behoeften.
V. Bent u een fabrikant of een handelsmaatschappij?
A. Wij zijn professionele fabrikanten van laboratoriuminstrumenten, hebben een eigen ontwerpteam en fabriek, hebben een volwassen technische ervaring en kunnen de kwaliteit van producten en de optimale prijs garanderen.
V. Hoe is het aftersales-servicesysteem van uw bedrijf?
A. de garantieperiode van het product is 12 maanden, we kunnen levenslange onderhoudswerkzaamheden uitvoeren. We hebben professionele pre-sales- en aftersales-afdelingen die binnen 24 uur op u kunnen reageren om eventuele technische problemen op te lossen.
V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?
A. 1. Als de goederen op voorraad zijn, is het 5-10 dagen. We kunnen onze klanten op maat gemaakte diensten aanbieden. Het duurt gewoonlijk 30-60 dagen, afhankelijk van de specificaties van het aangepaste instrument.
V. De stroomvoorziening en stekker in ons land zijn verschillend. Hoe lost u het op?
A. We kunnen een transformator en stekker leveren volgens uw lokale vereisten, afhankelijk van de stekker van verschillende landen.
V. Hoe te betalen?
A. T / T, L / C, D / P, enz., wordt het gebruik van Alibaba Trade Guarantee aanbevolen.
V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?
A. 1. Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking 2. Express, lucht, zee scheepvaart volgens de eisen van de klant, vinden de meest geschikte manier.
Neem voor meer vragen contact op met de klantenservice
Gecontroleerde Leverancier 
