Thermisch atoom enkelvoudig wafelsysteem voor micro-elektronisch, Nano-materiaal, optische film, zonne-accu

• Type: Coating Productielijn
• Bekleding: Vacuum Coating
• Certificaat: CE
• Conditie: Nieuw
• wafer-afmeting: 8 inch en lager
• wafeltemperatuur: rt-400c,regelnauwkeurigheid +-0,1c
• aantal precursoren: drie precursor-lijnen, optioneel meer lijnen
• temperatuur van de leidingen van de precursor: rt-200c,regelnauwkeurigheid +-0,1c
• ald-klep: swift-klep van de swagelok ald
• achtergrondvacuüm: <5*10-3torr
• gasdragersysteem: n2 of ar
• Transportpakket: Standard Export Wooden Box Packaging
• Handelsmerk: CYKY
• Oorsprong: Zhengzhou Henan China
• Gs-Code: 8412800090
• Productiecapaciteit: 200 Sets Per Month

Beschrijving

Thermal Atomic Layer single-wafer Deposition System voor micro-electronische, nano materiaal, optische film, zonne-batterij


Introductie van  Het TALD-systeem voor de depositie van de atoomlaag:
Thermal Atomic Layer Deposition System is een single-wafer deposition systeem dat speciaal is ontworpen voor wetenschappelijk onderzoek en kleinschalige experimenten van industrialisatie. Het elektrische systeem voldoet volledig aan het CE-criterium., wordt het veel gebruikt op het gebied van micro-electronische, nano-materiaal, optische film, zonne-energie batterij, etc.

Productvoordeel
Geavanceerd software besturingssysteem: Veel functies zijn geïntegreerd in het systeem, waaronder technologische formulering, parameterinstelling, popedom-instelling, interlocking alarmerende ad-state controle.

ALD-films
Elementaire stof: CO, Cu, Ta, Ti, W, GE, PT, Ru, Ni, Fe…
Nitride: Tin, sin, ALN, tan, ZrN, HFN, WN …
Oxide: TiO2, HfO2, SiO2, ZnO, ZrO2, Al2O3, La2O3, SnO2…
Andere: GAA's, ALP, InP, Gap, InAs, LaHfxOy, SrTiO3, SrTaO6, ...

Toepassingsgebieden van ALD
Oxiden met hoge k-gate
Diëlektricum van de opslagcondensator
Diffusiebarrières met een hoge beeldverhouding voor Cu-verbindingen
Passivatielagen zonder gaatjes voor OLED's en polymeren
Zeer conforme coatings voor MEMS-toepassingen
Coating van nanoporeuze structuren
Doping van speciale vezels
Zonne-accu
Platte display
Optische dunne film
Nanofilm van andere speciale structuur

Technische parameters van  Het TALD-systeem voor de depositie van de atoomlaag:

Wafer-afmeting		8 inch en lager
Wafeltemperatuur		RT-400ºC, regelnauwkeurigheid ±0, 1ºC
Aantal precursoren		Drie precursor-lijnen, optioneel meer lijnen
Temperatuur van de leidingen van de precursor		RT-200ºC, regelnauwkeurigheid ±0, 1ºC
Temperatuur van de bronflessen		RT-200ºC, regelnauwkeurigheid ±0, 1ºC
ALD-klep		SWIFT-klep van de Swagelok ALD
Achtergrondvacuüm		< 5*10^-3Torr
Gasdragersysteem		N2  Of Ar
Groeimodus		Opeenvolgende of interval-depositiemodus
Besturingssysteem		PLC plus-touchscreen of -display
Voeding		50 HZ, 220 V/20 A AC
Heterogeniteit bij depositie		Heterogeniteit< ±1%
Dimensie van het instrument		600 mm x 600 mm x 1100 mm

Gerelateerde foto's van  Het TALD-systeem voor de depositie van atoomlagen:

Zhengzhou CY Scientific instrument Co., Ltd. Is opgericht in 2005 en is een bedrijf dat gespecialiseerd is in de ontwikkeling en productie van onderzoeksapparatuur voor laboratoriumtechnologie. De producten worden gemengd, geperst, verbrand, gesneden, gemalen, gepolijste, gecoate, analytische apparatuur en gerelateerde verbruiksartikelen. Tot de producten behoren apparatuur voor het sinteren van laboratoria, coatingapparatuur, enzovoort. Momenteel is het geëxporteerd naar 25 landen en regio's zoals de Verenigde Staten, Europa en Zuidoost-Azië, en is het goed ontvangen door verschillende wetenschappelijke onderzoekseenheden.

We hebben een volwassen technologie onderzoek en ontwikkeling team, het aantal technici is 33, het bedrijf heeft 150 mensen, meer dan 500 vierkante meter kantoorruimte, de fabriek beslaat een gebied van ongeveer 1, 500 vierkante meter gelegen in Zhengzhou High-tech Zone Electronic Industrial Park. De producten bevinden zich voornamelijk in de onderzoeksmarkt, die wetenschappelijk onderzoek in de laboratoria van universiteiten en hogescholen dient, en kunnen ook producten aanpassen aan uw behoeften.

V. Bent u een fabrikant of een handelsmaatschappij?

A.   Wij zijn professionele fabrikanten van laboratoriuminstrumenten, hebben een eigen ontwerpteam en fabriek, hebben een volwassen technische ervaring en kunnen de kwaliteit van producten en de optimale prijs garanderen.

V. Hoe is het aftersales-servicesysteem van uw bedrijf?

A.   de garantieperiode van het product is 12 maanden, we kunnen levenslange onderhoudswerkzaamheden uitvoeren. We hebben professionele pre-sales- en aftersales-afdelingen die binnen 24 uur op u kunnen reageren om eventuele technische problemen op te lossen.

V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?

A. 1. Als de goederen op voorraad zijn, is het 5-10 dagen. We kunnen onze klanten op maat gemaakte diensten aanbieden. Het duurt gewoonlijk 30-60 dagen, afhankelijk van de specificaties van het aangepaste instrument.

V. De stroomvoorziening en stekker in ons land zijn verschillend. Hoe lost u het op?

A.   We kunnen een transformator en stekker leveren volgens uw lokale vereisten, afhankelijk van de stekker van verschillende landen.

V. Hoe te betalen?

A. T / T, L / C, D / P, enz., wordt het gebruik van Alibaba Trade Guarantee aanbevolen.

V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?

A. 1. Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking 2. Express, lucht, zee scheepvaart volgens de eisen van de klant, vinden de meest geschikte manier.

Neem voor meer vragen contact op met de klantenservice.