Drie doelen magnetron Sputtering Coater voor Coating Substrates en wafers

• Type: Coating Spray Gun
• Coating: Vacuum Coating
• Substrate: Steel
• Certification: CE
• Condition: New
• garantie: een jaar
• Model NR.: CY-VTC-600-3HD
• toepassing: coating van wafer/substraatfilm
• technologie: magnetron-sputtering
• kamergrootte: 300 mm diameter.*300 mm h.
• Transportpakket: Plastic Paper Inside, Wooden Box Outside
• Specificatie: Chamber size 300mm Dia. *300mm H.
• Handelsmerk: CYKY
• Oorsprong: Zhengzhou, China
• Gs-Code: 8486202200
• Productiecapaciteit: 100/Month

Beschrijving

Drie doelen magnetron Sputtering Coater met RF/DC voeding voor Co-sputtering tot drie substraten en wafers

VTC-600-3HD is een  Combinatorisch plasma-sputtersysteem met  Drie 2' magnetron-sputterbronnen en drie RF/DC-voedingen. Zo'n sputtering systeem is in staat tot drie verschillende doelmaterialen te co-sputteren en verschillende compositie profielen te creëren over het substraat (bijv.   Ternaire materialen voor oplaadbare Li-ion  Accu).   Dit systeem is ook geschikt voor sequentiële coating van meerlaagse films zoals ferroelektrisch, legering, halfgeleider, keramiek, diëlektricum, Optisch, oxide, hard, PTFE, enz.

Specificaties

Ingangsvermogen	Eenfasig 220 VAC 50/60 Hz 2000 W (inclusief vacuümpomp en waterkoeler)
Bron voeding	Drie sputterende stroombronnen zijn in één besturingskast geïntegreerd. DC-bron: Vermogen van 500 W voor het coaten van metalen materialen RF-bron: 300 W vermogen, 13.56 MHz frequentie voor coating van niet-geleidende materialen
Magnetron-sputterkop	Drie 2-inch  Magnetron-sputterkoppen  Met waterkoelmantels en de kamers zijn inclusief rolluiken Er is ook één model met een sputting head verkrijgbaar. Vereiste doelgrootte: Diameter 2 inch Diktebereik: 0.1 - 5 mm voor zowel metalen als niet-geleidende objecten (inclusief steunplaat) Eén  Doel voor roestvrij staal  En één doel voor onderzoek  Naar de Al2O3   Zijn inbegrepen voor het testen van demo's Optionele 2-inch sputterdoelstellingen (of steunplaat) zijn op aanvraag beschikbaar tegen extra kosten. Aanbevolen Sputtering Recept en Nuttige tips Aangepaste coater: Twee DC - één RF; Twee RF - één DC; Drie DC; Drie RF Optioneel:   De 148 cm RF-kabel kan tegen extra kosten worden besteld voor vervanging.
Vacuümkamer	Vacuümkamer: 300 mm diameter x 300 mm hoogte, gemaakt van roestvrij staal Viewport: Twee stukken van 100 mm dia. Glas. Eén vast; Één afneembaar voor reiniging en vervanging Scharnierend deksel met  Pneumatische aandrijftangel voor eenvoudig doel verandering
Sample-fase	Monsterhouder is een roteerbaar en verwarmd stadium dat is gemaakt van keramische verwarming met koperen kap Grootte monsterhouder: 140 mm diameter voor. 4" wafer max Rotatiesnelheid: 1 - 20 tpm instelbaar voor een uniforme coating De temperatuur van de houder kan worden ingesteld van RT tot 500 °C. Max. (max. 2 uur) Met nauwkeurigheid +/- 1.0 °C via een digitale temperatuurregelaar
Gasflow-regeling	Er zijn twee precisie-massastroomcontrollers (MFC) geïnstalleerd om dit mogelijk te maken inlaat van twee soorten gassen Debiet: 0 - 200 ml/min en 0 - 100 ml/min instelbaar op het bedieningspaneel van het touchscreen De luchtinlaatklep is geïnstalleerd voor het vacuüm
Vacuümpompstation	Een mobiel pompstation is inbegrepen. De sputtering coater kan boven op het station worden geplaatst De snelle turbopomp  Met  Een snelheid van 80 l/s  Wordt gecombineerd met een Tweetraps mechanische pomp (220 l/min) voor een maximaal vacuümniveau en een hogere pompsnelheid Standaard vacuümniveau verbonden met kamer: < 4.0E-5 Torr...  (1.0E-6 Torr met bakvorm ) Als u een  Snelle turbopomp met 150 l/s kiest, kan het vacuüm met  De kamer 10-6 torr  Bereiken (6x10-7 torr met bakken) Voor het ultrahoge vacuüm tot 10^-7 torr is naast de turbopomp een zetter-pomp (100 l/s H2 & O2) nodig.
Waterkoeler	Eén digitale temperatuurgeregelde  Circulatiewaterkoeler  Is inbegrepen.   Koelbereik: 5~35 °C. Debiet: 16 l/min. Pompdruk: 14 psi
Totale afmetingen	Deksel gesloten: 48 x  28 x  32 inch         Deksel open:   48 x  28 x  37 inch
Nettogewicht van de coater	160 kg
Transportgewicht en afmetingen	Totaal 3 pallets 365 lbs, 48 x 40 x 45 inch 390 lbs, 48 inch x 40 inch x 49 inch 210 lbs, 48 x 40 x 30 inch
Naleving	CE-gecertificeerd
Garantie	Eén jaar beperkte garantie met levenslange ondersteuning

Gedetailleerde foto's

Verpakking en verzending:

Plastic papier aan de binnenkant, met polyschuim gevuld, houten  Doos aan de buitenkant  Of als uw behoefte.

Verzending en transport  Op verzoek van de klant. Over het algemeen zijn onze vervoerswijzen over zee, per vliegtuig of per spoor.

Onze diensten

1. Beantwoord uw vraag binnen 24 werkuren.

Ervaren medewerkers beantwoorden al uw vragen in vloeiend Engels.

Er is een op maat gemaakt ontwerp beschikbaar.

Exclusieve en unieke oplossing kan aan onze klant worden geleverd door onze goed opgeleide en  Professionele ingenieurs en medewerkers.

Professionele fabriek: Wij zijn fabrikant, gespecialiseerd in laboratoriumapparatuur  .

Bedrijfsinformatie

Zhengzhou Tainuo  Film Materials Co., Ltd.   Is voornamelijk bezig met het onderzoek en de ontwikkeling, het ontwerp, de productie en de verkoop van apparatuur die in wetenschappelijke onderzoeken wordt gebruikt. Onafhankelijkheid en innovatie zijn de principes van het bedrijf. Onze belangrijkste producten zijn: Buisoven, moffeloven, plasmareiniger, vacuümoven, sfeeroven, CVD-systeem en aangepaste  Laboratoriumapparatuur. Welkom om ons te bezoeken.

Producten van gedeeltelijke bedrijven