After-sales service: | gratis installatie en training, technische ondersteuning |
---|---|
Garantie: | eén jaar beperkte garantie |
Type: | pvd-machine met vacuümcoating |
Bekleding: | Vacuum Coating |
Substraat: | Staal |
Certificaat: | CE, ISO |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Modus Afmeting |
JTL-900 | JTL-1100 | JTL-1250 |
900 x 1000 mm | 1100 x 1000 mm | 1250*1100 mm | |
Coatingmodus en hoofdbevestiging |
Zes multi-boog-doelen + één set kolomdoelen + eén set rechthoekige magnetron-sputtering-doelen | Zes multi-boog-doelen + een paar dubbele (MF)magnetron-sputtering doelstellingen |
Twaalf multi-boog-doelen + twee sets rechthoekige magnetron Sputtering targets+ een paar tweelingtargets (MF)magnetron sputtering |
Voedingsbron | Elektrische boogspanning, DC-magnetron-vermogen, MF-magnetron-vermogen, gloeidraadvermogen, pulsvermogen, lineaire geïoniseerde bron. | ||
Procesgasregeling | Kwaliteitsmeter + keramisch elektromagnetisme ventiel | ||
Structuur van de vacuümkamer | Verticale enkele (zij)deur, postpositie pompsysteem, dubbele waterkoeling | ||
Vacuümsysteem | Moleculepomp +rootenpomp +mechanische pomp(5.0*10 -5 Pa) Diffusiepomp +rootpomp +mechanische pomp(5.0*10 -4 Pa) |
||
Baktemperatuur van het werkstuk | Normale temperatuur tot 350 centi-graden PID-regeling, stralingsverwarming. |
||
Werkstukbeweging | Publieke rotatie frequentieregeling: 0-20 rotatie per minuut | ||
Meetmodus | Numerieke weergave samengestelde vacuümmeter: Van atmosfeer tot 1.0*10 -5 Pa | ||
Besturingsmodus | Handmatig/automatisch/PC/PLC + HMI/PC vier keuze van de besturingsmodus | ||
Opmerking | We kunnen de afmetingen van de apparatuur ontwerpen op basis van de speciale technische vereisten van de klant. |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties