After-sales Service: | 2 Years |
---|---|
Warranty: | 1 Years |
Application: | School, Lab |
Customized: | Customized |
Structure: | Desktop |
Material: | Stainless Steel |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
PECVD-systeem
Het PECVD-systeem maakt gebruik van microgolven of radiofrequenties om het gas dat de atomen van de film bevat te ioniseren om lokaal een plasma te vormen. Het plasma heeft een sterke chemische activiteit en is gemakkelijk te reageren om de gewenste film op het substraat te leggen. Het systeem wordt veel gebruikt om hoogwaardige SiO2-film, Si3N4-film, diamantfilm, harde film, optische film, Koolstof nanotube (CNT), C/C composietmateriaal, SiC coating, grafiet product coating, etc.
Model | DM-12NT-PECVD | DM-14ST-PECVD | DM-17MT-PECVD |
Max. Temperatuur | 1200 ºC | 1400 ºC | 1700 ºC |
Bedrijfstemperatuur | 1100 ºC | 1300 ºC | 1600 ºC |
Verwarmingselement | Weerstandsdraad | SIC | MoSi2 |
Thermokoppel | Type K. | Type s. | Type B. |
Temperatuurzone | Nummer/diameter/lengte (kan worden aangepast) | ||
Temperatuurnauwkeurigheid | ±1 ºC | ||
Nominale spanning | AC220V50Hz/60Hz (kan worden aangepast) | ||
Gasregeling | Vlotterflowmeter/massaflowmeter | ||
Vacuümsysteem | Roterende pomp/Diffusion Pump/Moleculaire Turbo-pomp (optioneel) | ||
RF-vermogen | 100 W (optioneel) | ||
Optionele functie | Touchscreen/afstandsbediening/computerbewaking | ||
Kan worden aangepast |
V1. Hoe zit het met de after-sales service?
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties