CAS No.: | 7803-62-5 |
---|---|
Formule: | Sih4 |
EINECS: | 232-263-4 |
Bestanddeel: | Industriële Pure Air |
Grade Standard: | Electronic Grade |
Chemische Property: | Ontvlambare gas |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Productgegevens
CAS-nr.: 7803-62-5Onderdeel | 99.99% | 99.999% | 99.9999% | Eenheid |
Zuurstof (Ar) | ≤1 | ≤0.4 | ≤0.1 | Ppmv |
Stikstof | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |
Waterstof | ≤50 | ≤30 | ≤20 | Ppmv |
Helium | / | ≤10 | ≤10 | Ppmv |
CO+CO2 | ≤0.2 | ≤0.4 | ≤0.1 | Ppmv |
THC | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |
Chlorosilanen | ≤15 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |
Disiloxaan | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |
Disilaan | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |
Vocht (H2O) | ≤1 | ≤0.2 | ≤0.1 | Ppmv |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties