Productbeschrijvingen Dichloorsilaan is een siliciumvoorloper voor epitaxiaal silicium, siliciumgermanium, siliciumnitride, dunne films van siliciumoxide, siliciumcarbide en metaalsilicide. Details
Productnaam |
Dichloorsilaan |
Type |
SiH2Cl2 |
Zuiverheid |
n3.0 |
Cilinderspecificatie |
40 LITER |
Vulinhoud(20?C) |
37 kg |
Type klep |
DISS636 |
Toepassingen |
Halfgeleider: Gebruikt bij de productie van epitaxiaaltabletten, optische vezels belangrijke grondstoffen, beïnvloeden direct de prestaties van geïntegreerde schakelingen, integratie, opbrengst. |
Productspecificatie
Items |
Composities |
Symbolen |
Waarde |
Eenheden |
Zuiverheid (GC) |
SiH2Cl2 |
≥ |
99.9 |
% |
Onzuiverheden in het gas |
O2+Ar |
≤ |
1 |
ppm |
N2 |
≤ |
1 |
ppm |
CO |
≤ |
1 |
ppm |
CO2 |
≤ |
1 |
ppm |
Onzuiverheden van donoren |
P |
≤ |
0.20 |
ng/g |
Als |
≤ |
0.05 |
ng/g |
Onzuiverheden accepteren |
B |
≤ |
0.20 |
ng/g |
Al |
≤ |
0.10 |
ng/g |
Metaalverontreinigingen |
CR |
≤ |
0.50 |
ng/g |
FE |
≤ |
1.00 |
ng/g |
Ni |
≤ |
0.50 |
ng/g |
Cu |
≤ |
0.50 |
ng/g |
Zn |
≤ |
0.50 |
ng/g |
CO |
≤ |
0.20 |
ng/g |
Na |
≤ |
0.50 |
ng/g |
Pakkettype Bedrijfsinformatie: Suzhou Kaimei Electronic Material Co., Ltd is bemand door opgeleid personeel, combineren vele jaren ervaring in de gasindustrie .we leveren cilindergas, elektronisch gas, etc, en de gashouder, paneel, kleppen en hulpstukken en andere apparatuur, onderdelen en engineering diensten aan onze klanten in China en wereldwijd; De producten zijn betrokken op diverse industriële gebieden, zoals halfgeleiderchip, zonnecel, LED, TFT-LCD, optische vezel, Glas, laser, medicijnen, etc., onze missie is om samen te werken met onze wereldwijde klanten om ondersteuning, oplossingen en kwaliteitsproducten te bieden die innovatief, betrouwbaar en veilig zijn. Onze producten omvatten voornamelijk: H2, O2, N2, Ar, CO2, Propaan, acetyleen, helium, gemengd lasergas, SiH4, Sih2cl2, SiHCL3, SiCL4, NH3, CF4, NF3, SF6, HCL, N2O, het smeren van gemengd gas (TMB, PH3, B2H6) en andere elektronische gassen.