Trichloorsilaan is een siliciumvoorloper voor epitaxiaal silicium-bevattende dunne films, vooral voor de voorbereiding van het starten van wafers. Specificaties:
| Test items |
Eenheid |
Testresultaat |
| Onderdelen |
Zuiverheid |
% |
99.990 |
| |
Andere CHLOROSILANE |
% |
0.010 |
| Onzuiverheden |
CO |
ppb |
0.01 |
| |
CR |
ppb |
0.01 |
| |
Cu |
ppb |
0.01 |
| |
FE |
ppb |
0.06 |
| |
MN |
ppb |
0.01 |
| |
Ni |
ppb |
0.01 |
| |
V |
ppb |
0.01 |
| |
B |
ppb |
0.01 |
| |
Al |
ppb |
0.01 |
| |
P |
ppb |
0.01 |
| |
Als |
ppb |
0.01 |
| |
MA |
ppb |
0.01 |
| |
Totale metaalonzuiverheden |
ppb |
<1.00 |
| P+AS |
ppb |
0.02 |
| C |
ppm |
<0.01 |
| Gasdichtheid |
/ |
4.7 |
Pakkettype: Bedrijfsinformatie: Jiangsu Kaimei Electronic Material Co., Ltd is bemand door opgeleid personeel, combineren vele jaren ervaring in de gasindustrie .we leveren cilindergas, elektronisch gas, etc ., en de gashouder, paneel, kleppen en fittingen en andere apparatuur, onderdelen en engineering diensten aan onze klanten in China en wereldwijd; De producten zijn betrokken op diverse industriële gebieden, zoals halfgeleiderchip, zonnecel, LED, TFT-LCD, optische vezel, Glas, laser, medicijnen, etc., onze missie is om samen te werken met onze wereldwijde klanten om ondersteuning, oplossingen en kwaliteitsproducten te bieden die innovatief, betrouwbaar en veilig zijn. Onze producten omvatten voornamelijk: H2, O2, N2, Ar, CO2, Propaan, acetyleen, helium, gemengd lasergas, SiH4, Sih2cl2, SiHCL3, SiCL4, NH3, CF4, NF3, SF6, HCL, N2O, het smeren van gemengd gas (TMB, PH3, B2H6) en andere elektronische gassen.
Gecontroleerde Leverancier 
