After-sales Service: | 1 jaar |
---|---|
Garantie: | 1 jaar |
Type: | rie |
Certificaat: | CE |
Etsen Type: | Dubbele Spray |
Precisie: | High Precision |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Item | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE |
Productgrootte | ≤6 inch | ≤8 inch | ≤8 inch |
RF-voedingsbron | 0-300 W/500 W/1000 W instelbaar, automatisch passend | ||
Moleculaire pomp | -/620(L/s)/1300(L/s)/aangepast | Antiseptic620(L/s)/1300(L/s)/aangepast | |
Foreline-pomp | Mechanische pomp/droge pomp | Droge pomp | |
Procesdruk | Ongecontroleerde druk/0-1Torr geregelde druk | ||
Type gas | H/CH4/O2/N2/AR/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/AANGEPAST (Maximaal 9 kanalen, geen corrosief en giftig gas) |
H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBR (maximaal 9 kanalen) | |
Gasbereik | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||
LoadLock | Ja/Nee | Ja | |
Sample-temregeling | 10°C~kamer tem/-30°C~100°C/aangepast | -30°C~100°C /aangepast | |
Terugheliumkoeling | Ja/Nee | Ja | |
Voering procesholte | Ja/Nee | Ja | |
Controle van de spouwwand | Nee/Roomtem~60/120°C. | Ruimte tem-60/120°C. | |
Regelsysteem | Automatisch/aangepast | ||
Etsmateriaal | Op silicium gebaseerd:Si/SiO2/sinx ··· IV-IV: SIC Magnetische materialen/legeringen Metallic materiaal: Ni/Cr/al/Au..... Organisch materiaal: PR/PMMA/HDMS/Organic film ...... |
Op silicium gebaseerd: SI/SiO2/sinx...... III-V(3): INP/GAA/GAN...... IV-IV: SIC II-VI (3): CdTe...... Magnetische materialen/legeringen Metallic materiaal: Ni/Cr/A1/Au...... Organisch materiaal: PR/PMMA/HDMS/organische film... |
Het wordt toegepast op het etsen van moeilijk te etsen materialen zoals sommige metalen (zoals Ni / CR) en keramiek, en het patternede tching van materialen wordt gerealiseerd door fysieke bombardementen. | Het wordt gebruikt voor het etsen en verwijderen van organische verbindingen Zoals fotoresist (PR)/ PMMA / HDMS / polymeer |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties