Spin Rinse-droger Dual Chamber Cleaning, Drying, Nitrogen Drying, Working Chamber Drying

• After-sales Service: 1 Year
• Warranty: 1 Year
• beweging Way: gecombineerde
• verneveling: Rotary verstuiving
• Stroom: Cross Flow
• verwarming Mode: diëlectrisch
• Model NR.: SRD-dual chamber
• Materiële status: Oplossing
• droogmedium: inactieve Gas
• Operation Pressure: Vacuüm
• operationele Methode: doorlopend
• Handelsmerk: minder-hightech
• Oorsprong: Guangzhou
• Gs-Code: 8015809090
• Productiecapaciteit: 200PCS/Yearpcs/Year

Beschrijving

spin de spoeldroger met twee kamers

SRD-spoeldroger

Functies
* redelijk structuurontwerp en volwassen procestechnologie
* goed droogeffect en hoge proceszuiverheid
* kleine trillingen, goede betrouwbaarheid en toepasbaar op dunne platen
* eenvoudige bediening, gemakkelijk onderhoud, stabiele en betrouwbare werking van de hele machine
technische parameter
Afmetingen wafer: Van toepassing op 1-12 inch productielijn
Fragmentatiesnelheid: 1/10000
toepassingsgebied
SPM-zure reiniging, organische reiniging, ontwikkelen, ontgummen, ITO etsen, BOE-etsen, gelijkmatig verlijmen en ander proces wafer drogen
Functie van de apparatuur
De apparatuur is verdeeld in één holte en dubbele holte, die wordt gebruikt voor nat drogen van verschillende materialen voor halfgeleidertoepassingen, zoals 1 inch, 2 inch, 4 inch, 5 inch, 6 inch, 8-inch, 12-inch standaardformaat wafers, wafers van niet-standaardformaat en vierkante wafers, siliciumwafers, kaliumnitride, galliumarsenide, saffier, masker, enzovoort.
parameters voor roccess

vakmanschap	STAP	Stap 1	Stap 2	Stap 3	Stap 4	Stap 5	Stap 6	Stap 7	Stap 8	Stap 9	Stap 10
Tijd (s)		0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999	0-999
toerental (omw/min)		0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500	0-2500
Doorspoelen		Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel
Purge		Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel
stikstof		Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel
Stikstofverwarming		Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel
Caviteitsverwarming		Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel
Elektrostatische eliminatie		Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel	Optioneel

Functie van de apparatuur
Functies
* Brushless servomotor drive zorgt voor de stabiliteit, betrouwbaarheid en reinheid van de apparatuur.
* Labyrinth stikstofafdichting, holtes en holtes isolatie, contactloos afdichteffect, om de procesomgevingseisen te garanderen.
* PTFE pneumatische klepcomponenten, PVDF-leidingen en connectoren worden gebruikt.
* gemaakt van 316L roestvrij staal, is het oppervlak elektrolytisch gepolijst.
* de functie van wassen, blazen, drogen en drogen is het gebruik van snelle roterende centrifugaalkracht om het resterende chemische reagens en deeltjesstof te verwijderen, en schone stikstof om het resterende deeltjesstof weg te nemen om het productoppervlak schoon, droog en schoon te maken.
* elektrostatische eliminatiefunctie. Wanneer het product met hoge snelheid beweegt, genereert het statische elektriciteit. Gebruik het apparaat voor elektrostatische verwijdering van hoogspanning om het productoppervlak in de neutrale stand te laten komen.
* geleidbaarheidsbewaking, bewaking van de kwaliteit van het reinigingswater en de resterende chemische reagens en deeltjes op het productoppervlak, die niet aan de eisen voor het drogen voldoen, vragen en geven een waarschuwing om te voorkomen dat de defecte producten het volgende proces ingaan.
*Stainless steel heater stikstofverwarming, verwarming van membraancaviteiten, PID temperatuurprecisie controle, kan ervoor kiezen om van tevoren te verwarmen. De automatische reinigingsfunctie kan worden geselecteerd en het interval kan worden ingesteld om ervoor te zorgen dat de apparatuur altijd schoon wordt gehouden.
* 0,003UM stikstof wordt gefilterd om de reinheid van te verzekeren procesgas
* Mechanische zelfresetfunctie, stop en zet de cassette omhoog.
* stikstofdruk, deursealstatus, cassette omhoog en andere condities zijn beschermd.
* de regeleenheid wordt onafhankelijk bediend, werkt onafhankelijk en is eenvoudig te bedienen en te onderhouden.