After-sales service: | 1 jaar |
---|---|
Garantie: | 1 jaar |
Reinigingsproces: | plasma |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Gecontroleerd door een onafhankelijk extern inspectiebureau
Stroomsystemen | Aangepaste RF-voeding: 13,56 MHz 0-600 W (instelbaar) |
Volautomatische vacuümcondensator-matcher | |
Vacuümsysteem | Aangepaste tweetraps schoepenpomp (oliepomp): 40 m3/u. |
Vacuümmeter: Japanse Inficon Pirani vacuümmeter | |
Vacuümleiding: Alle roestvrijstalen leidingen met hoge sterkte vacuümbalgen | |
Caviteitssysteem (aanpasbaar) |
Aluminiumlegering; dikte van klasse 25 mm |
Binnenafmetingen holte:375*375*425 mm(B*H*D) | |
Indeling van de elektrodeplaat:horizontale indeling, uittrekbaar | |
Werkbak | |
Aantal ruimtelagen:6 lagen | |
Gassysteem | Pneumatisch ventiel:Japanse SMC |
Flowmeter:China sevenstar:0-300SCCM | |
Twee procesgassen: Argon, zuurstof (Argon, zuurstof, stikstof, waterstof, vier stikstoffluoride zijn optioneel.) |
|
Regelsysteem | PLC:Duitse SIEMENS S-serie |
Zeven-inch touchscreen: WEINVIEW | |
Elektrische onderdelen | |
Andere parameters | Afmetingen:885*900*1576 mm(B*H*D) |
Gewicht:350 kg | |
Kleur: Zilver |