CAS No.: | 75-73-0 |
---|---|
Formule: | CF4 |
EINECS: | 200-896-5 |
Bestanddeel: | Industriële Pure Air |
Grade Standard: | Industriële Rang |
Chemische Property: | Onbrandbaar gas |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Item | Index | ||
CF4, %(V/V)≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
N2, 10-6(V/V) ≤ | 4 | 20 | 40 |
O2, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
CO2, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
CO, 10-6(V/V) ≤ | 0.3 | 0.5 | 1 |
SF6, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 1 | 5 |
H2O, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
HF, 10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
TFC(CH2F2, CHF3, C2F3, C3F8), 10-6(V/V) ≤ | 1 | 10 | 30 |
Totaal onzuiverheidsgehalte, ppm (V/V) ≤ | 10 | 50 | 100 |
Parameter Kritische assay |
Eenheid | Bedrijf Specificatie |
Analyse Resultaten |
Analysemethode |
Tetrafluormethaan (CF4) | %(v/v) | 99.999% min. | > 99.999% | G. C |
Zuurstof (O2) | v. Ppm | < 1.0 | < 0.2 | G. C |
Stikstof (N2) | v. Ppm | < 1.0 | < 0.6 | G. C |
Koolmonoxide (CO) | v. Ppm | < 0.5 | < 0.2 | G. C |
Kooldioxide (CO2) | v. Ppm | < 0.5 | < 0.2 | G. C |
Zwavelhexafluoride (SF6) | v. Ppm | < 0.2 | < 0.1 | G. C |
Trifluormethaan (CHF3) | v. Ppm | < 0.5 | < 0.1 | G. C |
Andere Halocarbon (OFC)* | v. Ppm | < 1.0 | < 0.7 | G. C |
Totale koolwaterstof (THC)* | v. Ppm | < 0.5 | < 0.1 | G. C |
Vocht (H2O) | v. Ppm | < 0.5 | < 0.2 | Vochtanalysator |
Zuurgraad (als HF) | v. Ppm | < 0.1 | < 0.08 | Zuurgraad-analyzer |
Totale inhoud van onzuiverheid | v. Ppm | ≤10.0 | < 10.0 | G. C |
Partibaal(> 0, 1 μm) | pcs/liter | < 10.0 | < 1.0 | ICP-MS |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties