CAS No.: | 75-73-0 |
---|---|
Formule: | CF4 |
EINECS: | 200-896-5 |
Bestanddeel: | Industriële Pure Air |
Grade Standard: | Industriële Rang |
Chemische Property: | Onbrandbaar gas |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Toepassing van SF4:
koolstoftetrafluoride is momenteel de grootste hoeveelheid plasma-etchgas in de micro-elektronica-industrie. Het is een mengsel van gas met een hoge zuiverheid en zuurstof met een hoge zuiverheid van tetrafluoride. Het kan op grote schaal worden gebruikt bij het etsen van silicium, siliciumdioxide, siliciumnitride, fosforachtig siliciumglas en wolfraamfilmmaterialen.Item | Index | ||
CF4, %(V/V)≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
N2, 10-6(V/V) ≤ | 4 | 20 | 40 |
O2, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
CO2, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
CO, 10-6(V/V) ≤ | 0.3 | 0.5 | 1 |
SF6, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 1 | 5 |
H2O, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
HF, 10-6(V/V) ≤ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
TFC(CH2F2,CHF3,C2F3,C3F8),10-6(V/V) ≤ | 1 | 10 | 30 |
Totaal onzuiverheidsgehalte, ppm (V/V) ≤ | 10 | 50 | 100 |
Parameter Kritische assay |
Eenheid | Bedrijf Specificatie |
Analyse Resultaten |
Analysemethode |
Tetrafluormethaan (CF4) | %(v/v) | 99.999% min. | >99.999% | G.C |
Zuurstof (O2) | v. ppm | <1.0 | <0.2 | G.C |
Stikstof (N2) | v. ppm | <1.0 | <0.6 | G.C |
Koolmonoxide (CO) | v. ppm | <0.5 | <0.2 | G.C |
Kooldioxide (CO2) | v. ppm | <0.5 | <0.2 | G.C |
Zwavelhexafluoride (SF6) | v. ppm | <0.2 | <0.1 | G.C |
Trifluormethaan (CHF3) | v. ppm | <0.5 | <0.1 | G.C |
Andere Halocarbon (OFC)* | v. ppm | <1.0 | <0.7 | G.C |
Totale koolwaterstof (THC)* | v. ppm | <0.5 | <0.1 | G.C |
Vocht (H2O) | v. ppm | <0.5 | <0.2 | Vochtanalysator |
Zuurgraad (als HF) | v. ppm | <0.1 | <0.08 | Zuurgraad-analyzer |
Totale inhoud van onzuiverheid | v. ppm | ≤10.0 | <10.0 | G.C |
Partibaal(>0,1 μm) | pcs/liter | <10.0 | <1.0 | ICP-MS |
Over ons:
Qingdao Ruiming Bluesky Energy Co., Ltd is gevestigd in Qingdao, de grootste zeehaven in China, bezit de handige scheepvaart voordelen.Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties