Koolstoftetrafluoride van hoge kwaliteit, tetrafluormethaan, R14, koelmiddel CF4 Gas

• CAS No.: 75-73-0
• Formule: CF4
• EINECS: 200-896-5
• Bestanddeel: Industriële Pure Air
• Grade Standard: Industriële Rang
• Chemische Property: Onbrandbaar gas
• Model NR.: 99.9%
• un-nummer: 1982
• naam van de verzending: tetrafluormethaan
• gevarenklasse: 2.2
• label: niet-ontvlambaar gas
• algemene beschrijving: kleurloos/niet-ontvlambaar gas
• mol-bestand: 75-73-0.Mol
• Transportpakket: Cylinder
• Specificatie: 1.603g/cm3(-128º C) 27.330(cm· mol)
• Handelsmerk: RM/OEM
• Oorsprong: Qingdao, China
• Gs-Code: 2826199090
• Productiecapaciteit: 1000 PCS Per Month

Beschrijving

Toepassing van SF4:
koolstoftetrafluoride is momenteel de grootste hoeveelheid plasma-etchgas in de micro-elektronica-industrie. Het is een mengsel van gas met een hoge zuiverheid en zuurstof met een hoge zuiverheid van tetrafluoride. Het kan op grote schaal worden gebruikt bij het etsen van silicium, siliciumdioxide, siliciumnitride, fosforachtig siliciumglas en wolfraamfilmmaterialen.
Voor silicium- en siliciumdioxidesystemen kan de selectiviteit van 45:1 worden verkregen door de verhouding van de twee gassen aan te passen bij het gebruik van reactieve ionenetching van cf4-h2, wat zeer nuttig is voor het etsen van de siliciumdioxidefilm op de polykristallijne siliciumpoort.

Het wordt ook veel gebruikt bij het reinigen van het oppervlak van elektronische apparaten, de productie van zonnecellen, lasertechnologie, isolatie van de gasfase, cryogene koeling, lektestmiddel, controle van de houding van de ruimteraket, en wasmiddel in de productie van drukcircuits.

 COA van CF4-gas

Item	Index
CF4, %(V/V)≥	99.999	99.995	99.99
N2, 10-6(V/V) ≤	4	20	40
O2, 10-6(V/V) ≤	1	5	10
CO2, 10-6(V/V) ≤	1	5	10
CO, 10-6(V/V) ≤	0.3	0.5	1
SF6, 10-6(V/V) ≤	1	1	5
H2O, 10-6(V/V) ≤	1	5	10
HF, 10-6(V/V) ≤	0.1	0.3	0.3
TFC(CH2F2,CHF3,C2F3,C3F8),10-6(V/V) ≤	1	10	30
Totaal onzuiverheidsgehalte, ppm (V/V) ≤	10	50	100

CF4-specificatie

Parameter Kritische assay	Eenheid	Bedrijf Specificatie	Analyse Resultaten	Analysemethode
Tetrafluormethaan (CF4)	%(v/v)	99.999% min.	>99.999%	G.C
Zuurstof (O2)	v. ppm	<1.0	<0.2	G.C
Stikstof (N2)	v. ppm	<1.0	<0.6	G.C
Koolmonoxide (CO)	v. ppm	<0.5	<0.2	G.C
Kooldioxide (CO2)	v. ppm	<0.5	<0.2	G.C
Zwavelhexafluoride (SF6)	v. ppm	<0.2	<0.1	G.C
Trifluormethaan (CHF3)	v. ppm	<0.5	<0.1	G.C
Andere Halocarbon (OFC)*	v. ppm	<1.0	<0.7	G.C
Totale koolwaterstof (THC)*	v. ppm	<0.5	<0.1	G.C
Vocht (H2O)	v. ppm	<0.5	<0.2	Vochtanalysator
Zuurgraad (als HF)	v. ppm	<0.1	<0.08	Zuurgraad-analyzer
Totale inhoud van onzuiverheid	v. ppm	≤10.0	<10.0	G.C
Partibaal(>0,1 μm)	pcs/liter	<10.0	<1.0	ICP-MS

Over ons:
Qingdao Ruiming Bluesky Energy Co., Ltd is gevestigd in Qingdao, de grootste zeehaven in China, bezit de handige scheepvaart voordelen.
     Ruiming  wordt door onze klanten erkend als het bieden van ongeëvenaarde technische kennis en ondersteuning, wat resulteert in het vermogen om kosteneffectieve en concurrerende oplossingen te bieden. We streven ernaar dat onze klanten graag met ons samenwerken dankzij onze vriendelijke, betrouwbare en professionele houding bij alles wat we doen.  
    Deze website is ontworpen om u een "gevoel" te geven voor de kwaliteit van Ruiming als bedrijf en u een overzicht en technische informatie te geven van onze productassortimenten. Als u niet kunt vinden wat u zoekt of advies wilt, neem dan gerust contact met ons op - we zullen er alles aan doen om u te helpen.
     Belangrijkste producten:
1. Gasproducten: Argon gas, heliumgas, waterstofgas, koolmonoxide (CO2), propaangas, ect.
2. Alle soorten hogedrukgascilinders en gelaste gascilinders:  
    Zuurstofcilinder( GB 5099/ ISO 9809-3/ DOT/ en standaardgas cilinders)
    Acetyleen gascilinder
    Vloeistofchloor/vloeistofammoniakcilinder
3. Containers met vloeibare stikstof: Alle soorten vaten met vloeibare stikstof van 2 l tot 50 l.
4. Dewar-kolf: Vloeistofreservoirs met een inhoud van 175 l 195 l en 495 l
     Waarom mensen bij ons kopen:
    Prijs we streven ernaar de beste all-round waarde te bieden voor geld
    Kwaliteitsproducten die zijn gekozen om te voldoen aan de hoge kwaliteit die wordt gevraagd door onze klanten
    Levering we houden onze beloften na, en als we het niet kunnen laten we je dat weten
    Betrouwbaarheid Producten en advies waarop u kunt vertrouwen
    Reputatie onze ervaring en technische expertise resulteren vaak in klanten verwijzingen
    Uitgebreid assortiment, we voldoen aan de meeste behoeften
    Aardige mensen onze klanten vertellen ons dat ze "de mensen leuk vinden, ze weten hun producten en ze zijn erg behulpzaam."
    We geven ons de zorg hoe onze klanten ons zien en voelen vandaag beslissen we morgen over ons succes of onze mislukking

Missie: Producten van topkwaliteit, technische expertise en service leveren om de totale klanttevredenheid te bereiken door een pakket met de beste waarde te bieden.