Maatwerk: | Beschikbaar |
---|---|
After-sales service: | 3r kwaliteit garantie-retour, vervangen, restitutie |
Garantie: | 12 maanden |
Nog steeds aan het beslissen? Vraag om monsters van $ !
Monster Aanvragen
|
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Gecontroleerd door een onafhankelijk extern inspectiebureau
Specificaties | Productielimieten |
Verwerken van werkprocessen | Ionenbundel polijsten (IBF) |
Diameter | ≤1300 mm (± 0,010 mm) |
Lengte | ≤1300 mm (± 0,010 mm) |
Breedte | ≤1300 mm (± 0,010 mm) |
Dikte | ≤300 mm (± 0,01 mm) |
IBF-nauwkeurigheid | RMS≤5 nm |
Nauwkeurigheid van positionering | ± 0,02 mm |
Nauwkeurigheid van herpositionering | ± 0,01 mm |
Methode voor bewegingscontrole | 3-assige hefinrichting |
XY-lijngrootte | 0-1300 mm |
Lijngrootte Z-as | 0-300 mm |
A-as rotatiehoek | A≥60° |
Ionenbron | Duitse RF-ionbron |
Maximale bundelspanning | 2000 V. |
Maximale valuta bundel | 1000 mA |
Eliminatiefunctie | Gaussiaans type, stabiliteit ≥ 95% |
Werkvacuüm | 5 × 10-3pa |
Werkvacuüm-establishment time | ≤1.5 uur |
Tijd voor vacuümopbouw secundaire kamer | ≤30 min. |
Materialen voor verwerking | Gesmolten silica / gesmolten kwarts/silicium/CaF2/BaF2/ZnS/ZnSe Optisch glas, silicium, infraroodmaterialen, YAG, saffier |
Vormen verwerken | Planair, sferisch, asferisch, ultradun, cilindrisch, oppervlak met vrije vorm en een andere as |