C4f6 (H-2316) Hexafluorobutadieen biedt verschillende voordelen voor droge etsen van op oxide gebaseerde materialen:

• CAS No.: 685-63-2
• Formule: c4f6
• EINECS: c4f6
• Bestanddeel: Industriële Mengsel
• Grade Standard: Industriële Rang
• Chemische Property: -Verbranding Ondersteunende Gas
• Model NR.: C4F6
• Transportpakket: Steel Cylinder
• Handelsmerk: SHINGCHEM
• Oorsprong: China
• Gs-Code: 2903399020
• Productiecapaciteit: 1000 Ton/Month

Beschrijving

                             
                 C4F6 (H-2316) Hexafluorbutadieen
Het heeft een hogere etch-snelheid en selectiviteit dan octafluorocyclobutaan (c-C4F8 - H318), een ander uitgebreid gebruikt etsmiddel voor siliciumoxide. In tegenstelling tot C4F8 (H318), met C4F6 (H2316), is alleen het diëlektrische substraat geëtst. De geëtste structuur heeft een hogere aspect ratio, wat leidt tot smallere loopgraven in vergelijking met c-C4F8.VOC-emissies worden verminderd: C4F6 (H2316) heeft een laag broeikaseffect omdat het een veel kortere levensduur heeft in de atmosfeer.
 

Productnaam :	HEXAFLUOROCYCLOBUTENE	Zuiverheid:	99.9 ~ 99.99%
CAS-nr.:	697-11-0	EINECS-nr.:	211-803-2
MF:	C4F6	Molaire massa:	697-11-0.mol
VN-nr.:	3162	Gevarenklasse:	2.3+2.1
Uiterlijk:	Kleurloos, niet-brandbaar	Geur:	geurloos

 

Inspectie-item	eenheid	Vereiste
C4F6	%	99.9
AR+O2	ppmv	≤10
N2	ppmv	≤40
CO2	ppmv	≤20
CO	ppmv	≤7
THC	ppmv	≤700
HF	ppmv	≤10

Verpakking en levering

DOT-transport:	Vloeibaar gas, giftig, niet-ontvlambaar
PUNTCLASSIFICATIE:	2.2
VN-NR.:	VN 3160
CAS-NR.:	3162
CGA/DISS-klep:	580

 

Andere kenmerken

Plaats van herkomst
Taiwan, China
Andere namen
HFB
MF
C4F6
EINECS-nr.
211-803-2
Kwaliteitsstandaard
Industriële kwaliteit, elektron-klasse
Uiterlijk
kleurloos gas
Toepassing
halfgeleider
Merknaam
OEM
Modelnummer
C4F6
Productnaam
C4F6-gas
Gevarenklasse
2.3, 2.1
Kleur
Kleurloos
Certificaat
ISO9001
MOQ
2 cilinders
Opmerking over gevaar
Giftig
VN Nee
3162
Geur
Geurloos
Pakket
Naadloze stalen cilinder
Cilindertype
ISO/GB/DOT

Verpakking en levering

Verpakkingsgegevens
DOT 43/48.8 L/GB 980L/500L

Poort
Shanghai,Qingdao,Ningbo,HongKong,Kaohsiung

Leveringsmogelijkheden

Leveringsmogelijkheden
10000 stuks per jaar
Minder weergeven  

Doorlooptijd

Hoeveelheid (kilogram)	1 - 5	6 - 20	21 - 50	> 50
Doorlooptijd (dagen)	3	7	15	Waarover onderhandeld moet worden

Etsgassen UN 3160 Elektronisch octafluorocyclobutaan C4F6 Gas

Hexafluoro1,3‐butadieen is een giftig, kleurloos, geurloos, brandbaar vloeibaar gemaakt gas

Uit jarenlange onderzoeken is gebleken dat C4F6 (H-2316) verschillende voordelen biedt voor het droog etsen van materialen op basis van oxide:

 Het heeft een hogere etch-snelheid en selectiviteit dan octafluorocyclobutaan (c-C4F8 - H318), een ander uitgebreid gebruikt etsmiddel voor siliciumoxide. In tegenstelling tot C4F8 (H318), met C4F6 (H2316), is alleen het diëlektrische substraat geëtst. De geëtste structuur heeft een hogere aspect ratio, wat leidt tot smallere loopgraven in vergelijking met c-C4F8.VOC-emissies worden verminderd: C4F6 (H2316) heeft een laag broeikaseffect omdat het een veel kortere levensduur heeft in de atmosfeer.