TMAXCN-merklab Hoge temperatuur 1200c dubbele zones schuifbare CVD Fornuis

• Application: Industry, School, Hospital, Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE, ISO
• Structure: Tubular
• Material: Stainless Steel
• Type: Tubular Furnace
• Model NR.: TMAX-1200-1200-C
• Transportpakket: Wood Packing
• Handelsmerk: TMAX
• Oorsprong: China

Beschrijving

Laboratorium Hoge temperatuur 1200C dubbele zones schuifbaar CVD-fornuis

Het gasfase-depositiesysteem van TMAX-1200-1200-C bestaat uit een oven met glijdende buis, een kwartsvacuümkamer, een GX-gastoevoersysteem, een afzuigsysteem, een vacuümmeetsysteem en een ALD-systeem.
 
Het TMAX-1200-1200-C dampafzetting-systeem met  A1-weerstandsdraadverwarmingselement, met dubbele shell-structuur en 30-programmatabel voor temperatuurregeling, zero-passage-trigger, thyristor-regeling, oven met polykristallijne alumina-vezelmateriaal, kan aan beide uiteinden van de ovenbuis een roestvaststalen flensafdichting aanbrengen, De installatie van roestvrijstalen flens heeft een mond-, klep- en drukmeter, vacuüm, vacuümgraad kan 10-3 Pa bereiken, balanceren in het veld bij lage temperaturen, oppervlaktetemperatuur, heftemperatuur, energiebesparing, prijsconcessies, enz.
 
Open-dekselbeveiligingssysteem: Het fornuis is uitgerust met een rijschakelaar. Wanneer de klep wordt geopend, wordt de stroom automatisch uitgeschakeld en wordt de veiligheid van de gebruiker gewaarborgd.
 
1.  A1-weerstandsdraad van Zweden
                                                                                              
 A1 originele draad       Chinese weerstandsoven   VS       geïmporteerde weerstand draadfornuis
(1), kan een hoge oppervlaktetemperatuur 1420 ºC bereiken
(2) het oppervlak is van roestvrij staal (zeer helder, de klant moet er rekening mee houden), het zal niet roesten, en de gebruikstijd zal niet van de slak vallen.
(3) gegevens van  weerstandsdraad worden gedownload
 
(5) de weerstand is in balans en het temperatuurveld is even goed
                                                                                            
De meeste fabrikanten gebruiken fe-cr-al-legering die is afgedopt door Mo-weerstandsdraad, die                   
Soms is de weerstand ongelijk en is een deel van de hitte klein                                            A1 weerstand is uniform en warmte evenwichtig, goede temperatuur veld                                                                                                                                                                         effect
 
2. Installatie van luchtschakelaar en lekbeveiliging:
Wanneer een elektrische stroom of lekkage optreedt, wordt een lege vergadering automatisch uitgeschakeld.

3. Kan verbinding maken met de computer
Deze oven is uitgerust met communicatie-interface en software, kan rechtstreeks via de computerbesturing van de oven van elke parameter worden geregeld, en kan worden waargenomen vanuit de computer PV op het fornuis en SV-temperatuurwaarde en werking van het instrument, de werkelijke temperatuur van de curvetekencomputer van het fornuis in real-time, en kan de temperatuurgegevens van elke keer bewaren, kan op elk moment oproepen
 
4. Kamer  

 (1) Hoge kwaliteit hoogzuivere alumina polykristallijn vezelgeharde oven met vacuümzuiging en filtergieten.
(2). Japanse technologie gebruiken om zich te vormen.
(3). De afstand en de afstand van de weerstandsdraad in de oven zijn gerangschikt volgens de beste thermische technologie van Japan, en het temperatuurveld wordt gesimuleerd door thermische software
 (4). Door 4 weken te verwarmen is de temperatuur evenwichtiger
 
5. Optionele UL-gecertificeerde elektrische printplaat (allemaal door de UL-certificering van geïmporteerde elektrische apparaten)
 
6. Trigger
Soft-start stroombeperkende trigger                       de meeste fabrikanten gebruiken niet-beperkende Xiamen Bode triggers
                                                   
1-fase-schakeltrigger (met zachte start en stroombegrenzingsfunctie)
Stroombeperkende functie ongeacht hoe de verwarmingstijd moet worden aangepast, is de elektrische oven na de secundaire stroom van de transformator beperkt tot 170A of minder beperkte bescherming van de apparatuur.   Niet-limiterende trigger als de verwarmingssnelheid onjuist of te snel is ingesteld. Lage stroomsterkte is zeer groot. Het apparaat zal trippen of uitbranden.
3 soft-start functie de stroom zal de stroom langzaam verhogen de impact van het verwarmingselement is klein, wat bevorderlijk is de verlenging van de levensduur van het verwarmingselement
4 de beveiligingsfunctie als de stroom de limietstroom overschrijdt, zal de trigger automatisch de triggerfunctie uitschakelen om de huidige beschermoven uit te schakelen.
7. UL-gecertificeerde transformator

1 de kabel van de transformator is zuiver koper
2 de transformator klinkt klein
3 de temperatuur van de transformator is laag
8. Een verscheidenheid aan opties om een verscheidenheid aan flenzen te kiezen (diameter van 25 tot 250 mm)
 

model		TMAX-1200-1200-C-I	TMAX-1200-1200-C-II	TMAX-1200-1200-C-III
vermogen		3 kw	3 kw	4 kw
Buisgrootte		60 (buitendiameter) X1800 mm diameter	80 (buitendiameter) X1800 mm diameter	100 (buitendiameter) X1800 mm diameter
Totale afmetingen (LXDXH)		1500X450X600	1500X450X600	1500X510X650
De voedingsspanning		220 v
Schuifmodus		roestvrijstalen rollager
Aantal fasen		Eenfasig
Verwarmingselement		Import Swedish Canthal A1 Resistance Wire Klik in data download
De bedieningsmodus		De Yu-thermometer voor elektrische programmaregeling gebruiken (standaard) 1. 30 Programmacontrole temperatuur intelligente PID-regeling. 2. Het verwarmingscircuit van de elektrische oven kan automatisch worden uitgeschakeld wanneer het door een warme of per ongeluk gebroken oven is beschermd. (Als de temperatuur van het fornuis hoger is dan 1200 graden of als het thermokoppel defect is, wordt het ac-relais OP het hoofdcircuit automatisch losgekoppeld, wordt het hoofdcircuit onderbroken, is het lampje OP het paneel uit, UIT het licht, de beperkte elektrische beschermoven. 3. Met 485 communicatie-interface (standaard en standaard voor het kiezen van software) 4. Het heeft de functie van bescherming tegen stroomuitval, dat wil zeggen dat wanneer de stroom uit is, het programma niet vanaf de begintemperatuur zal opstarten, maar het fornuis zal beginnen te stijgen wanneer de stroom uit is. Het instrument heeft de functie van zelfinstelling van de temperatuur    (om het geïmporteerde instrument te vervangen moeten we nog een vergoeding betalen.)
De temperatuurregelmodus		PID
Kapotte, gelijkmatige bescherming en scherm		Ja
Bescherming tegen oververhitting		Ja
Overstroombeveiliging		Ja
Controle precisie		+ / - 1  ºC
De trigger		Trigger faseverschuiving
Elektrische apparaten		Zhejiang chint
Gelijkrichter met siliciumbesturing		106/16e West Gate, Duitsland
De hoogste temperatuur		Temperatuur zone 1: 1200  ºC temperatuurzone 2:1200  ºC
De nominale temperatuur		Temperatuur zone 1: 1100  ºC temperatuurzone 2:1100  ºC
Verwarmingssnelheid		De 20  ºC / Min of minder (kan worden gewijzigd op basis van de vereiste)
Aanbevolen verwarmingssnelheid		10  ºC / Min of minder
Model thermokoppel		Zones 1: Temperatuurbereik van type K 2: Type K
Lengte verwarming		Zones 1: Temperatuurbereik van 200 mm. 2:200 mm
Elektrische certificering		CE
Temperatuur van het omringende oppervlak		45  ºC of minder
RF-voeding		(plasmagenerator)
Belangrijkste parameters van GX-gastoevoersysteem		massameter Het standaardassortiment Met behulp van de proton flow controller 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (u kunt het bereik en het type gas kiezen) Maximum werkdruk 3 mp De nauwkeurigheid van plus of min 1.5% De drukval < 0.01 mpa < p = "" > Herhaal de nauwkeurigheid plus of min 0.2% F.S
Kanalen:		1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (optioneel )
Verbindingstype		Roestvrijstalen connector met dubbele cassette
Bereik van de werkdruk van het systeem		0.1 ~ 0.5 MPa
Bedrijfstemperatuur		5-45  ºC
Vacuümwatch		0.1 ~ 0.15 MPa tot 0.01 MPa/doos
Statische mengkamer		Diameter 50 x 400 mm
interface		Dia6 1/4"
De voeding		220 v
grootte		600 x 600x600
Geribbelde pijp		KF25X1000mm
De vacuümgraad kan met dit systeem worden bereikt		10-1 de pa
Vacuümkeerklep		KF25
VRD naar vacuümpomp 8
model	VRD tot 8
Gedeeltelijke druk beperken	5 x10-2 Pa
Interface inlaatuitlaat	KF25
Motortoerental	1440 TPM
Extractiesnelheid	2.2 L/S.
Motorvermogen	0.4 KW
Perfeer ACP1 olievrije meertraps rootenpomp (plan 2)
Model	ACP15
Voeding	AC100 ~ 240 V 50 Hz
Vermogen	450 w
Uitlaatinterface	KF25
Gewicht	25 kg
De maximale heliumlekkage is	5· 10-8 Pa m3/ s
Extreme vacuümgraad	0.02 Torr
De extractiesnelheid is	14 m3/ u
model	ZDR - 1
vermogen	25 w.
Meetbereik vacuümgraad	0.1-10 5 Pa
Resistentie-silicium	Wat ZJ tot 52 ton had
Zweden (INFICON) Pirani capaciteits-vacuümmeter (optioneel)
model	PCG554
Ingangsspanning	24V 1 A DC (uitgerust met 220 V transformator)
Interface vacuümmeter	KF16
Digitaal display	Digitaal display (schermgrootte 20x14mm), waarvan de data display-eenheid torr. Is
Productgrootte	46 mm x 28 mm x 126 mm (L x B x H)
Het gewicht van de	5 LBS
Detectie van gas	Er kunnen verschillende gassen worden gedetecteerd, waaronder gemengde gassen, nauwkeurig en herhaalbaar.
Of de anticorrosie	Corrosiebescherming
De responstijd	30 ms of minder
Meetbereik	3.8 x10-5-1125 Torr.
Moleculaire pompeenheid (optioneel)
Ingangsspanning van de unit	380 v / 220 v
Geribbelde pijp	KF40X1000
Vacuümkeerklep	KF40
Grootte van de behuizing	600 x 600x600
Moleculaire pomp
Moleculaire pomp	FJ620
Ingangsspanning	380 v
Inlaatflens van de moleculaire pomp	DN160
Pompsnelheid moleculaire pomp L/S (voor lucht)	600
Limietdruk moleculaire pomp (Pa)	6 x 10-7
Koelsysteem	Watergekoeld
Koelwaterdruk (MPa)	0.1 tot 0.2
Koelwatertemperatuur	< 25  ºC < p = "" >
De omgevingstemperatuur	0 ~ 40  ºC
Voorgestelde startdruk	< 100 pa < p = "" >
Vacuümpomp van de motor RVP - 6
vermogen	0.75 KW
spanning	380 v
snelheid	1450 TPM
Inlaatdiameter	KF25/ KF40
Pompsnelheid (L/S)	6
Ultieme druk	4 x 10-2 per
Duitse Pfeiffer vacuümpomp
spanning	220 v
vermogen	110 w.
Interface voor extractie	KF40
Het gewicht van de	150 kg
Pomptoerental van de voorste pomp	0.9 m 3 / u
Extractiesnelheid (N2)	33 m/s.
Samengestelde vacuümmeter
Model met samengestelde vacuümmeter	ZDF
De voeding	220 v 55 w
Controle precisie	Plus of min 1%
Meetbereik vacuümmeter	10-5-10 5 Pa