Functies
|
- Dubbele kwartsbuis ontwerp: 280mm (11") diameter buitenste buis met 254mm (10") diameter binnenste buis. De metalen folie kan op het oppervlak van de binnenbuis worden gewikkeld voor de groei van CVD-folie.
- Met de hand bediende buistrekker kan de binnenbuis eenvoudig worden verwijderd en is gereed voor de latere filmoverdracht.
- De 36' lange constante verwarmingszone biedt over het buisoppervlak van 7000cm^2 voor CVD-groei van grapeen op metalen substraten met groot oppervlak.
|
Verwarmingszones en temperatuur Controle |
- Drie verwarmingszones: (1230 mm, 48 inch L in totaal)
- Zone 1: 410 mm (16 inch)
- Zone 2: 410 mm (16 inch)
- Zone 3: 410 mm (16 inch)
- Constante verwarmingszone: Max. 36 inch lang met een nauwkeurigheid van +/- 5 °C als drie zones op dezelfde temperatuur worden ingesteld.
- PID-temperatuurregelaar met 30 segmenten programmeerbaar en nauwkeurigheid van +/- 1° C. Ingebouwde overtemp.- en TC-storingsbeveiligingen.
- Hoogwaardige thermokoppels van het type K van Omega.
|
Bedrijfstemperatuur |
- Max. Bedrijfstemperatuur: 1200°C < 1 uur
- Continue bedrijfstemperatuur: 1100 °C.
|
Verwarmingspercentages |
- Max. 10 °C /MIN (RT~800 °C)
- Max. 5 °C /min (800 ~ 1100 °C)
|
Vermogen |
- AC 220 VAC, driefasig, 50/60 Hz
- Max. 24 kW
- Poedersnoer wordt zonder stekker meegeleverd
|
Buizen voor verwerking |
Er worden twee ultrazuivere, gefused kwartsbuizen meegeleverd:
- Buitenbuis: 280 mm buitendiameter x 270 mm binnendiameter x 2070 mm L
- Binnenbuis: 254 mm buitendiameter x 244 mm binnendiameter x 2310 mm L
|
Vacuüm afgedichte flenzen
|
- Een paar SS304 -flenzen dicht dubbele buizen in de behuizing strak af via een set van siliconen o-ringpakkingen met hoge temperaturen (klik op de afbeelding links voor meer informatie.)
- Poort KF25 met naaldklep is rechts gemonteerd flens voor aansluiting vacuümpomp en handmatige drukontlasting
- De rechterflens kan aan de buistrekker worden bevestigd
- 1/4'''-slangcompressiefitting op de linkerflens voor gas voeding
- Mechanische drukmeter op de linkerflens voor de buisdruk bewaking
- De thermokoppels die aan de flenzen zijn bevestigd, hebben een thermische barrière voor gevormd de constante verwarmingszone
- Vacuümcompatibiliteit: 10^-2 torr door de mechanische pomp; 10^-4 torr door de moleculaire turbopomp.
|
Buisuitneemgereedschap
|
De handmatige operatiebuis kan aan de rechterflens worden bevestigd om de 10' dia. Binnenbuis met folieproducten terug te winnen na voltooiing van het proces. De afbeelding links illustreert de bedieningsprocedure. |
Afmetingen fornuis
|
5400L x 770 B x 1500 mm ( inclusief de buistrekker ) |
Nettogewicht |
~600 kg |
Transportgewicht en afmetingen |
1) 1500 lbs, 97"x39"x74" 2) 1800 lbs, 123"x39"x80" |
Garantie |
Twee jaar beperkte garantie voor elektrische onderdelen. (Verbruiksartikelen zoals verwerkingsbuizen, O-ringen en verwarmingselementen vallen niet onder de garantie) |
Naleving |
- CE-gecertificeerd
- Alle elektrische componenten ( >24 V) Zijn UL/MET/CSA -gecertificeerd
- Het fornuis is klaar om tegen extra kosten door de TUV(UL61010) of CSA-certificering te komen.
|
Waarschuwingen
|
- Alle kwartsovens zijn ontworpen voor gebruik onder vacuüm en lage druk < 0.2 bar / 3 psi / 0.02 MPa
- Let op: Op de gascilinder moet een tweetraps drukregelaar worden geïnstalleerd om de druk te beperken tot minder dan 3 PSI voor een veilige werking.
- Definitie van de vacuümlimiet voor alle kwartsbuisovens: * de vacuümdruk mag alleen veilig worden gebruikt tot 1000°C.
- Voor het gebruik van brandbare gassen zoals H2 en CH4 raadpleegt u het technische team van MTI voor veiligheidsmaatregelen. We raden sterk aan dat het fornuis in een afzuigkap moet worden gebruikt met een lekkende H2/CH4-detector geïnstalleerd.
|