Ybotech Pecvd-buisfornuis (plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition System)

• After-sales Service: Online
• Warranty: 1 Year
• Toepassing: Industrie, School, Hospital, Laboratorium
• aangepaste: aangepaste
• certificaat: CE, ISO, RoHS
• Structuur: Desktop
• Model NR.: Pecvd
• Materiaal: Roestvrij staal
• Type: Moffelovens
• max. temperatuur: 1700 ºc
• bedrijfstemperatuur: 1600 ºc
• verwarmingselement: Mosi2
• temperatuurprecisie: ±1 ºc
• termokoppel: s-type nationale standaard platina rhodium thermoco
• temperatuurregelaar: Pid
• verwarmingssnelheid: 1-15ºc/min vrije afstelling
• structuur van het fornuis: geïntegreerde structuur van temperatuurregeling van het fornuis
• kwaliteitscertificaat: iso, ce
• voeding: 220 v, 50 hz
• Transportpakket: Wooden Box
• Specificatie: 1700º C
• Handelsmerk: YBOTECH
• Oorsprong: China
• Gs-Code: 8419899090
• Productiecapaciteit: 10000PCS/Month

Beschrijving

YBOTECH PECVD-buisfornuis (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition System) bestaat uit vier modules: Buisoven, vacuümacquisitie, flowregeling en voeding met radiofrequentie. Deze apparatuur maakt gebruik van een radiofrequentie-uitvoer van 13,56 MHz om het gas te ioniseren dat de samenstellende atomen van de film bevat en een plasma te vormen, waarbij gebruik wordt gemaakt van de sterke chemische activiteit van plasma, waardoor de reactieomstandigheden worden verbeterd; En zorgt ervoor dat de gasvormige stoffen die dunne films bevatten chemisch reageren, om een nieuwe bereidingstechnologie te realiseren voor de groei van dunne filmmaterialen, en uiteindelijk de gewenste dunne film te verkrijgen die op het substraat wordt afgezet, die geschikt is voor SiO2 en sinx-films werden afgezet op 1200°C. Functie:   Het PECVD-buisovensysteem bestaat uit een buisoven, vacuümacquisitie, flowregeling en RF-voeding; De buisoven kan verschillende buisdiameters en de lengte van de constante temperatuurzone kiezen, en de twee uiteinden van de buis zijn uitgerust met roestvrijstalen afdichtflenzen met een hoog vacuüm; Het vacuümacquisitiesysteem kan verschillende vacuümpompen kiezen, afhankelijk van de testvereisten. De vacuümgraad van de mechanische vacuümpomp met roterende schoepen is ≤5pa, en de vacuümgraad van de vacuümeenheid van de moleculaire pomp is 1×10-4pa; Het luchttoevoersysteem kan kiezen voor een handmatig en 3-weg automatisch massaflowsysteem met 3 flotatie; Vacuümmeting is een digitale samengestelde vacuümmachine of een Pirani-vacuümmeter; Kies een voeding van 13,56 MHz voor plasmaontlading en het uitgangsvermogen kan 200 W, 300 W en 500 W kiezen; De buisoven kan kiezen uit één temperatuurzone van 440 mm, of drie temperatuurzones of meerdere temperatuurzones kiezen voor de temperatuurgradiënttest; De ingebouwde RS485 digitale communicatiepoort en USB-adapter van de thermostaat zijn optionele configuraties, die kunnen worden aangesloten op een pc voor bediening op afstand en bewaking van het systeem, en die ook testresultaten kunnen opslaan of exporteren; Het product voldoet aan de CE-standaard van de EU. Vacuüm-atmosferische functie Met een 304 roestvrijstalen afdichtflens om vacuüm of atmosfeer in de ovenbuis te verkrijgen. Hoogwaardige kwartsglazen werkbuis en metalen of korund werkbuis kunnen ook worden geselecteerd om zich aan te passen aan verschillende werkomstandigheden. De hoogwaardige bipolaire vacuümpomp met roterende schoepen kan een vacuümgraad van 5pa verkrijgen, en de digitale vacuümmeter kan de vacuümgraad weergeven. Met de regeleenheid van het luchtcircuit kan de regeleenheid kiezen voor een 1-3-weg MFC-automatisch regelsysteem. Specificatie:

Item	YBGP-40-12	YBGP-60-12	YBGP-80-12	YBGP-100-12
Buisgrootte	Φ40 x 1200 mm	Φ60 x 1200 mm	Φ80 x1200 mm	Φ100 x 1200 mm
Max. Temperatuur	1200 ºC
Werktemperatuur	1100 ºC
Verwarmingszone	440 mm
Spanning/voeding	220 V/1,8 KW	220 V/2,6 KW	220 V/2,6 KW	220 V/2,6 KW
Verwarmingselement	HRE-weerstandsdraad van een aluminiumlegering van ijzer en chroom
Materiaal van de kamer	Polykristallijn anorganisch alumina-keramisch vezelmateriaal, bereid met nat vacuüm filtratie
Materiaal buis	Kwartsbuis
Temperatuurnauwkeurigheid	±1 ºC
Verwarmingselement	Thermokoppel type N
Temperatuurregelaar	Intelligente microcomputer PID-temperatuurregelaar, SCR/SSR-regeling, PID-parameter zelfinstellende functie; programmeerbare 4 groepen van 8 programmasegmenten, programmaverwarming, programmawarmtebehoud, programmakoeling
Verwarmingssnelheid	1-25 ºC/min vrij ingesteld
Structuur van het fornuis	Geïntegreerde structuur voor temperatuurregeling van het fornuis, openen en sluiten van het fornuis; dubbellaagse behuizing, luchtcirculatie en warmte-isolatie
Afdichtingsfunctie	Beide uiteinden van de ovenbuis zijn uitgerust met roestvrijstalen metalen flenzen, in combinatie met PTFE-pakkingen voor hoge temperaturen, die onder vacuüm kunnen werken met een vacuümgraad van ≤5pa (roterende schoepenvacuümpomp)
RF-vermogen	Frequentie: 13.56 MHz±0.005%, vermogen: 5W-500W, stabiliteit van vermogen: ±0.5%
Gasregelaar	Optionele handmatige 3-weg flotatie-flowmeter, bereik 60 - 600 ml/min; 3-weg automatische massameter, bereik 1-500 sccm
Functie van de atmopshere	Er zijn luchtinlaten en -uitlaten aan beide uiteinden van de flens. De drukmeter is op de metalen flens gemonteerd. De precisienaaldklep kan de luchtinlaat en -afgifte aanpassen en kan worden gevoed met beschermende gassen zoals stikstof, argon en waterstof.
Gasinterface	De KF25 vacuümkeerklep en de KF25 roestvrijstalen balgen verbinden de vacuümpomp met elkaar; 6 mm roestvrijstalen kabelverbinding met beschermende atmosfeer en PTFE-leiding
Bescherming van apparatuur	Modulaire regeling, geluid en licht alarmsignaal worden verzonden voor oververhitting en een verbroken koppeling tijdens het werkproces, en de beveiligingsactie wordt automatisch voltooid
Veiligheidsbescherming	De apparatuur is uitgerust met een stroomonderbreker, die automatisch openspringt in geval van kortsluiting, wat de veiligheid van apparatuur en operators kan beschermen
Fornuis-shell	Hoogwaardige koudgewalste stalen plaat CNC-machine blanking-verwerking, na lassen, slijpen, polijsten, fosfateren, beitsen, oppervlak elektrostatisch spuitend plastic poeder
Kwaliteitscertificaat	ISO 9001  CE

Accessoires:

1. Ovenhuis	1 set
2. Temperatuurregelaar	1
3. Netsnoer 3 meter	1
4. Thermokoppel	1
5. Gebruiksaanwijzing	1
6. Kroes	1
7. Handschoenen voor hoge temperaturen	1 paar