After-sales Service: | 12 Months |
---|---|
Warranty: | 12 Months |
Application: | Industry, School, Lab |
Customized: | Customized |
Certification: | CE |
Structure: | Desktop |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
MPCVD-apparatuur voor het neerzetten van diamanten in één kristal voor laboratoria
Toepassing
Bereiding van hoogwaardige enkelvoudige kristaldiamant, Diamond Grown;
Bereiding van hoogwaardige polykristallijne vrijstaande diamantfilms;
Bereiding van polykristallijne diamantfilms van hoge kwaliteit;
Voorbereiding van diverse carbon nanofilms zoals grapeen, carbon nanotubes, fullerenes en diamantfilms.
Eigenschappen:
a. Roestvrijstalen holte, type 10 kw, magnetron, plasma-apparatuur, hoge vermogensdichtheid;
b. De watergekoelde substraatfase en de watergekoelde metalen kamer zorgen ervoor dat het systeem lange tijd goed kan werken;
c. De temperatuur van het substraat wordt bereikt door het zelf verwarmen van microgolfplasma;
d. Het vacuümmeetinstrument is voorzien van een vacuümmeter met volledig bereik, die het achtergrondvacuüm en de druk van het werkgas nauwkeurig kan meten;
e. De vacuümpomp en het ventiel gebruiken een turbo-moleculaire pomp (het uiteindelijke vacuüm is 1×10-5Pa) en de mechanische vacuümpomp met roterende schoepen (het uiteindelijke vacuüm is 1 Pa), en het systeem kan automatisch de depositiedruk regelen;
f.. Koelwatercirculatiesysteem om een veilige en stabiele werking van het apparaat op lange termijn te garanderen onder hoge energie;
g. 15-inch touchscreen, automatische PLC-besturing, kan de temperatuur of druk instellen op constant, kan tot 20 sets procesbestanden opslaan en hergebruiken;
H. volledig automatische procesbesturingsmodule, die op een betrouwbare en betrouwbare manier diamantfilms en -kristallen van hoge kwaliteit kan bereiden.
Voordelen:
1) Hoge productie-efficiëntie, grote productie, hoge kwaliteit, de grootte 7*7,8*8,10*10,12*12,15*15 kan tegelijkertijd geïnstalleerd worden. Het kan ongeveer 250 ~480 karaten ruwe diamanten per maand produceren.
2) de apparatuur heeft de industriële productie bereikt. De molybdeen fase is 90mm groot, met een snelle groeisnelheid, een hoge opbrengst en een goede stabiliteit. De precisie en kwaliteit van de bewerkte componenten zijn extreem hoog, en de verwerkingskwaliteit van onze apparatuur is vrij voortreffelijk.
3) de apparatuur is momenteel de eerste belangrijkste apparatuur in binnen- en buitenland die de geïndustrialiseerde productie van enkelvoudige kristaldiamant kan realiseren. Uitgerust met geavanceerde productietechnologie om ervoor te zorgen dat klanten gekwalificeerde producten produceren.de helderheid kan VS, vvvs bereiken. De kleur kan het niveau D,E,F,G bereiken, afhankelijk van de wensen van de klant.
EVacuum | Vacuümmeting | Piëzoresistieve meter 0.1 kpa capaciteitsmeter 0-1000Pa |
Bedrijfsdrukbereik | 4-30 kPa | |
Vacuümleksnelheid | <1*10-9 Pa·m 3 / s | |
Drukregeling | Automatische besturing | |
Caviteitsmateriaal | Excitatiekamer uit aluminiumlegering, kwartsvacuümkamer | |
Observatievenster | Temperatuurmeetgat met een diameter van 10 mm en observatievenster van poreus gat | |
Koelmodus | Koelmodus | Waterkoeling + luchtkoeling van de kamer |
Grootte van voorbeeldtabel | Molybdeen-trap Φ 85 mm, uniform oppervlak Φ 50 mm | |
Temperatuurmeting | Infraroodthermometer, bereik 300-1400 ºC | |
Koelwaterstroming | >50 l/min. | |
Koelwatertemperatuur | 20 °C. | |
Interface voor koelwater | 1-inch buitendraad-interface | |
Besturingssysteem | Besturingssysteem | PLC-besturing, 15-inch touchscreen-bediening |
Menu verwerken | 10 procesmenu's, 25 regels voor elk | |
Magnetron en voeding | Radarfrequentie | 2.45±0,1 GHz |
Uitgangsvermogen | 1.5 kW (uitgerust met een interne microgolfvoeding van 10 kw) | |
Ingangsstroom | 380 AC/50 Hz, driefasige vijfdraads (3 * 10+2 * 6 netlijn),>15 kW | |
Leksnelheid magnetron | Leksnelheid van de magnetron 5 cm van de apparatuur ≤ 5 mW/cm2 | |
Procesgas | Debietmeter en interface | H2 (1000SCCM) CH4 (50SCCM) N2 (10SCCM) O2 (10SCCM) 1/4 „VCR Vrouwelijke snelkoppeling voor PU-buis van 8 mm met perslucht |
De doorstroommeter kan het type gas veranderen dat wordt gebruikt door software | ||
Druk luchttoevoer | 0.3 MPa | |
Persluchtdruk | 0.5 MPa | |
Vacuümpomp | Vacuümpomp met roterende schoepen | Oliepomp |
Pompsnelheid | 4 L/S | |
Voeding | AC 380 V(±10%) | |
Interface | Luchtafzuiging KF25, luchtuitlaat KF25 | |
Gebruiksomgeving | Omgevingstemperatuur en vochtigheid | De kamertemperatuur is lager dan 26 ºC en de de vochtigheid is lager dan 40% |
Totale afmetingen van de apparatuur | Grootte | 1250 (L) × 800 (B) × 2100 (H) MM |
Voorwaarden voor acceptatie van apparatuur: | 1. Installatie van apparatuur: Nadat de installatie van de apparatuur is voltooid, zullen partij A en partij B de inbedrijfstelling ter plaatse uitvoeren, en zullen de technici van partij B de exploitatie van de apparatuur, de veiligheids- en onderhoudstraining voor de persoon die verantwoordelijk is voor partij A. leiden | |
2. Systeemtest: Het systeem kan normaal worden gestart en bediend, en de losgekoppelde vuurbal is stabiel zonder te springen. | ||
3. Microgolflekkage: De microgolflekkage is minder dan 5 mW/cm2 (het uitgangsvermogen van de microgolfbron is meer dan 80%, 10 cm van de apparatuur) |
Item | model | Hoeveelheid (set/stuk) |
fabrikant of herkomst | opmerking |
microgolfbron |
10 kW / 2450 MHz |
1 |
binnenlands |
|
transmissiesysteem voor microgolven | Mixer MPT-2012 golfgeleider |
1 | binnenlands | |
modus-omvormer | MPM-2050 | 1 | binnenlands | |
microgolfreactieholte | Stroomafwaarts MPP-2050 |
1 | binnenlands | |
monstertafel en steunsysteem | N / A |
1 |
binnenlands |
Waterkoeling, één laag tillen |
gasstroomsysteem |
5 gasmassa-flowregelaar: H2, CH4, O2, N2, Ar |
5 |
Japan |
|
gasvacuümklep en filter | 1 set | Japan | ||
Componenten van de aansluiting van het gassysteem | 1 set | Japan | ||
vacuümsysteem | vacuümklep en filter | 1 | Japan | |
vacuümholte, vacuümbuis | 1 | binnenlands | ||
mechanische pomp en vacuümklep | 1 | binnenlands | ||
moleculaire pomp en ondersteunende vacuümklep | binnenlands |
|||
meten |
weerstandsvacuümmeter | 1 | binnenlands | |
film vacuümmeter | 1 | binnenlands | ||
infraroodthermometer | 1 | binnenlands | ||
elektrisch regelsysteem | PLC | 1 | Duitsland | |
touchscreen | 1 | binnenlands | ||
waterkoelsysteem | koelwatertemperatuur, flowbewaking |
3 |
Japan |
|
Bedieningskast / kast | 1 | binnenlands | ||
spanningsstabiliserende voeding | Vereist gebruikersconfiguratie | |||
circulatiekoeler | Vereist gebruikersconfiguratie | |||
gascilinder, roestvrijstalen gasleiding, waterleiding, stroomverdeling, uitlaatpijp |
Vereist installatie door gebruiker |
Foto's apparatuur:
V. bent u een fabrikant of een handelsmaatschappij?
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties