After-sales service: | on line service |
---|---|
Garantie: | een jaar |
Type: | magnetron-sputtering |
Bekleding: | Vacuum Coating |
Substraat: | Staal |
Certificaat: | CE |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
4 inch Target magnetron Sputtering Coater Direct Nikkel Sputtering aan Vinyl Mastering
MAGNETRON-SPUTTERING: OVERZICHT
Sputtering is een op plasma gebaseerd depositieproces waarbij energetische ionen naar een doel worden Versneld. De ionen slaan het doel en atomen worden uitgeworpen (of gesponterd) van het oppervlak. Deze atomen reizen naar het substraat en nemen in de groeiende film op.
Eén doel DC magnetron sputtering coater apparatuur is een kosteneffectieve magnetron sputtering coating apparatuur onafhankelijk onderzocht en ontwikkeld door ons bedrijf. Het heeft de kenmerken van standaardisatie, modularisatie en maatwerk. Magnetron-doelen kunnen worden geselecteerd van 1 inch, 2 inch en 3 inch, en klanten kunnen kiezen op basis van de grootte van het geplateerde substraat; de voeding is een 1500 W krachtige gelijkstroomvoeding, die kan worden gebruikt voor een krachtige metaalsputtering. Afhankelijk van de experimentele vereisten kunnen DC- of RF-voedingen van andere specificaties ook worden geselecteerd om coatingbewerkingen van verschillende materialen te realiseren.
Specificaties van de magnetron -sputter :
Eén doel-DC-magnetron-sputter |
||
Monster Tabel |
Totale afmetingen |
φ 360 mm |
Instelbaar toerental |
1-20 tpm instelbaar |
|
Doel |
Doelvlak |
Doel rond vlak |
Sputterend vacuüm |
0,1 Pa tot 3 Pa |
|
Doeldiameter |
100 tot 101,6 mm |
|
Doeldikte |
3 mm |
|
Isolatiespanning |
>2000 V. |
|
Kabelspecificaties |
SL-16 |
Doeltemperatuur van de kop |
65°C. |
|
Vacuüm Kamer |
Behandeling van binnenwanden |
Elektrolytisch polijsten |
Caviteitsgrootte |
Φ500mm x 500 mm |
|
Caviteitsmateriaal |
304 roestvrij staal |
|
Weergavevenster |
Kwartsvenster, φ100mm diameter |
|
Openingsmethode |
Zijopening |
|
Gas Controle |
Doorstroomregeling |
Massameter, meetbereik 0 ~ 100SCCM |
Type gas |
Argon, stikstof, zuurstof en andere gassen zijn beschikbaar |
|
Typen regelkleppen |
Solenoïderegelaar |
|
Statische status van de regelklep |
Normaal sluiten |
|
Lineariteit meten |
Plus of min 1.5% F.S. |
|
Nauwkeurigheid van de herhaling van metingen |
Plus of min 0.2% F.S. |
|
Meet de responstijd |
≤8 seconden (T95) |
|
Werkdruk |
0.3 MPa |
|
Drukbestendige behuizing |
3 MPa |
|
Omgevingstemperatuur in bedrijf |
(5 ~ 45) ºC |
|
Materiaal van de carrosserie |
Roestvrij staal 316L |
|
Leksnelheid van lichaam |
1×10-8Pa.m3/s |
|
Pijpfittingen |
1/4 „gewrichten met mantel |
|
Ingangs-/uitgangssignalen |
0 tot 5 V. |
|
Voeding |
±15 V (±5%) (+15 V 50 mA, -15 V 200 mA) |
|
Totale afmetingen mm |
130 x 102 x 28 x 15 x 15 x 15 mm (b x h x h) |
|
Communicatie-interface |
RS485 MODBUS-protocol |
|
Gelijkstroomvoeding |
Voeding |
1500 W. |
Film Dikte Meting |
Stroomvereisten |
DC: 5 V (±10%) maximale stroom 400 mA |
Resolutie |
±0,03Hz (5-6 MHz), 0,0136A/meting (aluminium) |
|
Meetnauwkeurigheid |
±0.5% dikte + 1 telling |
|
Meetcyclus |
100 ms ~ 1 S/tijd (kan worden ingesteld) |
|
Meetbereik |
500,000 A (aluminium) |
|
Kristalfrequentie |
6 MHz |
|
Communicatie-interface |
RS-232/485 seriële interface |
|
Displaybits |
8-bits LED-display |
|
Moleculair Pomp |
Moleculaire pompsnelheid |
1200 L/S. |
Nominaal toerental |
24.000 tpm |
|
Trillingswaarde |
<= 0.1 um |
|
Opstarttijd |
5 min. |
|
Uitvaltijd |
7 min. |
|
Koelmethode |
Waterkoeling + luchtkoeling |
|
Koelwatertemperatuur |
<=37ºC |
|
Koelwaterdebiet |
1 l/min. |
|
Montagerichting |
Verticaal ±5. |
|
Interface voor luchtafzuiging |
150 CF |
|
Uitlaatpoort |
KF40 |
|
Voor Pomp |
Pompsnelheid |
VRD-16 |
Ultieme zuigkracht |
1 Pa |
|
Voeding |
AC: 220 V/50 Hz |
|
Motorvermogen |
400 W. |
|
Lawaai |
<=56db |
|
Interface voor luchtafzuiging |
KF40 |
|
Uitlaatpoort |
KF25 |
|
Klep |
Schuifklep |
Tussen het vacuüm is een schuifafsluiter geplaatst kamer en de moleculaire pomp |
Afsluitventiel |
Er is een afsluitklep aangebracht tussen de moleculaire pomp en de voorste trap |
|
Afvoerklep aan de zijkant |
Er is een zijaftapkraan aangebracht tussen de vacuümkamer en de voorste trap |
|
Ontluchtingsventiel |
Er is een elektromagnetische bleeder-klep geïnstalleerd op de vacuümkamer |
|
Ultieme stofzuiger van de hele machine |
<=5X10-4Pa |
WE hebben magnetron sputtering coater met 1 doel, 2 doelen, 3 doelen, etc, doel kan worden ontworpen aan de boven- of onderkant van de kamer.
2. DC-vermogen van 0 tot 1000 W of RF-vermogen is beschikbaar. Bias-functie is optioneel
3. Doelgrootte: 1 inch, 2 inch, 3 inch, 4 inch, enz.
Sterke magnetische target en pernanent magenetic target zijn optioneel
5. Magnetron-sputtering -coater met verdamping, e-beam is beschikbaar
Service op maat is altijd beschikbaar!
WE kunnen de magnetron sputter per land, per zee, per lucht, per expressschip ook pakket en verzending regelen naar uw wensen.
V. bent u fabrikant of handelsbedrijf?
A. we zijn professionele fabrikant van laboratoriuminstrumenten, we hebben een professioneel R&D-team en een workshop, die de quulaity en after-sale service kunnen beloven.
V. Hoe is uw garantie?
A. onze garantie is 12 maanden en biedt levenslange onderhoudsbeurten. We bieden 24 uur on line service.
V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?
A. 5-10 dagen in de winkel. Producten op maat---- het duurt meestal 30-60 dagen, afhankelijk van uw behoeften.
V. voeding en stekker?
A. we kunnen producten leveren die voldoen aan uw lokale voltage- en stopnormen.
V. Hoe te betalen?
A. T T, L / C, D / P, ENZ.
V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?
A. Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking of als uw eisen.
IS MAGNETRON HET JUISTE PROCES VOOR UW WERK?
Neem contact met ons op en we kunnen samenwerken aan uw project.
Hoe kunnen we u helpen uw doelen te bereiken? Welke technische obstakels kan ons technische team u helpen te overwinnen? Druk op de knop 'Get in Touch' om contact met ons op te nemen. We horen graag over uw onderzoek en helpen u op welke manier dan ook.
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties