Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Gecontroleerde Leverancier 500 W 1000 W RF-voeding PECVD-systeem voor siicide-wana afzetten
Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) is een type chemische dampafzetting dat wordt gekenmerkt door het gebruik van plasma-activering bij lage temperaturen om de reactie op chemische dampafzetting te verbeteren. De voordelen van deze methode zijn dat de depositietemperatuur laag is, de depositiesnelheid snel is, en de geproduceerde folie uitstekende elektrische eigenschappen, goede hechting van het substraat en een uitstekende step-dekking heeft.
Specificaties van het PECVD-systeem
| Modelnummer | TN-PECVD-500T-SS | |
| Caviteitsgrootte | Phi 500 - | |
| Lengte warme zone | 200 | |
| RF-voeding | 500 W- | |
| Temperatuur | 1000 ºC | |
| Pomp voor forestage | Moleculaire pompset | |
| Type display | T | |
| Warme zone | IK | |
| Waterkoeler | CW5200 | |
| Caviteitsmateriaal | SS | |
| Sample -verwarming Verwarmingstemperatuur |
Boven RT-1000ºC: Nauwkeurigheid van de temperatuurregeling: ±1.C, met behulp van temperatuurmeter voor temperatuurregeling; Instelbaar toerental: 1-20 tpm instelbaar |
|
| Grootte spuitkop | Φ90mm, de afstand tussen de elektroden tussen de spuitkop en het monster 40-100mm online continu instelbaar (kan worden aangepast aan het proces), en met een liniaal-indexdisplay | |
| Voorbeeldtabel | diameter van 200 mm | |
| Werkvacuüm voor depositie | 0.133-133 Pa (kan worden aangepast volgens proces) | |
| Bovenste flens | Het kan met de motor worden opgetild, het substraat is makkelijk te veranderen en er is een visuele poort | |
| Substraattabel | Lineaire en azimut-beweging van de substraattafel, verwarming van de ondergrond en temperatuurregeling, bediening van de montastafel en het touchscreen, lineaire beweging van de substraat wordt handmatig geregeld en rotatie van de substraat wordt geregeld door DC-motoren | |
| Vacuümkamer | Type voorportieropening, φ500mm X 500 mm roestvrij staal | |
| Observatievenster | φ100mm met keerplaat | |
| Massameter | Halfweg-massaflowmeter | |
| Aantal paden van gas | Zes paden | |
| Drukbereik | 0.15 MPa tot 0.15 MPa | |
| Bereik | 0 tot 100 SCCM (zuurstof) 0 tot 100 SCCM (CF4) 0 tot 200 SCCM (SF6) 0 tot 200 SCCM (argon) 0 tot 500 SCCM (andere gassen lucht) 0-500 SCCM (andere gassen stikstof) |
|
| Bereik van de doorstroomregeling | Plus of min 1.5% | |
| Materiaal van de gaspad | 304 roestvrij staal | |
| Pijpkoppeling | 6,35 mm busverbinding | |
| Vacuümsysteem | Voorste pomp: Olievrije vacuümpomp 4,7 l/s. Moleculaire pomp: 1200 l/s. |
|
| Meetbereik | 1 x 10-5 tot 1 x 105 Pa | |
| Meetnauwkeurigheid | 1 x 10-5 ~ 1 x 10-4Pa±40% uitlezing 1 x 10-4 ~ 1 x 105Pa voor een meting van ±20% |
|
WE hebben een CVD/PECVD-machine met gasvoorzieningssysteem + vacuümsysteem + buisoven + plasmagenerator.
2. Buisoven (temperatuur): 1200C, 1400C, 1600C, aangepaste temperatuur is beschikbaar.
3. Buisoven (verwarmingszone): Één zone, twee zones, drie zones, aangepast aantal verwarmingszones is beschikbaar.
4. Tube Materiaal: kwarts, korund, legering en ander materiaal van buis is aanpasbaar.
5. Buis met verschillende diameter en lengte kan worden aangepast.
6. Plasmagenerator: 100 W, 150 W, 300 W, 500 W, 1000 W, en andere kracht van de plasmagenerator is aanpasbaar.
Flowmeter: 1 tot 3 of meerkanaals flowmeter is optioneel op basis van uw proces.
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. is een uitgebreid bedrijf dat ontwerp, onderzoek en ontwikkeling, productie en verkoop integreert.
De belangrijkste producten van ons bedrijf zijn: Spin coater, thermische verdampingscoater , magnetron sputter coater, plasma sputter coater, E-beam verdampingscoater, PLD-lasercoatingmachine, plasmareiniger, CVD-systeem, PECVD -systeem, diamantdraadsnijmachine, smeltoven/fornuis, vlamboogoven, etc.
Onze producten worden op grote schaal gebruikt op het gebied van materiaalwetenschappelijk onderzoek. We hebben een uitgebreide samenwerking met binnenlandse universiteiten, laboratoria en nieuwe materiaalbedrijven. Het is met succes geëxporteerd naar meer dan 20 landen en regio's, waaronder de Verenigde Staten, het Verenigd Koninkrijk, Duitsland, Rusland, Zwitserland, Canada, Brazilië, enz. en hebben langdurige samenwerkingsrelaties met lokale dealers opgezet.
Als u materiaalonderzoek verricht, neem dan contact met ons op en wij zullen u diensten op maat bieden om uw onderzoekexperimenten soepeler te maken!
We kunnen de CVD, PECVD machine over zee, door de lucht, over land en per Express verzenden, ook kunnen we de verzending regelen op basis van uw wensen.
V. bent u fabrikant of handelsbedrijf?
A. we zijn professionele fabrikant van laboratoriuminstrumenten, we hebben een professioneel R&D-team en een workshop, die de quulaity en after-sale service kunnen beloven.
V. Hoe is uw garantie?
A. onze garantie is 12 maanden en biedt levenslange onderhoudsbeurten. We bieden 24 uur on line service.
V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?
A. 5-10 dagen in de winkel. Producten op maat---- het duurt meestal 30-60 dagen, afhankelijk van uw behoeften.
V. voeding en stekker?
A. we kunnen producten leveren die voldoen aan uw lokale voltage- en stopnormen.
V. Hoe te betalen?
A. T T, L / C, D / P, ENZ.
V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?
A. Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking of als uw eisen.
ZULLEN WE UW PROJECT BESPREKEN?
Neem contact met ons op en we kunnen samenwerken om u de antwoorden en oplossingen te geven die u nodig hebt.
Hoe kunnen we u helpen uw doelen te bereiken? Welke technische obstakels kan ons technische team u helpen te overwinnen? Druk op de knop 'Get in Touch' om contact met ons op te nemen. We horen graag over uw onderzoek en helpen u op welke manier dan ook.
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Gecontroleerde Leverancier 
