Dual Target-magnetron-sputter en thermische verdampingscomposiet-coater met CD en RF-voeding

• After-sales service: 12 maanden
• Garantie: 12 maanden
• Type: Coating Productielijn
• Bekleding: Vacuum Coating
• Substraat: Staal
• Certificaat: CE
• Model NR.: TN-MS500S-2TA1S
• Conditie: Nieuw
• koelmodus: waterkoeling
• verwarmingstemperatuur: max. 500 ºc
• draaisnelheid: 1-20 tpm instelbaar
• substraatgrootte: diameter 185 mm
• vacuümkamer: roestvrij staal
• Magnetron Sputtering Target Head: 2 Magnetron Sputtering Heads
• grootte van de monsterfase: Maximum 4" Substrate Can Be Placed
• geroteerde snelheid: 1-20 Rpm (Adjustable)
• de hoogste verwarmingstemperatuur: 500ºc
• nauwkeurigheid van de temperatuurregeling: +/- 1.0 °c
• gasstroomregelaar: 2 Mass Flow Meters Installed Inside The Instrument
• vacuümpomp: a Set of Molecular Pump System, Using One-Button O
• koelsysteem: 16 l/min.
• Transportpakket: Fumigated Wooden Box
• Specificatie: 290mmx365mmx260mm
• Handelsmerk: TN
• Oorsprong: China
• Gs-Code: 8486209000
• Productiecapaciteit: 200/Month

Beschrijving

Dubbele magnetron-sputter en composiet-coater voor thermische verdamping met CD en RF-voeding

Productbeschrijving

De magnetronsputter & thermische verdamping twee-in-één coatingmachine kan worden gebruikt voor het coaten van elektronische producten, glas, keramische monsters, metaal en andere monsters, vooral geschikt voor monstervoorbereiding van laboratorium SEM (scanning electronen microscoop). De apparatuur bestaat voornamelijk uit roestvrijstalen vacuümkamer, magnetron sputtering target, verdampingsbron, roterende verwarmingstafel, vacuümpomp, vacuümmeter, luchtinlaatsysteem en regelsysteem.

Eigenschappen:

1. Bediening via het touchscreen, detectie van de temperatuurmeter. Digitale parameter-interface en automatische bedieningsmodus bieden gebruikers een uitstekend onderzoeks- en ontwikkelingsplatform;
2. De vacuümkamer is gemaakt van 304 roestvrij staal met observatievenster en keerplaat. Prachtige vorm, fijne afwerking, uitstekende vacuümprestaties. De hoofdafdichtflens is een hoge vacuümafdichtflens uit de CF-serie. Elke interface van de vacuümkamer is afgedicht met een rubberen afdichtring, die uitstekende vacuümprestaties levert en de kwaliteit van de coating effectief kan garanderen;
3. Het doel bevindt zich aan de onderkant van de holte en het doel is omhoog. De monstertafel heeft de functie van verwarmen en draaien, waardoor het coatingeffect uniformer kan worden;
4. Het vacuümacquisitiesysteem maakt gebruik van een tweetraps vacuümpompgroep. De steunpomp  is een mechanische pomp met een hoge pompsnelheid, die de tijd van atmosferische druk naar een laag vacuüm effectief kan verkorten. De hoofdpomp is een turbine-moleculaire pomp, die een hoge pompsnelheid en een hogere vacuümacquisitiesnelheid heeft. Het totale vacuümacquisitiesysteem is schoon en snel.

Productparameters

Model	TN-MS500S-2TA1
Voorbeeldtabel	Grootte	Diameter 150 mm	Verwarming	≤500 ºC
	Rotatiesnelheid	1-20 r/min.	Temperatuurregeling	±1 ºC
Magnetron-sputterkop	Hoeveelheid	2 inch ×2	Koelmodus	Watergekoeld
Thermische verdamping	verdamperbron	Tungsten-draadmand	Max. Temp	1500 ºC
	Thermokoppel	Type s.
Vacuümkamer	Grootte	300 mmdia.× 300 mmH	Horlogevenster	Diameter van 100 mm
	Materiaal	304 SUS	Open-modus	Openingsdeur voor
Vacuümsysteem	Mechanische pomp	Schoepenpomp	Interface voor extractie	KF16
	Pompen	1,1 l/s.
	Moleculaire pomp	Moleculaire pomp van de turbo	Interface voor extractie	CF150
	Pompen	600 l/s.	Uitlaatinterface	KF40
	Vacuümmeter	Weerstandsmeter + ionisatiemeter
	Ultieme vacuümgraad	1,3x10-4Pa	Voeding	AC;220 V 50 Hz
Voeding van de sputter	Gelijkstroomvoeding	1 set	Uitgangsvermogen	≤1000 W.
	Uitgangsspanning	≤600 W.	Responstijd	<5 ms
	RF-voeding	1 set	Uitgangsvermogen	≤1000 W.
	Stabiliteit van vermogen	≤5 W.
	RF-frequentie	13,56 MHz	RF-stabiliteit	±0.005%
Laagdiktemeter	Resolutie	±0,03Hz	Nauwkeurigheid	±0.5%
	Bovengrens bereik	50000	Snelheid	100 tot 1000 ms
Watergekoeld systeem	Tankinhoud	9 L	Stroom	10 l/min.
Gassysteem	Type doorstroommeter	MFC (massaflowmeter)	Bereik	200 sccm
	Type gas	AR
Overig	Ingangsvoeding	AC220 V, 50 Hz	Grootte	1400 x 750 x 1300 mm
	Totaal vermogen	4 kw (host+vacuümpomp)	Gewicht	295 kg

Er is een nieuwe monsterfase beschikbaar

Monster	Grootte	Voor dia.150mm monster max.	Hoogte	70 mm instelbaar
	Rotatiesnelheid	1 tot 20 tpm	Verwarming	0~500ºC

Gedetailleerde foto's

 

 

Bedrijfsprofiel

 

 

V. bent u een fabrikant of een handelsmaatschappij?

A. wij zijn professionele fabrikanten van laboratoriuminstrumenten, met een eigen ontwerpteam en fabriek met een volwassen technische ervaring, en kunnen de kwaliteit van producten en de optimale prijs garanderen.

V. Hoe is het aftersales-servicesysteem van uw bedrijf?

A.  de garantieperiode van het product is 12 maanden, we kunnen levenslange onderhoudswerkzaamheden uitvoeren. We hebben professionele pre-sales- en aftersales-afdelingen die binnen 24 uur op u kunnen reageren om eventuele technische problemen op te lossen.

V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?

A.1. Als de goederen op voorraad zijn, is het 5-10 dagen. We kunnen onze klanten op maat gemaakte diensten aanbieden. Het duurt gewoonlijk 30-60 dagen, afhankelijk van de specificaties van het aangepaste instrument.

V. de stroomvoorziening en stekker in ons land zijn verschillend. Hoe lost u het op?

A. we kunnen een transformator en stekker leveren volgens uw lokale vereisten, afhankelijk van de stekker van verschillende landen.

V. Hoe te betalen?

A.T / T, L / C, D / P, etc., wordt het aanbevolen om Made te gebruiken in China Trade Guarantee.

V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?

A.1. Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking 2. Express, lucht, zee scheepvaart volgens de eisen van de klant, vinden de meest geschikte manier.

Neem voor meer vragen contact met ons op.