1200c Pecvd-machine met massaflowmeter voor Silicon-navefoder Filmdepositie

• After-sales Service: on-Line Service
• Warranty: One Year
• Toepassing: Industrie, School, Laboratorium
• aangepaste: aangepaste
• certificaat: CE
• Structuur: draagbaar
• Model NR.: TN-PECVD50-1200-Q
• Materiaal: Roestvrij staal
• Type: Tubular Furnace
• productnaam: Pecvd Machine
• kewords: vraag
• materiaal van de buis: kwarts met hoge zuiverheid
• temperatuur: 1200 °c.
• verwarmingszone: 200mm*1
• grootte van de ovenbuis: 50*450 mm
• temperatuurnauwkeurigheid: 1 c.
• Transportpakket: Fumigated Wooden Box
• Specificatie: 1200*900*1500mm
• Handelsmerk: TN
• Oorsprong: China
• Gs-Code: 8401200000
• Productiecapaciteit: 20 Sets Per Month

Beschrijving

 1200C Pecvd-machine met massaflowmeter voor Silicon-wana filmdepositie
 

Productbeschrijving

 

1. Dit CVD-systeem is speciaal ontworpen voor de productie van grafieen, waarbij gebruik wordt gemaakt van een mini -buisoven van 1200 ºC, uitgerust met een hoge-
   nauwkeurige massaflowmeter en een dunne laagspanningsmeter.

2. Vergeleken met de conventionele Pirani-weerstandsmeter is de aflezing van de dunne-filmmeter nauwkeurig en wordt deze niet beïnvloed door de
   type gas, dat zeer geschikt is voor het vacuümcoatingproces.

3. De CVD-buisoven is uitgerust met een brandbaar gasdetectieapparaat, dat is verbonden met een elektromagnetische klep aan de lucht
   uitlaat. Zodra er een lekkage is, kan de solenoïdeklep worden gesloten om de veiligheid te garanderen.

De CVD-buisoven heeft een voetafdruk en is zeer geschikt voor laboratoriumvoorbereiding van CVD.

Productparameters

Specificaties van PECVD

Fornuis met vacuümslang	Model	TN-PECVD50-1200-Q
	Totaal vermogen	3 kw
	Materiaal van de buis	Kwarts met hoge zuiverheid
	Buisdiameter	50 mm
	Lengte van de buis	1200 mm
	Lengte van de ovenkamer	440 mm
	Lengte verwarmingszone	200 mm+200 mm
	Bedrijfstemperatuur	0~1150ºC
	Thermokoppel	Type K.
	Nauwkeurigheid van de temperatuurregeling	±1 ºC
	Temperatuurregelmodus	30-segments programmatemperatuurregeling
	Weergavemodus	LED (digitale buisdisplay met markering)
	Sealmethode	304 roestvrijstalen vacuümflens
	Flensverbinding	1/4"-snij-mofverbinding (Ø8 pagode-verbinding)
	Draaisnelheid	0-13 tpm
	Vacuüm	4.4×10E-3Pa
	Voeding	AC: 220 V 50 Hz
Gassysteem	Model	TN-3F
	Gaskanaal	3-kanaals
	Meeteenheid	Massaflowmeter
	Meetbereik	Een  kanaal:  0~200sccm   H2  gas
		B -kanaal:  0~200sccm  N2 -gas
		C -kanaal:  0~500sccm   Ar -gas
	meetnauwkeurigheid	±1.5%
	Weerstand leidingdruk	3 MPa
	Verschil in werkdruk	0.1-0,5 MPa
	Verbindingsleiding	304 roestvrij staal
	Gaskanaal	304 roestvrijstalen naaldklep
	Interfacespecificatie	1/4" snijhuls voor gasinlaat en -uitlaat
Vacuümsysteem	Mechanische pomp	Vacuümpomp met roterende schoepen
	Pompsnelheid	1,1 L/S
	Uitlaatinterface	KF16
	Vacuümmeting	Pirani-meter
	Ultieme zuigkracht	1×10E-1Pa
	Voeding	AC: 220 V 50 Hz
	Pompinterface	KF40
RF-voeding	Frequentie	13,56 MHz
	Uitvoer	0-500 W.
	Max. Gereflecteerd vermogen	100 W.
	Verbinding	50 ohm,N-type,vrouw

 

 

Gedetailleerde foto's

 

WE hebben een CVD/PECVD-machine met gasvoorzieningssysteem + vacuümsysteem + buisoven + plasmagenerator.
2. Buisoven (temperatuur): 1200C, 1400C, 1600C, aangepaste temperatuur is beschikbaar.
3. Buisoven (verwarmingszone): Één zone, twee zones, drie zones, aangepast aantal verwarmingszones is beschikbaar.
4. Tube Materiaal: kwarts, korund, legering en ander materiaal van buis is aanpasbaar.
5. Buis met verschillende diameter en lengte kan worden aangepast.
6. Plasmagenerator: 100 W, 150 W, 300 W, 500 W, 1000 W, en andere kracht van de plasmagenerator is aanpasbaar.
Flowmeter: 1 tot 3 of meerkanaals flowmeter is optioneel op basis van uw proces.

Bedrijfsprofiel

Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. is een uitgebreid bedrijf dat ontwerp, onderzoek en ontwikkeling, productie en verkoop integreert.

De belangrijkste producten van ons bedrijf zijn: Spin coater, thermische verdampingscoater , magnetron sputter  coater, plasma sputter coater, E-beam verdampingscoater, PLD-lasercoatingmachine, plasmareiniger, CVD-systeem, PECVD -systeem, diamantdraadsnijmachine, smeltoven/fornuis, vlamboogoven, etc.

Onze producten worden op grote schaal gebruikt op het gebied van materiaalwetenschappelijk onderzoek. We hebben een uitgebreide samenwerking met binnenlandse universiteiten, laboratoria en nieuwe materiaalbedrijven. Het is met succes geëxporteerd naar meer dan 20 landen en regio's, waaronder de Verenigde Staten, het Verenigd Koninkrijk, Duitsland, Rusland, Zwitserland, Canada,  Brazilië, enz. en hebben langdurige samenwerkingsrelaties met lokale dealers opgezet.

Als u materiaalonderzoek verricht, neem dan contact met ons op en wij zullen u diensten op maat bieden om uw onderzoekexperimenten soepeler te maken!

Verpakking en verzending

We kunnen de CVD, PECVD machine over zee, door de lucht, over land en per Express verzenden, ook kunnen we de verzending regelen op basis van uw wensen.

VEELGESTELDE VRAGEN

V. bent u fabrikant of handelsbedrijf?
A. we zijn professionele fabrikant van laboratoriuminstrumenten, we hebben een professioneel R&D-team en een workshop, die de quulaity en after-sale service kunnen beloven.  

V. Hoe is uw garantie?
A.  onze garantie is 12 maanden en biedt levenslange onderhoudsbeurten. We bieden 24 uur on line service.

V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?
A. 5-10 dagen in de winkel. Producten op maat---- het duurt meestal 30-60 dagen, afhankelijk van uw behoeften.

V. voeding en stekker?
A. we kunnen producten leveren die voldoen aan uw lokale voltage- en stopnormen.

V. Hoe te betalen?
A.  T T, L / C, D / P, ENZ.

V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?
A.  Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking of als uw eisen.

Neem contact met ons op.

ZULLEN WE UW PROJECT BESPREKEN?

Neem contact met ons op en we kunnen samenwerken om u de antwoorden en oplossingen te geven die u nodig hebt.
Hoe kunnen we u helpen uw doelen te bereiken? Welke technische obstakels kan ons technische team u helpen te overwinnen? Druk op de knop 'Get in Touch' om contact met ons op te nemen. We horen graag over uw onderzoek en helpen u op welke manier dan ook.