Coating-systeem voor de verdamping van de elektronenbundel van het oxide met hoog vacuüm

• After-sales Service: on-Line Service
• Warranty: One Year
• Type: Thermal Evaporation Coater
• Bekleding: Vacuum Coating
• Substraat: Staal
• Certificaat: CE
• Model NR.: TN-X-EIB500
• Conditie: Nieuw
• productnaam: Vacuum Evaporation Coater
• verdampingsbron: elektronenbundel
• Evaporation Current: 300 a.
• grootte van voorbeeldtabel: 150 mm
• vol.: 3 Phase380V, 50Hz
• ultieme zuigkracht: 1.0e-5PA
• materiaal van de kamer: sus304
• kamergrootte: 500 x 500 mm
• achteruitrij-pomp: tweetraps schoepenpomp
• secundaire pomp: moleculaire pomp van de turbo
• Transportpakket: Fumigated Wooden Box
• Specificatie: 1300*1000*1700mm
• Handelsmerk: TN
• Oorsprong: China
• Gs-Code: 8402111000
• Productiecapaciteit: 10 Set Per Month

Beschrijving

Productbeschrijving

Elektronenbundel (e-beam) Evaporatie--OVERZICHT

Tijdens een ebeam-verdampingsproces wordt de stroom eerst door een gloeidraad van wolfraam geleid, wat leidt tot joule-verwarming en elektronenuitstoot. Er wordt hoge spanning toegepast tussen de gloeidraad en de haard om deze vrijgezette elektronen te versnellen naar de kroes die het materiaal bevat dat moet worden afgezet. Een sterk magnetisch veld concentreert de elektronen in een Verenigde straal; bij aankomst wordt de energie van deze elektronenbundel overgebracht naar het afzettingsmateriaal, waardoor het verdampt (of sublimeer) en zich op het substraat afzet. Het toevoegen van een partiële druk van reactief gas, zoals zuurstof of stikstof, aan de kamer tijdens verdamping kan worden gebruikt om niet-metalen films reactief af te zetten.

Hoog vacuüm oxide elektronenbundel verdampingscoatingsysteem

Elektronenbundel verdamping heeft veel voordelen boven resistieve thermische verdamping. Ten eerste kan de bron van de elektronische straal materialen tot veel hogere temperaturen verwarmen dan mogelijk is met een resistieve boot of een kroes-verwarmer. Dit maakt zeer hoge depositiesnelheden en verdamping van materialen met hoge temperaturen en vuurvaste metalen zoals wolfraam, tantaal of grafiet mogelijk. Ten tweede kunnen films die worden afgezet door verdamping van elektronenstralen de zuiverheid van het bronmateriaal beter handhaven; waterkoeling van de kroes beperkt de elektronenbundelverwarming strak tot alleen het gebied dat door het bronmateriaal wordt ingenomen, waardoor ongewenste verontreiniging van naburige componenten wordt geëlimineerd. Tenslotte zijn er evaporatiebronnen voor elektronenstralen beschikbaar in verschillende maten en configuraties, waaronder enkele of meerdere zakken. Pocket indexering met behulp van een gemotoriseerde carrousel stelt één bron in staat om veel materialen van één enkele bron te deponeren.

E-beam verdamping is beschikbaar op een verscheidenheid aan PVD-platforms en voor vele toepassingen, waaronder metallisatie, diëlektrische coating, optische coatings en Josephson junctions.
 

Productparameters

Specificaties van thermische verdampingscoater

Productnaam	Hoog vacuüm oxide elektronenbundel verdampingscoatingsysteem
Productmodel	CY-X-EIB500
Servicestatus	De omgevingstemperatuur varieerde van 5 tot 40 °C.
Bron	Driefasige 380 V.
Spanning	220 V 50 HZ
Vermogen	<20 kW
Watermeter	<2,5 bar
Bewaking van de plated layer	Bij gebruik van een SQM160-monitor voor de membraandikte is de inhomogeniteit van de laagdikte minder dan 6%.
Warmtelamp	Vier halogeenlampen werden gebruikt voor ontgassen en één neonlamp voor verlichting
De elektrodeinterface	Met een 2-weg metalen verdampingselektrode-interface, back-up
Waterkoelsysteem	Bewaking van de waterdruk
Observatievenster	Diameter van 100 mm, met röntgenfilterglas
Regelsysteem	Touchscreen-systeem
Afmetingen van de vacuümkamer	Afmetingen van de verdampingskamer: φ 500 * H500mm
Elektronenpistool	Nieuw elektronisch pistool, een 6-holes kroes
Neem een voorbeeld van een draaitafel	Monstergrootte: <150 mm, de monstertafel kan draaien, het oppervlak van de monstertafel en de oppervlakteafstand van het elektronenpistool kunnen omhoog en omlaag worden versteld, de afstelafstand is 200mm-250mm, de monstertafel kan worden verwarmd, verwarmingstemperatuur <500ºC.
Vacuümgraad van het systeem	A. Beperk vacuüm: Gedurende 12 tot 24 uur bakken, continu pompen, vacuüm minder dan 5 tot 5 Pa B. Extractiesnelheid: Een vacuüm <5 x 10 in 40 minuten, te beginnen bij de atmosfeer-4 Pa C. leksnelheid van het systeem: Meet na 12 uur uitschakelen de vacuümgraad van de vacuümkamer <10 Pa
De vacuümeenheid	FB1200 Moleculaire pomp + VRD-16 voorste stage pomp + zijde afzuigklep + schuifklep + afsluitventiel + composiet vacuümmeter + coating-bewaking interface vacuümmeter (stand-by)

Aangepast verdampingscoatingsysteem is beschikbaar!

Gedetailleerde foto's

Bedrijfsprofiel

VEELGESTELDE VRAGEN

V. bent u fabrikant of handelsbedrijf?
A. we zijn professionele fabrikant van laboratoriuminstrumenten, we hebben een professioneel R&D-team en een workshop, die de quulaity en after-sale service kunnen beloven.  

V. Hoe is uw garantie?
A.  onze garantie is 12 maanden en biedt levenslange onderhoudsbeurten. We bieden 24 uur on line service.

V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?
A. 5-10 dagen in de winkel. Producten op maat---- het duurt meestal 30-60 dagen, afhankelijk van uw behoeften.

V. voeding en stekker?
A. we kunnen producten leveren die voldoen aan uw lokale voltage- en stopnormen.

V. Hoe te betalen?
A.  T T, L / C, D / P, ENZ.

V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?
A.  Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking of als uw eisen.

Neem contact met ons op.

WE WILLEN GRAAG IETS OVER UW PROCES HOREN!  

Neem contact met ons op en we kunnen samenwerken aan uw project. Als we samenwerken, kunnen er verbazingwekkende dingen gebeuren. Uw briljante ideeën met ons innovatieve team zullen het instrument creëren dat uw onderzoek of productie naar een hoger niveau brengt. We kijken er naar uit van u te horen.