| After-sales service: | on line service |
|---|---|
| Garantie: | een jaar |
| Type: | magnetron-sputtering |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Gecontroleerde Leverancier Gecontroleerd door een onafhankelijk extern inspectiebureau
Hoog vacuüm drie doel magnetron sputter systeem met massastroom meter voor filmdepositie
MAGNETRON-SPUTTERING: OVERZICHT
Sputtering is een op plasma gebaseerd depositieproces waarbij energetische ionen naar een doel worden Versneld. De ionen slaan het doel en atomen worden uitgeworpen (of gesponterd) van het oppervlak. Deze atomen reizen naar het substraat en nemen in de groeiende film op.
Kenmerken van de magnetron-sputtering-coater:
1. Drievoudige magnetron-sputtering coater is een kosteneffectieve magnetron-sputtering coating-apparatuur. Het is gestandaardiseerd, modulair en aanpasbaar.
Er zijn magnetron -doelen van 1 inch, 2 inch en 3 inch. U kunt het doel kiezen op basis van de grootte van het te coaten substraat.
3. De magnetron-sputtering-coater is uitgerust met een gelijkstroom van 500 W en een RF-vermogen van 500 W. De gelijkstroom wordt gebruikt voor de geleidende materialen en de RF-stroom wordt gebruikt voor de isolatiematerialen. Vermogen van 300 W tot 1000 W in overeenstemming met uw vereisten.
4. De magnetron-sputtering-coater is uitgerust met een tweekanaals zeer nauwkeurige massameter. De vier-kanaals massameters zijn
beschikbaar
De magnetron-sputtering-coater is uitgerust met een turbo-moleculaire pomp, en het uiteindelijke vacuüm is tot 10E-5Pa, andere typen moleculaire pompen zijn verkrijgbaar voor aankoop.
Het gaspad van de moleculaire pomp wordt geregeld door meerdere magneetkleppen, u kunt de kamer openen om het monster zonder te nemen
de pomp uitschakelen.
7. Dit product kan worden uitgerust met een geïntegreerde industriële computer om het systeem te besturen. 
Specificaties van magnetron-sputtering-coater:
| Sample-fase | Grootte | Diam. 140 mm |
| Verwarmingstemperatuur | Max. 500 ºC | |
| Temperatuurnauwkeurigheid | ±1 ºC | |
| Draaisnelheid | 1-20 tpm instelbaar | |
| Magnetron-sputterkop | Hoeveelheid | 2 x 3 (optioneel 1 inch, 2 inch) |
| Koelmodus | Waterkoeling | |
| Waterkoeler | Circulerende waterkoeler met een debiet van 10 l/min. | |
| Vacuümkamer | Kamergrootte | Dia. 300 mm × 300 mm |
| Materiaal van de kamer | Roestvrij staal | |
| Horlogevenster | Diam. 100 mm | |
| Openingsmodus | Bovenklep open | |
| Massameter | 2 kanalen; meetbereik 100SCCM; 100SCCM (kan worden aangepast aan de behoeften van de klant) | |
| Vacuümsysteem | Model | TN-GZK103-A |
| Moleculaire pomp | CY-600 | |
| Achteruitpomp | Schoepenpomp | |
| Ultieme zuigkracht | 1,0E-5Pa | |
| Pompinterface | CF160 | |
| Uitlaatinterface | KF40 | |
| Vacuümmeting | Samengestelde vacuümmeter | |
| Voeding | AC;220 V 50 Hz | |
| Pompsnelheid | Moleculaire pomp: Roterende schoepenpomp 600 l/s.: 1.1L/s. Uitgebreide pompprestaties: Zuig tot 1,0E-3Pa in 20 minuten |
|
| Configuratie van het vermogen | Hoeveelheid | DC-voeding x2 RF-voeding x1 |
| Max. Uitgangsvermogen | DC 500 W, RF 500 W. | |
| Andere parameters | Voedingsspanning | AC220 V, 50 Hz |
| Totaal vermogen | 4 KW | |
| Totale grootte | 600 mm × 650 mm × 1280 mm | |
| Totaal gewicht | Ongeveer 300 kg | |
WE hebben magnetron-sputtering coater met 1 doel, 2 doelen, 3 doelen, 4 tagrst, etc. doel kan worden ontworpen aan de boven- of onderkant van de kamer.
2. DC-vermogen van 0 tot 1000 W of RF-vermogen is beschikbaar. Bias-functie is optioneel.
3. Doelgrootte: 1 inch, 2 inch, 3 inch, 4 inch, enz.
Sterke magnetische target en pernanent magenetic target zijn optioneel.
Magnetron sputtering coater met verdamping, E-beam is beschikbaar.
Service op maat is altijd beschikbaar!
We kunnen het magnetron sputter systeem per land, per zee, per lucht, per expressschip ook regelen pakket en verzending volgens uw wensen.
V. bent u fabrikant of handelsbedrijf?
A. we zijn professionele fabrikant van laboratoriuminstrumenten, we hebben een professioneel R&D-team en een workshop, die de quulaity en after-sale service kunnen beloven.
V. Hoe is uw garantie?
A. onze garantie is 12 maanden en biedt levenslange onderhoudsbeurten. We bieden 24 uur on line service.
V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?
A. 5-10 dagen in de winkel. Producten op maat---- het duurt meestal 30-60 dagen, afhankelijk van uw behoeften.
V. voeding en stekker?
A. we kunnen producten leveren die voldoen aan uw lokale voltage- en stopnormen.
V. Hoe te betalen?
A. T T, L / C, D / P, ENZ.
V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?
A. Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking of als uw eisen.
IS MAGNETRON HET JUISTE PROCES VOOR UW WERK?
Neem contact met ons op en we kunnen samenwerken aan uw project.
Hoe kunnen we u helpen uw doelen te bereiken? Welke technische obstakels kan ons technische team u helpen te overwinnen? Druk op de knop 'Get in Touch' om contact met ons op te nemen. We horen graag over uw onderzoek en helpen u op welke manier dan ook.
