Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Gecontroleerde Leverancier Eén doel DC magnetron sputtering coater apparatuur is een kosteneffectieve magnetron sputtering coating apparatuur onafhankelijk onderzocht en ontwikkeld door ons bedrijf. Het heeft de kenmerken van standaardisatie, modularisatie en maatwerk. Magnetron-doelen kunnen worden geselecteerd van 1 inch, 2 inch en 3 inch, en klanten kunnen kiezen op basis van de grootte van het geplateerde substraat; de voeding is een 1500 W krachtige gelijkstroomvoeding, die kan worden gebruikt voor een krachtige metaalsputtering. Afhankelijk van de experimentele vereisten kunnen DC- of RF-voedingen van andere specificaties ook worden geselecteerd om coatingbewerkingen van verschillende materialen te realiseren.
Het coatinginstrument heeft twee zeer nauwkeurige massaflowmeters, en klanten kunnen het gaspad van maximaal vier massaflowmeters aanpassen als ze andere eisen hebben om te voldoen aan de eisen van de constructie van een complexe gasomgeving; Het instrument is standaard uitgerust met een geavanceerde troebellulaire pompset, en het ultieme vacuüm kan 1,0E-5Pa bereiken. Tegelijkertijd zijn er andere soorten moleculaire pompen verkrijgbaar. Het gaspad van de moleculaire pomp wordt geregeld door meerdere solenoïdekleppen, die de holte kunnen openen om monsters te nemen zonder de pomp uit te schakelen, wat uw werkefficiëntie aanzienlijk verbetert. Dit product kan worden uitgerust met een geïntegreerde industriële besturingscomputer om het systeem te besturen. Het computerprogramma kan de meeste functies realiseren, zoals de regeling van de vacuümpompgroep en de regeling van de sputtering-voeding, die de efficiëntie van uw experiment verder kan verbeteren.
Toepassingsgebied van enkelvoudige magnetron-sputtering-coater:
Eén doel DC magnetron sputtering coater kan worden gebruikt voor het bereiden van enkellaagse ferroelektrische films, geleidende films, legering films, etc. vergeleken met soortgelijke apparatuur wordt dit single-target magnetron sputtering coatinginstrument niet alleen veel gebruikt, maar heeft ook de voordelen van kleine afmetingen en eenvoudige bediening. Het is een ideale apparatuur voor laboratoriumvoorbereiding van dunne materiaalfilms, en is vooral geschikt voor laboratoriumonderzoek naar vaste elektrolyten en OLED, enz.
| Eén doel DC-magnetron-instrument met sputter-coating | ||
| Sample-fase | Afmetingen | φ100mm |
| Verwarmingsbereik | Kamertemperatuur ~ 500ºC | |
| Instelbare snelheid | 1-20 tpm instelbaar | |
| magnetisch controle doel pistool |
Doelvlak | Doel rond vlak |
| Sputterend vacuüm | 10 Pa~0,2 Pa | |
| Doeldiameter | 50 ~ 50,8 mm | |
| Doeldikte | 2 tot 5 mm | |
| Isolatiespanning | >2000 V. | |
| Kabelspecificaties | SL-16 | |
| Doeltemperatuur van de kop | <=65ºC | |
| echt nul Holte lichaam |
Behandeling van binnenwanden | Elektrolytisch polijsten |
| Caviteitsgrootte | φ254mm × 300 mm | |
| Caviteitsmateriaal | 304 roestvrij staal | |
| Observatievenster | Kwartsvenster, diameter φ100mm | |
| Open methode | Bovenste opening, extra cilindersteun | |
| gas lichaam controle systeem |
Doorstroomregeling | Massaflowmeter, bereik 0~200SCCM argon gas |
| Type regelklep | Solenoïdeklep | |
| Statische status van regelklep | Normaal gesloten | |
| Lineariteit meten | ±1.5% F.S. | |
| Herhaalbaarheid van metingen | ±0.2% F.S. | |
| De responstijd meten | ≤8 seconde (T95) | |
| Werkdrukbereik | 0,3 MPa | |
| Druk in klephuis | 3 MPa | |
| Bedrijfstemperatuur | (5~45)ºC | |
| Materiaal van de carrosserie | Roestvrij staal 316L | |
| Leksnelheid klephuis | 1×10-8Pa.m3/s | |
| Pijpverbindingen | 1/4″compressieaansluiting | |
| Ingangs- en uitgangssignaal | 0 TOT 5 V. | |
| Voeding | ±15 V(±5%)(+15 V 50 mA, -15 V 200 mA) | |
| Totale afmetingen mm | 130 (breedte) × 102 (hoogte) × 28 (dikte) | |
| Communicatie-interface | RS485 MODBUS-protocol | |
| Gelijkstroomvoeding | Vermogen | 500 W. |
| Uitgangsspanning | 0 ~ 600 V. | |
| Lengte van de distributie | 65000 seconde | |
| Begintijd | 1~10 seconde | |
| Meting van de dikte van de folie | Stroomvereisten | DC: 5 V(±10%) maximale stroom 400 mA |
| Resolutie | ±0,03Hz (5-6MHz),0,0136Å / meting (aluminium) | |
| Meetnauwkeurigheid | ±0.5% dikte + 1 telling | |
| Meetperiode | 100 ms~1S/tijd (kan worden ingesteld) | |
| Meetbereik | 500,000 Å (aluminium) | |
| Kristalfrequentie | 6 MHz | |
| Communicatie-interface | RS-232/485 seriële interface | |
| Cijfers weergeven | 8-cijferige LED-display | |
| Moleculaire pomp | Pompsnelheid van de moleculaire pomp | 80 L/S. |
| Nominaal toerental | 655000 tpm | |
| Trillingswaarde | <=0.1um | |
| Begintijd | <=4,5min | |
| Uitvaltijd | <7 min. | |
| Koelmethode | Luchtgekoeld | |
| Koelwatertemperatuur | <=37ºC | |
| Koelwaterdebiet | 1 l/min. | |
| Montagerichting | Verticaal ±5° | |
| Aanzuigpoort | 150 CF | |
| Uitlaataansluiting | KF40 | |
| Voorpomp | Pompsnelheid | 1,1 L/S (VRD-4) |
| Ultieme zuigkracht | 5×10-2PA | |
| Voeding | AC: 220 V/50 Hz | |
| Vermogen | 400 W. | |
| Lawaai | <=56db | |
| Aanzuigpoort | KF40 | |
| Uitlaataansluiting | KF25 | |
| Ontkoppelingsklep | Pneumatische en elektronisch geregelde luchtdrukklep is geïnstalleerd op. de vacuümkamer | |
| Het ultieme vacuüm van de hele machine | <=1×10-4Pa | |
| Vulsnelheid van de vacuümkamer | <=2,5 Pa/u. | |
| Softwaresysteem | 1 set bewakings- en beheersoftware | |
| Testdoel | 2 koperen doelen met een diameter van 2 inch en een dikte van 3 mm | |
Opmerkingen:
We hebben magnetron sputtering coater met 1 doel, 2 doelen, 3 doelen, doel kan worden ontworpen aan de boven- of onderkant van de kamer.
2. DC-vermogen of RF-vermogen is beschikbaar
3. Ander doelmateriaal is facultatief
4. Een sterk magnetisch doel en een permanent magnetisch doel zijn optioneel
5. Magnetron-sputtering -coater met verdampingsbron is beschikbaar
Service op maat is altijd beschikbaar!
V. bent u een fabrikant of een handelsmaatschappij?
A. wij zijn professionele fabrikanten van laboratoriuminstrumenten, met een eigen ontwerpteam en fabriek met een volwassen technische ervaring, en kunnen de kwaliteit van producten en de optimale prijs garanderen.
V. Hoe is het aftersales-servicesysteem van uw bedrijf?
A. de garantieperiode van het product is 12 maanden, we kunnen levenslange onderhoudswerkzaamheden uitvoeren. We hebben professionele pre-sales- en aftersales-afdelingen die binnen 24 uur op u kunnen reageren om eventuele technische problemen op te lossen.
V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?
A.1. Als de goederen op voorraad zijn, is het 5-10 dagen. We kunnen onze klanten op maat gemaakte diensten aanbieden. Het duurt gewoonlijk 30-60 dagen, afhankelijk van de specificaties van het aangepaste instrument.
V. de stroomvoorziening en stekker in ons land zijn verschillend. Hoe lost u het op?
A. we kunnen een transformator en stekker leveren volgens uw lokale vereisten, afhankelijk van de stekker van verschillende landen.
V. Hoe te betalen?
A.T / T, L / C, D / P, enz., wordt aanbevolen om Made in China Trade Guarantee te gebruiken.
V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?
A.1. Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking 2. Express, lucht, zee scheepvaart volgens de eisen van de klant, vinden de meest geschikte manier.
Neem voor meer vragen contact met ons op.
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Gecontroleerde Leverancier 
