Labmagnetron Sputtering Coater met monstertransmissie voor het Sem-monster

• After-sales Service: on-Line Service
• Warranty: One Year
• Type: magnetron-sputtering
• Bekleding: Vacuum Coating
• Certificaat: CE
• Conditie: Nieuw
• Model NR.: TN-MSP-DCRF
• productnaam: Magnertron Sputter Coater
• coatingmethode: magnetron-sputtering
• gelijkstroom: 500 w * 2
• rf-vermogen: 500 w*1
• kamergrootte: 325*510mm
• substraatgrootte: 150 mm
• Substrate Heating: Max. 500c
• doelgrootte: 2 Inch*3
• voeding: ac 220 v.
• schoepenpomp: 1,1 l/s.
• Turbo-Molecular Pump: 600 l/s.
• materiaal van de kamer: ss304
• Transportpakket: Fumigated Wooden Box
• Specificatie: 600*650*1280mm
• Handelsmerk: TN
• Oorsprong: China
• Productiecapaciteit: 20 Sets Per Month

Beschrijving

Productbeschrijving

MAGNETRON-SPUTTERING: OVERZICHT

Sputtering is een op plasma gebaseerd depositieproces waarbij energetische ionen naar een doel worden Versneld. De ionen slaan het doel en atomen worden uitgeworpen (of gesponterd) van het oppervlak. Deze atomen reizen naar het substraat en nemen in de groeiende film op.

Coatingmachine met drie magnetron-sputter met DC en RF doel

1. Drievoudige magnetron-sputtering coater is een kosteneffectieve magnetron-sputtering coating-apparatuur. Het is gestandaardiseerd, modulair en aanpasbaar.

Er zijn magnetron -doelen van 1 inch, 2 inch en 3 inch. U kunt het doel kiezen op basis van de grootte van het te coaten substraat.

3. De magnetron-sputtering-coater is uitgerust met een gelijkstroom van 500 W en een RF-vermogen van 500 W. De gelijkstroom wordt gebruikt voor de geleidende materialen en de RF-stroom wordt gebruikt voor de isolatiematerialen.  Vermogen van 300 W tot 1000 W in overeenstemming met uw vereisten.

4. De magnetron-sputtering-coater is uitgerust met een tweekanaals zeer nauwkeurige massameter. De vier-kanaals massameters zijn
   beschikbaar

De magnetron-sputtering-coater is uitgerust met een turbo-moleculaire pomp, en het uiteindelijke vacuüm is tot 10E^-5Pa, andere typen moleculaire pompen zijn verkrijgbaar voor aankoop.

Het gaspad van de moleculaire pomp wordt geregeld door meerdere magneetkleppen, u kunt de kamer openen om het monster zonder te nemen
   de pomp uitschakelen.

7. Dit product kan worden uitgerust met een geïntegreerde industriële computer om het systeem te besturen.

Productparameters

Specificaties van de coater van de enkelvoudige DC-power-magnetron-doelsputter

Bedrijfsspanning		VAC 220, 60 Hz
Sputterende vacuümkamer		Afmeting: ~ φ325xH510mm Materiaal: 304 roestvrij staal Verwerking binnenwand: Elektrolytisch polijsten Afdichtmethode: Fluorrubber afdichting Viewport (venster): 100mm (4''') met sluiter
Monsterhouder		Instelling monsterhouder midden onder , met één sluiter Monsterhouder: Dia. 150 mm Toerental: 0 tot 20 tpm instelbaar Verwarmingstemperatuur: RT~ 500oC
Magnetron-sputterpistool		Aantal: 3 sets Instelbare hoek -45°~45° Richting van de sputtering omlaag Doelmaat: Diameter 2'', dikte max.3mm
Quartz Crystal-monitor		Kanaalnummers: Één kanaal Nauwkeurigheid: 0.1Ã Meetsnelheid: 100 ms-1S instelbaar Meetbereik: 500 000Ã (Aluminium als referentie) Standaard sensor kwartskristal: 6 MHz
Vacuümsysteem	Steunpomp	Tweetraps schoepenpomp Pompsnelheid: 1,1 l/s.
	Moleculaire pomp	Pompsnelheid: 600 l/s. Nominaal toerental: 27.000 tpm Begintijd: <5 min. Koelmethode: Waterkoeling Vacuümgraad: 5*10^-4Pa
	Samengestelde vacuümmeter	Weerstandsmeter + ionisatiemeter Meetbereik: 10^-5Pa ~ 105 Pa
Gelijkstroomvoeding		Aantal: 2 sets Uitgangsvermogen: 0 ~ 500 W. Uitgangsspanning: 0 ~ 600 V. Maximale uitgangsstroom: 1 A. Begintijd: 1 tot 10 sec.
RF-voeding		Aantal: 1 set Uitgangsvermogen: 0 ~ 500 W. RF-frequentie: 13.56 MHz Matching methode: Automatisch Gereflecteerd vermogen: <=100 W. Stabiliteit van het vermogen: ±0.1%
Controller voor massastroom		Eenkanaals MFC voor Ar-gas Meetbereik: 0~200sccm
Waterkoeler		Debiet: 10 l/min. Vermogen: 0,1 kW Koelvermogen: 50 W/ºC Tankinhoud: 9 L
Controle		Automatische besturing PLC
Overgangskamer		De grootte van de kamer is voor max. 4 inch wafers. Uitgerust met één compacte moleculaire pompgroep Steunpomp: VRD-4, pompsnelheid: 1,1 l/s. Model van de moleculaire pomp: TG60F Pompsnelheid van moleculaire pomp: 60 l/s.

 

Gedetailleerde foto's

WE hebben magnetron-sputtering coater met 1 doel, 2 doelen, 3 doelen, doel kan worden ontworpen aan de boven- of onderkant van
  de kamer.
2. DC-vermogen of RF-vermogen is beschikbaar.
3. Ander doelmateriaal is facultatief
Sterke magnetische target en pernanent magenetic target zijn optioneel
5. Magnetron-sputtering -coater met verdampingsbron is beschikbaar
Service op maat is altijd beschikbaar!

 

Drievoudige magnetron-sputter met 2 x 500 W gelijkstroom en 1 x 500 W RF-vermogen

Drievoudige magnetron-sputter met 3*3 inch doel

Drievoudige magnetron-sputter met vibratieplaat

Drievoudige magnetron-sputter met overgangskamer

Bedrijfsprofiel

Verpakking en verzending

WE kunnen de magnetron-sputter over land, over zee, door de lucht, per expressschip, ook pakket en verzending regelen naar uw wensen.

VEELGESTELDE VRAGEN

V. bent u fabrikant of handelsbedrijf?
A. we zijn professionele fabrikant van laboratoriuminstrumenten, we hebben een professioneel R&D-team en een workshop, die de quulaity en after-sale service kunnen beloven.  

V. Hoe is uw garantie?
A.  onze garantie is 12 maanden en biedt levenslange onderhoudsbeurten. We bieden 24 uur on line service.

V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?
A. 5-10 dagen in de winkel. Producten op maat---- het duurt meestal 30-60 dagen, afhankelijk van uw behoeften.

V. voeding en stekker?
A. we kunnen producten leveren die voldoen aan uw lokale voltage- en stopnormen.

V. Hoe te betalen?
A.  T T, L / C, D / P, ENZ.

V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?
A.  Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking of als uw eisen.
 

Neem contact met ons op.

IS MAGNETRON HET JUISTE PROCES VOOR UW WERK?
Neem contact met ons op en we kunnen samenwerken aan uw project.

Hoe kunnen we u helpen uw doelen te bereiken? Welke technische obstakels kan ons technische team u helpen te overwinnen? Druk op de knop 'Get in Touch' om contact met ons op te nemen. We horen graag over uw onderzoek en helpen u op welke manier dan ook.