After-sales service: | on line service |
---|---|
Garantie: | een jaar |
Type: | Thermal Evaporation Coater |
Bekleding: | Vacuum Coating |
Substraat: | Staal |
Certificaat: | CE |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Laboratorium Triple Evaporation Source Vacuum Coating machine FIM Coater met Handschoenenkastje
OVERZICHT--THERMISCHE VERDAMPING
Thermische verdamping is een populaire techniek voor het afzetten van fysische dampen vanwege de eenvoud ervan. Tijdens dit proces wordt een materiaal in een omgeving met een hoog vacuüm verwarmd tot het verdampingspunt door joule-verwarming van de resistieve boot waarin het zich bevindt. De verdampte moleculen reizen vervolgens van de bron naar het substraat waar ze samen nuceren, waardoor een dunne laagje wordt gevormd. Een grote verscheidenheid aan materialen kan worden afgezet met deze techniek, zoals aluminium, zilver, nikkel, chroom, magnesium, onder vele anderen.
De coating-apparatuur bestaat uit vacuümkamer, metaal/organisch bronsysteem, monsterfasesysteem, vacuümpompset, filmdiktemonitorsysteem , apparatuurrek en elektronisch regelsysteem. De voordeur van de vacuümkamer kan worden aangesloten op het handschoenenkastje en er wordt een geïntegreerd ontwerpschema toegepast. De hele set apparatuur is compact van structuur en eenvoudig in indeling, om de rommelige verschijning van experimentele apparatuur te vermijden.
Specificaties van thermische verdampingscoater
Vacuümkamer | ||
Uiterlijk | 1 set hoogwaardige 304 roestvrijstalen D-vormige vacuümkamer, de inwendige afmeting van de vacuümkamer is D400*480 mm, de dubbele deuren voor en achter, en de achterdeur heeft een scharnierende vierkante deur, die handig is voor het reinigen van de vacuümkamer, interne debugging, onderhoud en pick-and-place monsters; Het voorportier heeft een horizontale, vierkante deur en elk voor- en achterportier is uitgerust met 1 set DN100-ramen; |
|
Onder | 2 sets interfaces voor metalen bronnen, 4 sets interfaces voor organische bronnen, 1 set interface voor moleculaire pompen, 2 sets verlichtingsinterfaces en 3 sets interfaces voor filmmuchten; | |
Naar boven | 1 set sample-stage-interface, 1 set elektrische keerplaat-interface, 1 set pneumatische keerklep-interface met hoog vacuüm; | |
Linkerkant | 1 set interface voor pneumatische flapper met hoog vacuüm. | |
2.Metal/Organic Source System | ||
Metalen bron | Aantal: 2 sets 2 sets watergekoelde koperen elektroden, compatibel met verdampingsboten (wolfraam-, molybdeen- en tantalumboten) en spiraaldraden, uitgerust met pneumatische keerplaten, 1 set gelijkstroom-voeding van 1KW (digitale display), nauwkeurigheid van de stroomregeling 1A (fijnafstelling), de stroom voldoet aan de gebruikelijke verdamping van metalen en metaaloxiden; |
|
Organische bron | Aantal: 4 sets 4CC kwartsboot, 2 voedingen voor temperatuurregeling (nauwkeurigheid van de temperatuurmeter 0.1°C), temperatuurbereik: RT~500°C (nauwkeurigheid van de temperatuurregeling ±1°C), met pneumatische keerplaat; |
|
Keerplaat | De verdampingsbron is onafhankelijk van elkaar en de keerplaat is gescheiden om kruisbesmetting te voorkomen | |
3.Sample Stage-systeem | ||
Rotatie van substraat | Het toerental is continu instelbaar van 0 ~ 30 tr/min; | |
Heffen van substraten | Elektrische hijswerkzaamheden, de afstand tussen het substraat en de verdampingsbron is 200 tot 300 mm continu instelbaar via het aanraakscherm; | |
Monsterhouder | 20*20mm substraat 8 stuks | |
Substraat-sluiter | Elektrische sluiter | |
Vacuümsysteem | ||
Vacuümpompset | 1) 1 set moleculaire pomp van 600 l/s; 2) 1 set van 8L/s-schoepenpomp 3) 1 set CF150 pneumatische schuifafsluiters met hoog vacuüm; 4) 1 set CF40 pneumatische klep met hoog vacuüm; 5) 2 sets pneumatische kleppen met hoog vacuüm KF16; 6) 1 set pneumatische klep met hoog vacuüm KF40; 7) 1 set vacuümsolenoïdeklep KF40; 8) 2 sets KF40-pompklep aansluitslangen, 1 set KF40-T-stuk; 9) 1 set digitale vacuümmeters (meetbereik: 1×105~1×10-5Pa) |
|
5.Filmdiktemonitorsysteem | ||
Foliediktemeter | 1 set driekanaals kwartskristalfilm-diktemonitor | |
Sonde voor de dikte van de folie | 3 sets CF35-thermodiktesonde voor watergekoelde film | |
Apparatuurrek | ||
1) 1 set van 40 vierkante buizen lasframe van koolstofstaal; 2) 4 universele wielen, bewegen en afstellen; 3) 4 stuks M16 voet, vergrendeld en gepositioneerd. |
||
7.Elektronisch regelsysteem | ||
Voeding van metalen bron | 1 set | |
Voeding van organische bron | 2 sets (één voor twee) | |
Voeding met keerplaat voor verdampingsbron | 1 set | |
Driekanaals kwartskristal-filmdiktemonitor | 1 set | |
Monsternametabel en de voeding van de keerplaat | 1 set | |
Voeding voor bakverlichting | 1 set | |
PLC-besturing | 1 set, uitgerust met touchscreen | |
Voeding voor volledige controle | 1 set | |
|
||
Kamergrootte | L1200* W750* H900 mm | |
Handschoenen | 1 paar | |
Grote antechamber | Binnendiameter 360 mm, lengte 600 mm | |
Kleine antechamber | Binnendiameter 150 mm, lengte 300 mm | |
9.andere parameters | ||
1) bescherming tegen faseverlies, beveiliging tegen verkeerde werking, vergrendeling van stangenstelsel en start- en stopfuncties voor vacuüm met één toets; 2) voeding: ~220V tweefasige voeding (piek 3KW); 3) watertoevoer: Kleine koeler, koelwatertemperatuur 5 ºC~35 ºC, temperatuur werkomgeving: 10 ºC~40 ºC; 4) luchttoevoer: Kleine olievrije luchtpomp, die 0.2-0,3 MPa luchtdruk levert om pneumatische kleppen aan te drijven; 5) Ultimate vacuum: 6×10-5Pa, de tijd van de atmosfeer tot 6×10-4Pa is minder dan 35 minuten (vullen met droge stikstof), neem 12 uur vacuum graden≤10Pa uit bedrijf. |
We hebben thermische verdampingscoater met 1/2/3/4/8... verdampingsbronnen, kan metaal en organisch materiaal verdampen
2. Kamermateriaal: Hoge zuiverheid kwarts--- laag vacuüm, SS304 kamer-- hoog vacuüm
3. De monitor voor de filmdikte is optioneel
4. Thermische verdamping, E-beam, magnetron-sputtering in één machine is beschikbaar
5. Er is verschillende materialen van verdampingsbronnen beschikbaar
PERSONALISEER de thermische verdampingscoater volgens uw proces is beschikbaar
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. is een uitgebreid bedrijf dat ontwerp, onderzoek en ontwikkeling, productie en verkoop integreert.
De belangrijkste producten van ons bedrijf zijn: Spin coater, thermische verdampingscoater , magnetron sputter coater, plasma sputter coater, E-beam verdampingscoater, PLD-lasercoatingmachine, plasmareiniger, CVD-systeem, PECVD -systeem, diamantdraadsnijmachine, smeltoven/fornuis, vlamboogoven, etc.
Onze producten worden op grote schaal gebruikt op het gebied van materiaalwetenschappelijk onderzoek. We hebben een uitgebreide samenwerking met binnenlandse universiteiten, laboratoria en nieuwe materiaalbedrijven. Het is met succes geëxporteerd naar meer dan 20 landen en regio's, waaronder de Verenigde Staten, het Verenigd Koninkrijk, Duitsland, Rusland, Zwitserland, Canada, Brazilië, enz. en hebben langdurige samenwerkingsrelaties met lokale dealers opgezet.
Als u materiaalonderzoek verricht, neem dan contact met ons op en wij zullen u diensten op maat bieden om uw onderzoekexperimenten soepeler te maken!
V. bent u fabrikant of handelsbedrijf?
A. we zijn professionele fabrikant van laboratoriuminstrumenten, we hebben een professioneel R&D-team en een workshop, die de quulaity en after-sale service kunnen beloven.
V. Hoe is uw garantie?
A. onze garantie is 12 maanden en biedt levenslange onderhoudsbeurten. We bieden 24 uur on line service.
V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?
A. 5-10 dagen in de winkel. Producten op maat---- het duurt meestal 30-60 dagen, afhankelijk van uw behoeften.
V. voeding en stekker?
A. we kunnen producten leveren die voldoen aan uw lokale voltage- en stopnormen.
V. Hoe te betalen?
A. T T, L / C, D / P, ENZ.
V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?
A. Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking of als uw eisen.
WE WILLEN GRAAG IETS OVER UW PROCES HOREN!
Neem contact met ons op en we kunnen samenwerken aan uw project. Als we samenwerken, kunnen er verbazingwekkende dingen gebeuren. Uw briljante ideeën met ons innovatieve team zullen het instrument creëren dat uw onderzoek of productie naar een hoger niveau brengt. We kijken er naar uit van u te horen.
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties