Lab Triple Target Coater met magnetron Target en Vibration Table Voor niet-metallische en metallische films

• After-sales service: 12 maanden
• Garantie: 12 maanden
• Type: Coating Productielijn
• Bekleding: Vacuum Coating
• Substraat: Staal
• Certificaat: CE
• Model NR.: TN-MSH300S-DCDCRF
• Conditie: Nieuw
• koelmodus: waterkoeling
• verwarmingstemperatuur: max. 500 ºc
• draaisnelheid: 1-20 tpm instelbaar
• substraatgrootte: diameter 185 mm
• vacuümkamer: roestvrij staal
• Magnetron Sputtering Target Head: 3 Magnetron Sputtering Heads
• grootte van de monsterfase: Maximum 4" Substrate Can Be Placed
• geroteerde snelheid: 1-20 Rpm (Adjustable)
• de hoogste verwarmingstemperatuur: 500ºc
• nauwkeurigheid van de temperatuurregeling: +/- 1.0 °c
• gasstroomregelaar: 2 Mass Flow Meters Installed Inside The Instrument
• vacuümpomp: a Set of Molecular Pump System, Using One-Button O
• koelsysteem: 16 l/min.
• Transportpakket: Fumigated Wooden Box
• Specificatie: 1090mm*900mm*1250mm
• Handelsmerk: TN
• Oorsprong: China
• Gs-Code: 8486209000
• Productiecapaciteit: 200/Month

Beschrijving

 Lab Triple Target Coater met magnetron Target en Vibration Table
Voor niet-metallische en metallische films

 

Korte inleiding
Drie doelmagnetron-sputtering coatinginstrumenten zijn een kosteneffectieve magnetron-sputtering coatingapparatuur die onafhankelijk door ons bedrijf is ontwikkeld, en die de kenmerken heeft van standaardisatie, modularisatie en maatwerk.

De apparatuur kan worden gebruikt voor het bereiden van enkellaagse of meerlaagse ferroelektrische films, geleidende films, legering films, halfgeleiderfilms, keramische films, diëlektrische films, optische films, oxidefilms, harde films, polytetrafluorethyleenfilms, enz.

DC-voeding kan worden gebruikt voor de voorbereiding van metaalfilms, RF-voeding kan worden gebruikt voor de voorbereiding van niet-metalen films, en de drie doelen kunnen voldoen aan de behoeften van meerlaagse of meerlaagse coating. Vergeleken met soortgelijke apparatuur wordt het drie-doels magnetron-sputtering-coatinginstrument niet alleen veel gebruikt, maar heeft het ook de voordelen van een klein volume en een eenvoudige bediening. Het is een ideale apparatuur voor het bereiden van materiaalfilms in het laboratorium.

 Technische parameters

Drie doelmagnetron-sputter-coatingmachines  (DC-voeding + RF-voeding)
Monster tabel	Sputtering-modus	De richting van de sputtering naar boven is de sample-fase boven de sputtering-doel; Middelste monsterhouder met één sluiter
	Monsterhouder	φ150mm
	Nauwkeurigheid van de regeling	±1 ºC
	Verwarmingsbereik	Kamertemperatuur ~ 500ºC
	Instelbare snelheid	1-20 tpm instelbaar
	Afstand tot doelbasis instelbaar	De afstand tussen het doel en het substraat kan zijn elektrisch afgesteld
Magnetron doelpistool	Doelvlak	Doel rond vlak
	Sputterend vacuüm	10 Pa~0,2 Pa
	Doeldiameter	50 ~ 50,8 mm
	Doeldikte	2 tot 5 mm Opmerking: Als het doelwit magnetisch materiaal is (zoals Fe, Co, Ni), mag de dikte niet meer dan 1,5 mm bedragen en is een sterk magnetisch sputterpistool vereist,   hiervoor is een toeslag nodig.
	Isolatiespanning	>2000 V.
	Hoeveelheid	2 inch*3;met shutters voor elk pistool
	Kabelspecificatie	SL-16
	Doeltemperatuur van de kop	<=65ºC
Vacuüm  kamer	Behandeling van binnenwanden	Elektrolytisch polijsten
	Kamergrootte	φ325mm * 500 mm
	Materiaal van de kamer	304 roestvrij staal
	Observatievenster	Kwartsvenster, diameter φ100mm met sluiter
	Open methode	Bovenste opening, extra cilindersteun
Gasregelsysteem	Doorstroomregeling	1-weg massaflowmeter : Zuurstof: Bereik 0~100SCCM of Argon gas: Bereik 0~200SCCM of Stikstof: Bereik 0~500SCCM (Opmerking: Om een hogere zuurstofvrije omgeving te bereiken, is het vacuüm de kamer moet minstens 3 keer met inert gas van hoge zuiverheid worden gereinigd.)
	Type gas	Argon, stikstof, zuurstof en andere inerte gassen
	Type regelklep	Solenoïdeklep
	Statische status van regelklep	Normaal gesloten
	Lineariteit meten	±1.5% F.S.
	Herhaalbaarheid van metingen	±0.2% F.S.
	De responstijd meten	≤8 seconden (T95)
	Werkdrukbereik	0,3 MPa
	Druk in klephuis	3 MPa
	Bedrijfstemperatuur	(5~45)ºC
	Materiaal van de carrosserie	Roestvrij staal 316L
	Leksnelheid klephuis	1×10-8Pa.m3/s
	Pijpverbindingen	1/4″compressieaansluiting
	Ingangs- en uitgangssignaal	0 TOT 5 V.
	Voeding	±15 V(±5%)(+15 V 50 mA,    -15 V 200 mA)
	Totale afmetingen (mm)	130 (breedte) × 102 (hoogte) × 28 (dikte)
	Communicatie -interface	RS485 MODBUS-protocol
Gelijkstroomvoeding	Voeding	500 W.
	Uitgangsspanning	0 ~ 600 V.
	Maximale uitgangsstroom	1 A.
	Lengte van de distributie	65000 S
	Begintijd	1~10 S
	Hoeveelheid	2 sets
RF-vermogen voeding	Voeding	500 W.
	Vermogensbereik	0W-500W, met automatische afstemming
	Maximaal gereflecteerd vermogen	100 W.
	RF-frequentie	13,56 MHz+/-0.005% stabiliteit
	Stabiliteit van vermogen	≤5 W.
	Harmonische component	minder dan -50 dbc
	Hoeveelheid	1 set

Gedetailleerde foto's

Bedrijfsprofiel

 

VEELGESTELDE VRAGEN

V. bent u een fabrikant of een handelsmaatschappij?

A. wij zijn professionele fabrikanten van laboratoriuminstrumenten, met een eigen ontwerpteam en fabriek met een volwassen technische ervaring, en kunnen de kwaliteit van producten en de optimale prijs garanderen.

V. Hoe is het aftersales-servicesysteem van uw bedrijf?

A.  de garantieperiode van het product is 12 maanden, we kunnen levenslange onderhoudswerkzaamheden uitvoeren. We hebben professionele pre-sales- en aftersales-afdelingen die binnen 24 uur op u kunnen reageren om eventuele technische problemen op te lossen.

V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?

A.1. Als de goederen op voorraad zijn, is het 5-10 dagen. We kunnen onze klanten op maat gemaakte diensten aanbieden. Het duurt gewoonlijk 30-60 dagen, afhankelijk van de specificaties van het aangepaste instrument.

V. de stroomvoorziening en stekker in ons land zijn verschillend. Hoe lost u het op?

A. we kunnen een transformator en stekker leveren volgens uw lokale vereisten, afhankelijk van de stekker van verschillende landen.

V. Hoe te betalen?

A.T / T, L / C, D / P, enz., wordt aanbevolen om Made-in-China Trade Guarantee te gebruiken.

V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?

A.1. Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking 2. Express, lucht, zee scheepvaart volgens de eisen van de klant, vinden de meest geschikte manier.

Bedankt voor je inspanningen om de wereld te verbeteren!
Als u vragen hebt over onze spin coater, neem dan contact met ons op.