Pecvd-coatingsysteem voor het afzetten van siliciumnitride, amorfe siliciumsilicaen microkristallijne dunne siliconfilms

• After-sales Service: 12 Months
• Warranty: 12 Months
• Toepassing: School, Laboratorium
• aangepaste: aangepaste
• certificaat: CE
• Structuur: Desktop
• Model NR.: TN-PECVD100-1200-Q
• Materiaal: Roestvrij staal
• Type: Tubular Furnace
• gastoevoersysteem: gasstroommeter
• uitgangsvermogen rf-energie: 50 w.
• vacuümpomp: vacuümpomp met bipolaire roterende schoepen
• bedrijfstemperatuur: <=1200c
• massameter: up to 5ways
• rf-frequentie: 13,56 mhz
• ultieme zuigkracht: 10^-1pa
• rf: 13,56 mhz+0.005%
• verwarmingszone: enkele verwarmingszone 200 mm
• koelmethode: geforceerde luchtkoeling
• grootte van de ovenbuis: diam. 50*1200 mm
• materiaal van de ovenbuis: kwarts met hoge zuiverheid
• Transportpakket: Standard Export Fumigation Sign Wooden Box Package
• Specificatie: 2400*800*1250mm
• Handelsmerk: TN
• Oorsprong: Henan China
• Gs-Code: 8486209000
• Productiecapaciteit: 220/Month

Beschrijving

Plasma-verbeterd CVD-coatingsysteem voor het afzetten van siliciumnitride, amorf silicium en microkristallijne dunne siliconenfilms

 

Productbeschrijving

 

Introductie van PECVD-coater:

PECVD chemische dampafzetting maakt gebruik van plasma-versterkte chemische dampafzetting technologie, die plasma met hoge energie kan gebruiken om het reactieproces te bevorderen, de reactiesnelheid effectief te verhogen en de reactietemperatuur te verlagen.

Het is geschikt voor het neerleggen van dunne films van siliciumnitride, amorf silicium en microkristallijne silicium op verschillende substraten zoals optisch glas, silicium, kwarts en roestvrij staal. Het heeft een goede kwaliteit van filmvorming, minder gaatjes en is niet makkelijk te kraken. Het is geschikt voor de bereiding van amorfe silicium en microkristallijne silicium dunne film zonnecelapparaten. Het kan op grote schaal worden gebruikt in het wetenschappelijk onderzoek en de kleine batch-voorbereiding van dunne-filmmaterialen in universiteiten en universiteiten en wetenschappelijke onderzoeksinstellingen.

 

Productparameters

 

Technische parameters van PECVD-coater:

Type	TN
Vacuümkamer	Openingsdeur aan de voorzijde, φ300mm X 300 mm, roestvrij staal kijkvenster:φ100mm met keerplaat
Vacuümpompset	Voorste pomp: Pompsnelheid van de roterende schoepenpomp is 1,1 l/s. Secundaire pomp: Pompsnelheid van de moleculaire turbopomp 600 l/s.
Het vacuüm beperken	10^Pa 10^-^4Pa (binnen 30 minuten)
Vacuüm (neerzetten)	0.133~133 Pa,aangepast volgens het proces
RF-vermogen	13,56 MHz, 500 W (automatisch)
Doorstroomregeling	Massameter (standaard Ar,0~200sccm)
Afmetingen	1100 x 800 x 1100 mm

 

Gedetailleerde foto's

 

Detailfoto's van de PECVD-coater:

 

 

Bedrijfsprofiel

 

VEELGESTELDE VRAGEN

V. bent u een fabrikant of een handelsmaatschappij?

A. wij zijn professionele fabrikanten van laboratoriuminstrumenten, hebben ons eigen ontwerpteam en onze fabriek met volwassen technische ervaring, en kunnen de kwaliteit van producten en de optimale prijs garanderen.

V. Hoe is het aftersales-servicesysteem van uw bedrijf?
A. de garantieperiode van het product is 12 maanden, we kunnen levenslange onderhoudswerkzaamheden uitvoeren. We hebben professionele pre-sales- en aftersales-afdelingen die binnen 24 uur op u kunnen reageren om eventuele technische problemen op te lossen.

V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?
A.1. Het is 5-10 dagen voor de opslag van goederen. 2. Het duurt gewoonlijk 30-60 dagen voor de aangepaste goederen, afhankelijk van de specificaties van het aangepaste instrument.

V. de stroomvoorziening en stekker in ons land zijn verschillend. Hoe lost u het op?
A. we kunnen een transformator en stekker leveren volgens de lokale vereisten van onze klant.

V. Hoe te betalen?
A.T / T, L / C, D / P, enz., wordt aanbevolen om Made in China Trade Guarantee te gebruiken.

V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?
A.1. Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking 2. Express, lucht, zee scheepvaart op basis van de wensen van de klant zullen we de meest geschikte manier vinden.

Meer vragen, neem gerust contact met mij op.