Plasma Enhanced CVD (PECVD) Graphene Tube Furnace machine met 13,56 MHz RF

• After-sales Service: 12 Months
• Warranty: 12 Months
• Application: School, Lab
• Customized: Customized
• Certification: CE
• Structure: Desktop
• Model NR.: CVD tube furnace
• Material: Stainless Steel
• Type: Tubular Furnace
• gastoevoersysteem: gasstroommeter
• uitgangsvermogen rf-energie: 50 w.
• vacuümpomp: vacuümpomp met bipolaire roterende schoepen
• bedrijfstemperatuur: <=1200c
• massameter: up to 5ways
• rf-frequentie: 13,56 mhz
• ultieme zuigkracht: 10^-1PA
• rf: 13,56 mhz+0.005%
• verwarmingszone: enkele verwarmingszone 200 mm
• koelmethode: geforceerde luchtkoeling
• grootte van de ovenbuis: diam. 50*1200 mm
• materiaal van de ovenbuis: kwarts met hoge zuiverheid
• Transportpakket: Standard Export Fumigation Sign Wooden Box Package
• Specificatie: 2400*800*1250mm
• Handelsmerk: TN
• Oorsprong: Henan China
• Gs-Code: 8486209000
• Productiecapaciteit: 220/Month

Beschrijving

Plasma Enhanced CVD (PECVD) Graphene machine met 13,56 MHz RF

Productbeschrijving

Plasma Enhanced CVD-systeem bestaat uit een plasmagenerator, een buisoven met drie verwarmingszones, een buisoven met één verwarmingszone, een RF-voeding en een vacuümsysteem.
Om de chemische reactie op een lagere temperatuur te laten plaatsvinden, wordt de activiteit van het plasma gebruikt om de reactie te bevorderen, en wordt het CVD dus PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) genoemd. Het PECVD-hulpmiddel voor het prepareren van grafietfilms ioniseert een gas dat een filmatoom bevat door middel van een RF-output van 13.56 MHz, vormt een plasma in een vacuümkamer, gebruikt een sterke chemische activiteit van het plasma, verbetert de reactieomstandigheden en gebruikt plasma-activiteit om de reactie te bevorderen, zet vervolgens een gewenste film op het substraat.

toepassingen:
Deze apparatuur kan worden gebruikt op verschillende testplaatsen, zoals de voorbereiding van grafieen, sulfide en de voorbereiding van nanometer-materiaal. Diverse films zoals SiOx, sinx, amorf silicium, microkristallijn silicium, nano-silicium, SIC, diamant-achtig, etc. kunnen op het oppervlak van een plaat of een soortgelijk gevormd monster worden afgezet, en ook p-type en n-type dooped films kunnen worden afgezet. De neergelegde folie heeft een goede uniformiteit, compactheid, hechting en isolatie. Het wordt veel gebruikt op het gebied van snijmachines, zeer nauwkeurige matrijzen, harde coatings, hoogwaardige decoratie, enz.

 

Productparameters

 

ree-heating zone tube-oven	Model	CY-O1200-50IIIT
	Materiaal van de buis	Kwarts met hoge zuiverheid
	Buisdiameter	50 mm
	Lengte van de buis	2830 mm
	Lengte van de ovenkamer	660 mm
	Lengte verwarmingszone	200 mm+200 mm+200 mm
	Bedrijfstemperatuur	0~1100ºC
	Nauwkeurigheid van de temperatuurregeling	±1 ºC
	Temperatuurregelmodus	programma voor temperatuurregeling met 30 of 50 segmenten
	Weergavemodus	LCD
	Sealmethode	304 roestvrijstalen vacuümflens
	Flensverbinding	1/4"-connector met ring, KF16/25/40-verbinding
	Vacuüm	4,4 E-3 Pa
	Voeding	AC: 220 V 50 Hz
Buisoven met één verwarmingszone	Model	CY-O1200-50IT
	Materiaal van de buis	Kwarts met hoge zuiverheid
	Buisdiameter	50 mm
	Lengte van de buis	2830 mm
	Lengte van de ovenkamer	440 mm
	Lengte verwarmingszone	400 mm
	Zone met constante temperatuur	200 mm
	Bedrijfstemperatuur	0~1100ºC
	Nauwkeurigheid van de temperatuurregeling	±1 ºC
	Temperatuurregelmodus	programma voor temperatuurregeling met 30 of 50 segmenten
	Weergavemodus	LCD
	Sealmethode	304 roestvrijstalen vacuümflens
	Flensverbinding	1/4" -connector met ring, KF16/25/40-verbinding
	Vacuüm	4,4 E-3 Pa
	Voeding	AC: 220 V 50 Hz
RF-uitvoersysteem	Vermogensbereik	0~500 W instelbaar
	Werkfrequentie	13,56 MHz+0.005%
	Werkmodus	Continue uitvoer
	Weergavemodus	LCD
	Overeenkomstige impedantie-modus	Kan overeenkomen, is de gloed gelijkmatig bedekt met drie verwarmingszones van de ovenbuizen
	Stabiliteit van vermogen	≤2 W.
	Normaal gereflecteerd vermogen	≤3 W.
	Versterkt gereflecteerd vermogen	≤70 W.
	Harmonische component	≤-50dBc
	Efficiëntie van de machine	≥70%
	Arbeidsfactor	≥90%
	Voedingsspanning / frequentie	Eenfasige AC-frequentie (187 V~153 V) 50 Hz
	Besturingsmodus	Interne besturing / PLC analoog / RS232 / 485 communicatie
	Instellingen voor stroombeveiliging	Overstroombeveiliging gelijkstroom, beveiliging tegen oververhitting van de versterker, bescherming tegen gereflecteerde voeding
	koelmethode	Geforceerde luchtkoeling
	Lengte gloed	In de Ar worden de RF-voeding en de spoel gecombineerd om te gloeien en kan de gloed de lengte van het fornuis in drie verwarmingszones vullen.
Gastoevoersysteem	Vierkanaals massameter	Massameter
	Debietbereik	MFC1-bereik: 0 tot 200 sccm   MFC2-bereik: 0~200sccm MFC3-bereik: 0 tot 500 sccm   MFC4-bereik: 0 tot 500 sccm Overeenkomend met gassen H2, CH4, N2, Ar,
	meetnauwkeurigheid	±1.5% F.S.
	Herhaalbaarheid	±0.2% FS
	Lineaire precisie	±1%F.S.
	Responstijd	≤4 s.
	Werkdruk	-0.15Mpa~0.15Mpa
	doorstroomregeling	LCD-touchscreen, digitaal display, elk kanaal bevat een naaldklep voor individuele bediening
	Inlaatinterface	Kan worden aangesloten op 1/4NPS of 6 mm RVS met buitendiameter  stalen buis
	Uitlaatinterface	Kan worden aangesloten op 1/4NPS of 6 mm RVS met buitendiameter  stalen buis
	Verbindingsmethode	Connector met dubbele ring
	Bedrijfstemperatuur	5~45ºC
	Gas premix	Uitgerust met een gasvoormenger
Uitlaatsysteem	Mechanische pomp	Schoepenpomp
	Pompsnelheid	1,1 L/S
	Uitlaatinterface	KF16
	Vacuümmeting	Weerstandsmeter
	Ultieme zuigkracht	1,0E-1Pa
	Voeding	AC: 220 V 50 Hz
	Pompinterface	KF16
Rail	Lengte van de rail	2,5 m tot 3 m. Het kan het verschuiven van één ovenpositie in het fornuis met drie verwarmingszones realiseren om een snelle temperatuurstijging en -daling te bereiken.

 

Gedetailleerde foto's

Gerelateerde foto's van  PECVD Vacuümfornuis



 

 

Bedrijfsprofiel

 

VEELGESTELDE VRAGEN

V. bent u een fabrikant of een handelsmaatschappij?

A. wij zijn professionele fabrikanten van laboratoriuminstrumenten, hebben een eigen ontwerpteam en fabriek, hebben een volwassen technische ervaring en kunnen de kwaliteit van producten en de optimale prijs garanderen.

V. Hoe is het aftersales-servicesysteem van uw bedrijf?
A. de garantieperiode van het product is 12 maanden, we kunnen levenslange onderhoudswerkzaamheden uitvoeren. We hebben professionele pre-sales- en aftersales-afdelingen die binnen 24 uur op u kunnen reageren om eventuele technische problemen op te lossen.

V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?
A.1. Als de goederen op voorraad zijn, is het 5-10 dagen. We kunnen onze klanten op maat gemaakte diensten aanbieden. Het duurt gewoonlijk 30-60 dagen, afhankelijk van de specificaties van het aangepaste instrument.

V. de stroomvoorziening en stekker in ons land zijn verschillend. Hoe lost u het op?
A. we kunnen een transformator en stekker leveren volgens uw lokale vereisten, afhankelijk van de stekker van verschillende landen.

V. Hoe te betalen?
A.T / T, L / C, D / P, enz., wordt het gebruik van Alibaba Trade Guarantee aanbevolen.

V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?
A.1. Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking 2. Express, lucht, zee scheepvaart volgens de eisen van de klant, vinden de meest geschikte manier.

Neem contact met mij op.