After-sales Service: | 12 Months |
---|---|
Warranty: | 12 Months |
Certification: | CE |
gastoevoersysteem: | gasstroommeter |
uitgangsvermogen rf-energie: | 50 w. |
koelmethode: | waterkoeling |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Roterend PECVD-buisoven
Dit product is een met plasma verrijkt roterend chemisch dampafzetting-systeem (Rotating PECVD). De ovenbuis heeft een ontwerp met variabele diameter. De diameter van de middelste buis is relatief dik en er zijn mengverdelingen, die herhaaldelijk poeder of deeltjes kunnen mengen met de rotatie van de ovenbuis. De werkbuis kan ononderbroken 360° worden gedraaid via de mechanische transmissiebediening, zodat de materialen in de buis kunnen worden geroerd en gemengd om een uniform verwarmingseffect te verkrijgen; de apparatuur is ook uitgerust met een plasmagenerator, die via inductieve koppeling op de ovenbuis is aangesloten, en het gegenereerde plasma kan de ovenbuis effectief bedekken, de activeringsenergie van de reactanten verhogen, de reactietemperatuur verlagen en de reactieefficiëntie verbeteren. De apparatuur is uitgerust met een driewegmeter voor de massastroom en een gasmengapparaat, dat kan worden gebruikt om een verscheidenheid aan gassen in de pijp te laten stromen. Tegelijkertijd is de apparatuur uitgerust met een krachtige mechanische pomp die de ovenpijp snel kan leegzuigen; de samenwerking van de pomp en het gascircuit kan meer EEN CVD-proces bereiken. Het roterende apparaat is zeer geschikt voor het continu coaten en wijzigen van poedermaterialen met CVD-methode in een omgeving die beschermd is tegen de atmosfeer.
Buisfornuis met twee temperatuurzones | Productmodel | CY-O1200-60IIC-R |
Vermogen van de apparatuur | 3 KW | |
Materiaal van de ovenbuis | Kwarts met hoge zuiverheid | |
Grootte van de ovenbuis | Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420 mm (kwarts heteromorfe buis) | |
Lengte van de ovenkamer | 440 mm | |
Lengte verwarmingszone | 200 mm+200 mm | |
Bedrijfstemperatuur | 0~1150ºC | |
Beperk de temperatuur | 1200 ºC | |
Nauwkeurigheid van de temperatuurregeling | ±1 ºC | |
Thermokoppel | Thermokoppel type K | |
Temperatuurregelmodus | 30-segments programmatemperatuurregeling, PID-parameter zelfinstelling | |
Weergavemodus | HD LCD-touchscreen in kleur | |
Sealmethode | 304 roestvrijstalen vacuümflens | |
Voeding | AC: 220 V 50 Hz | |
Rotatiesnelheid | 0 tot 13 tpm | |
Kantelhoek | 0 tot 35° | |
3-kanaals massaflowmeter | Productmodel | CY-3Z |
Aantal gaspaden | 3 kanalen | |
Type doorstroommeter | Massameter | |
Meetbereik | A-kanaal: 0~100sccm; B-kanaal: 0-200 sccm; C-kanaal: 0-500 sccm | |
Meetnauwkeurigheid | ±1.5% | |
Verschil in werkdruk | 0.1 tot 0,5 MPa | |
Pijplijn-interface | 1/4 inch-connector met ring | |
Voeding | AC220V 50 Hz | |
Vacuümsysteem | Vacuümpomp | Tweetraps schoepenpomp |
Pompsnelheid | 1,1 l/s. | |
Pomppoort | KF16 | |
Pomp het ultieme vacuüm | 10E-1Pa | |
Voeding | AC220V 50 Hz | |
RF-voeding | Signaalfrequentie | 13,56 MHz±0.005% |
Vermogensbereik | 0 ~ 500 W. | |
Maximaal gereflecteerd vermogen | 100 W. | |
RF-uitgangsinterface | 50 ohm, N-Type, vrouw | |
Stabiliteit van vermogen | ≤5 W. |
V. bent u een fabrikant of een handelsmaatschappij?
A. wij zijn professionele fabrikanten van laboratoriuminstrumenten, hebben een eigen ontwerpteam en fabriek, hebben een volwassen technische ervaring en kunnen de kwaliteit van producten en de optimale prijs garanderen.Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties