After-sales Service: | 12 Months |
---|---|
Warranty: | 12 Months |
Application: | School, Lab |
Customized: | Customized |
Certification: | CE |
Structure: | Desktop |
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Wafer -niveau grote molybdeen disulfide preparatie-apparaat
Deze apparatuur is een apparaat voor het bereiden van grote molybdeen disulfide op basis van CVD-principes ontworpen. Het omvat een buisoven met drie zones, een speciaal ontworpen ovenbuis en een set ondersteunende gascircuits. Het equipment kan het reactiegas gelijkmatig in de ovenbuis laten vrijkomen via een speciaal ontworpen leiding om de consistentie en uniformiteit van het product op de back-end wafer te garanderen. Het is de beste keuze voor molybdeen disulfide preparatie experimenten.
Productmodel | CY-O1200-120III-IC-3Z-MOS2 |
Materiaal van de ovenbuis | Kwarts met hoge zuiverheid |
Grootte van de ovenbuis | Externe grote kwartsbuis φ120mm x1000 mm Interne kleine kwartsbuis φ25mm x820 mm x7 |
Lengte temperatuurzone | Drie verwarmingszones 200 mm+200 mm+200 mm |
Nauwkeurigheid van de temperatuurregeling | ±1 ºC |
Temperatuurcurve | Onafhankelijke temperatuurregeling in drie temperatuurzones kan elke temperatuurzone worden ingesteld met een tijdscurve van 30 segmenten |
Bedrijfstemperatuur | 0~1150ºC |
Verwarmingssnelheid | ≤10 ºC/min. |
Inlaatsysteem | Driekanaals massaflowmeter AR-gas 0~500sccm N2-gas 0~200sccm H2-gas 0~200sccm Uitgerust met zeven kanalen voor gasscheiding, gaspad voor het mengen van gassen. |
Flens van de pijp van het fornuis | Roestvrijstalen watergekoelde flens, uitgerust met een KF16-vacuüminterface, mechanische vacuümmeter en roestvrijstalen naaldklep |
Stroomvereisten | AC 220 V 50 Hz 4 kW |
Besturingsmodus | 7-inch touchscreen |
Vacuümpomp | Vacuümpomp met dubbele schoepen |
Vacuüm | Theoretische ultieme vacuümgraad 10^-1Pa |
Gerelateerde foto's van PECVD Vacuümfornuis
V. bent u een fabrikant of een handelsmaatschappij?
A. wij zijn professionele fabrikanten van laboratoriuminstrumenten, hebben een eigen ontwerpteam en fabriek, hebben een volwassen technische ervaring en kunnen de kwaliteit van producten en de optimale prijs garanderen.Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties