Basis Informatie
Transportpakket
houten behuizing
Beschrijving
Productbeschrijving
Dit coatingsysteem is een ronde vacuümkamer met uitlaat aan de achterkant en een voordeurstructuur, en is gemaakt van hoogwaardig austenitisch roestvrij staal. Eén (twee) 2-inch (of 3-inch) magnetron-sputtering doelen zijn geïnstalleerd op de bovenplaat van de sputterende depositiekamer. De richting van de uitgaande straal is naar het substraat en er wordt een dunne laag op het substraat verkregen. De apparatuur heeft een eenvoudige structuur en kan worden gebruikt voor het onderzoek en de ontwikkeling van functionele films op nano-schaal met één laag en meerdere lagen, zoals hardfilms, metaalfilms, halfgeleiderfilms, diëlektrische films, composietfilms, ferromagnetische films, magnetische films en andere nieuwe dunne filmmaterialen. .
l uiteindelijke vacuümgraad: ≤6×10-5Pa (verkregen binnen 12 uur onder reinigings- en bakomstandigheden en ontgassing);
l afzuigtijd: Binnen 30 minuten, ≤6×10-4Pa;
l temperatuur van de substraat: ≤600 ºC;
l Substraatgrootte: ≤Φ3inch wafer;
l aantal substraatrekken: 1 set;
l Doelgrootte: Diameter 50 mm (optioneel 3 inch);
l aantal doelen: 1 of 2;
l grootte van de vacuümkamer: DN250*340 (kan naar behoren worden aangepast aan de feitelijke omstandigheden);
l bewegingsafstand van het substraat: ≤50 mm (axiale richting);
l hoek tussen doelas en rotatieas van substraat: Co-sputtering;
l gassysteem: 2-weg luchtinlaat, waarvan 1 voor de uitlaat wordt gebruikt;
| Item | Specificaties en beschrijving |
| Vacuümkamer | Sputterende vacuümkamer | DN220*320, de grootte kan worden aangepast aan de ontwerpeisen, de bovenklep kan worden geopend en de deur kan worden geopend |
Ultrahoog vacuüm gasklep
| DN100, elektrische regeling, optionele automatische constante-drukfunctie
|
Moleculaire pomp
| Moleculaire pomp 110 l/s of 150 l/s.
|
Mechanische pomp
| DVR16-schoepenpomp, dient ook als voorpomp en voortrap-pomp |
Keerklep
| Elektromagnetische keerklep DN25, voorpompleiding aan/uit
|
Stopklep
| elektrische afsluiter met dubbele ring van 6 mm
|
Verlichting en bakapparaat
| Optioneel
|
Verschillende soorten flenzen en observatievensters
| DN16, 35, 63, 100, 150
|
Roestvrijstalen leidingen, pijpverbindingen
| Diverse specificaties van precisie roestvaststalen buizen, balgen, pijpverbindingen
|
| Vacuümmeting en luchtinlaat | Digitale samengestelde vacuümmeter
| 5227 samengestelde vacuümmeter of geïmporteerde meter met volledig bereik optioneel
|
Metalen kale meter
| ZJ52T, ZJ27 metalen interface |
Regelaar van de massastroom
| D07-7B massaflowregelaar, bereik 100sccm
|
Leidingen en connectoren
| Gemengde gaskamer
|
Stopklep
| elektrische afsluiter met dubbele ring van 6 mm
|
Inlaat- en andere bedieningsinterfaces
| Elektrische regeling drukregelklep, feedback beschikbaar
|
| Sample-rek | Roterend substraat
| Rotatie van substraten, heffen van substraatstellingen
|
Hefinrichting
| Handmatige afstelling van het heffen
|
Sputtering-verwarmingsapparaat voor substraten
| ≤600ºC verwarmingsapparaat optioneel
|
Voeding temperatuurregeling
| Japanse Shimaden-temperatuurregeling, PID-temperatuurregeling
|
| Sputtersysteem | Magnetische controle sputtering doel
| Geïntegreerd sputtering-doel, optioneel 2-inch of 3-inch, met keerplaat
|
Sputterende voeding
| 500 W optioneel DC of RF
|
Apparatuurrek
| Geïntegreerde lay-out
|
Water- en gassysteem
| Inclusief koelwatermachine
|
Regelsysteem
| Standaard handmatige, optionele automatische bediening via touchscreen |
Belangrijkste parameters van het systeem:
l uiteindelijke vacuümgraad: ≤5×10-5Pa (verkregen binnen 12 uur onder reinigings- en bakomstandigheden en ontgassing);
l afzuigtijd: Binnen 40 minuten, ≤5×10-4Pa;
l verwarmingstemperatuur van het substraat: ≤600 ºC (verwarming van de jodium wolfraamlamp);
l-substraatgrootte: ≤Φ3inch ronde wafer;
l Doelgrootte: 2 inch of 3 inch;
l aantal doelstellingen: 3;
l grootte van de vacuümkamer: 400×400×H380~450 (kan naar behoren worden aangepast aan de werkelijke omstandigheden);
l bewegingsafstand van het substraat: ≤50 mm (axiale richting);
l hoek tussen doelas en rotatieas van substraat: Co-sputtering;
l gassysteem: 4-weg luchtinlaat, waarvan 1 voor de uitlaat;
Deze kleine coatingmachine heeft een compacte structuur en een eenvoudige en elegante uitstraling. Het is eenvoudig te bedienen en onderhouden en heeft lage bedrijfskosten. Het apparaat en het elektronische besturingssysteem van dit apparaat hebben een geïntegreerd ontwerp. De hoofdeenheid bestaat uit een apparatuurrek, een pompsysteem en een vacuümkamer. Het coatingproces wordt uitgevoerd in de sputtering-vacuümkamer; het elektronische besturingsgedeelte is voorzien van een standaard besturingskast, die diverse modulaire plug-in-boxen bevat. Het systeem is krachtig en heeft stabiele prestaties.
De basisparameters van de ultra-high-vacuum magnetron sputtering coatingmachine zijn als volgt:
l Ultimate vacuüm van de coatingkamer: ≤6×10-5Pa;
l pomptijd: Binnen 30 minuten beter dan 6×10-4Pa;
l grootte van de vacuümkamer: 300×300×H350mm, de vacuümkamer is gemaakt van roestvrij staal;
l Doelgrootte en hoeveelheid: 2 φ50mm permanente magneten;
l afstand doel-substraat is instelbaar (40 tot 100 mm, aangepast aan doelpositie);
l rotatie van substraat: 0 tot 60 tpm instelbaar; uitgerust met verwarming, kan worden verwarmd tot 500 graden;
l Hoofdmachineformaat: Ongeveer 1100 mm lang × 750 mm breed × 1650 mm hoog;
l gastype: 2-weg MFC, werkgas Ar+reactiegas;
l Foliediktemeting: Uitgerust met een set quartz-kristallaagdiktemeter en een originele sonde (optioneel);
l regelsysteem: Touchscreen + PLC-besturing wordt gebruikt om het starten en stoppen van pompen, kleppen en diverse uitgangsalarmen te regelen;
Belangrijkste parameters van het systeem:
l uiteindelijke vacuümgraad: ≤5×10-5Pa (verkregen binnen 12 uur onder reinigings- en bakomstandigheden en ontgassing);
l afzuigtijd: Binnen 40 minuten, ≤5×10-4Pa;
l verwarmingstemperatuur van het substraat: ≤600 ºC (verwarming van de jodium wolfraamlamp);
l-substraatgrootte: ≤Φ3inch ronde wafer;
l Doelgrootte: 2 inch of 3 inch;
l aantal doelstellingen: 4;
l grootte van de vacuümkamer: 500×500×H450 (kan naar behoren worden aangepast aan de feitelijke omstandigheden);
l bewegingsafstand van het substraat: ≤50 mm (axiale richting);
l hoek tussen doelas en rotatieas van substraat: Co-sputtering;
l gassysteem: 4 luchtinlaten, waarvan 1 voor de uitlaat;
De basisparameters van de ultra-high-vacuum magnetron sputtering coatingmachine zijn als volgt:
l Ultimate vacuüm van de coatingkamer: ≤6×10-5Pa;
l pomptijd: Binnen 30 minuten beter dan 8×10-4Pa;
l vacuümkamer: 300 mm × 300 mm × H400mm, de vacuümkamer is gemaakt van roestvrij staal en uitgerust met een glazen observatievenster;
l Doelgrootte en hoeveelheid: 2 φ50mm permanente magneten (geïntegreerd);
l Sputtering-voeding: 2 digitale DC-sputtering voedingen van 500 W;
l Drukcontrole, uitgerust met een foliemeter en een elektrische vlinderklep voor een constante drukregeling;
l horizontale bewegingsafstand 0 tot 80 mm, uitgerust met isolatieplaat om te voorkomen dat slakken tijdens het bewegen vallen;
l Hot persen: Lagere temperatuur van de substraat: 0~600ºC continu instelbaar. De bovenste plaat wordt pneumatisch bediend om omlaag te drukken;
l formaat hoofdeenheid: Lengte 1060 mm × breedte 600 mm × hoogte 1600 mm; (de grootte wordt aangepast aan de behoeften)
l gastype: 2-weg massaflowregelaar, 2-weg luchtinlaat;
Bedrijfsprofiel
Ons bedrijf kan klanten voorzien van gediversifieerde ontwerpoplossingen voor vacuümcoatings, die flexibel co-sputtering, meerlaagse filmdepositie, isolerende films en compound film preparatie kunnen bereiken, en die voldoen aan de eisen van filmvoorbereiding op verschillende gebieden. De ontwikkelde multifunctionele verdampingscoatingmachine wordt veel gebruikt bij het onderzoek en de ontwikkeling van OLED- en OPV-producten. Op basis van de standaardconfiguratie kan ons bedrijf coatingmachines aanpassen voor specifieke doeleinden, draagbare coatinginstrumenten, testinstrumenten en niet-standaard vacuümproducten op basis van de behoeften van de klant.
Certificeringen
Verpakking en verzending
Klanttevredenheid, onze verantwoordelijkheid!
"Eenheid, discipline, initiatief en innovatie" is de essentie van de bedrijfscultuur van ACME.IT is diep geworteld in de bedrijfsfilosofie van
"Klanttevredenheid , onze verantwoordelijkheid!",het overstijgen van de verwachtingen van de klant en het winnen van het vertrouwen van veel gerenommeerde bedrijven.
ACME biedt professionele, snelle en toegewijde diensten voor elke klant.Pre-sales, verkoop en service personeel serviceafdelingen provincies, steden en regio's in het land, en het vestigen van kantoren in de klant concentratiegebieden .ACME power, service is aan uw kant.
Om een mondiale leverancier van gouden energie te creëren, neemt ACME "Technology Prioriteit,betrouwbare kwaliteit en klantassentie "als het uiteindelijke doel,houden zich aan de servicestelling Van "klanttevredenheid ",het merkimago van ACME Energy zorgvuldig vormgeven Service en bied klanten de snelste en meest efficiënte aftersales Service.DAT tegelijkertijd uitgebreide training voor de klant bieden,actief organiseren
technische uitwisselingen, gemeenschappelijke groei bereiken, enachiewin-win doelen.
1)snelle reactie:
Customer Service Engineering biedt klanten 24 uur per dag, 7 dagen per week technische productondersteuning en advies over oplossingen . De reactie van de buitendienst :
Stad: Aankomst binnen 2 uur (met serviceplaats ); binnen de provincie: Aankomst binnen 24 uur;
Buiten de provincie:binnen 48 uur aangekomen;
Bovendien heeft ACME speciale service na verkoop, die noodhulpdiensten levert, die in staat zijn om in de snelste tijd op de plaats te komen.
2)24/7 onderhoudsmechanisme:
365 dagen:dagelijkse service, volledig op zijn plaats; 24-uurs consultatiersservice , altijd ;
24 uur technische ondersteuning, verzekerd;
24-uurs on-site service om gemoedsrust te garanderen;
3)Serviceteam:
Ondersteuningsteam vóór verkoop:professioneel technisch advies vóór verkoop, verstrekt door professioneel en technisch personeel; technisch ondersteuningsteam:doordachte aftersales-service door professionele aftersales - technici;
Medewerker voor de afhandeling van klachten van klanten :acceptabele allerlei klachten van klanten,behandel deze snel en geef tijdig feedback.
4) Gehumaniseerd dienstplan
Hulp op afstand :technische ondersteuning bieden, zoals externe telefoon en post; service op locatie :onderhoud op locatie , technische ondersteuning en andere services;
Inspectiedienst:regelmatige terugkeerbezoeken en inspectiediensten aanbieden;
Stagnatiedienst: Bieden van stagnatiediensten op lange termijn die nodig zijn voor het project.
Adres:
Room 1907, Unit 1, Building 1, North Zone, Rongjian Fortune Times Center, 26688 Jingshi Road, Huaiyin District, Jinan City, Jinan, Shandong, China
Soort bedrijf:
Fabrikant/fabriek, Handelsbedrijf
Zakelijk Bereik:
Elektrotechniek & Elektronica's, Industriële Apparaturen & Onderdelen, Produceren & Verwerken Machine
Certificering Van Managementsysteem:
ISO 9001, ISO 9000, ISO 14001
Bedrijfsintroductie:
ACME is een technisch, productie- en consultancybedrijf voor voedingsproducten, een fabrikant en leverancier van wereldklasse voor wisselstroomvoeding met gestabiliseerde frequentie, voeding met variabele frequentie, luchtvaartmilitaire Dedicated IF statische voeding, gelijkstroomvoeding, voeding met frequentieregelaar, schakelende voeding (SMPS), 25Hz~1kHz ononderbroken voeding (UPS), Noodstroomvoorziening (EPS), elektronische belasting met energietoevoer, reactieve voeding en andere uitgebreide stroomvoorziening.
Door technische accumulatie en talentreserve heeft het bedrijf een team van hoogwaardige managementtalenten en R&D-talenten opgeleid. De sterke O&O-investering zorgt ervoor dat de producten voortdurend worden bijgewerkt om aan de verschillende behoeften van gebruikers te voldoen.
Internationaal uitstekend zijn is het doel van de voortdurende strijd van het bedrijf. ACME-energieproducten zijn op grote schaal gebruikt in informatie, huishoudelijke apparaten, luchtvaart, ruimtevaart, spoorwegen, elektriciteit, telecommunicatie, aardolie, chemische industrie, kolen, financiën, effecten, radio en televisie, kwaliteitsinspectie, openbare veiligheid, militair, scheepsbouw, medische en gezondheidszorg, overheidsinstellingen, onderwijs en andere systemen en industrieën, en hebben een goede reputatie.
Klanttevredenheid is ons ultieme doel!
