LSMs-160 magnetron Sputter Coating machine

• After-sales Service: 24 Months
• Warranty: 24 Months
• wafer-formaat: ≤6 inch
• Transportpakket: Carton
• Specificatie: 170*130*180
• Handelsmerk: CHHGC
• Model NR.: LSMS-160
• Oorsprong: China
• Productiecapaciteit: 5000 Pieces/Year

Beschrijving

PRODUCTINTRODUCTIE

Doel: Het gebruik van de sputtering methode om

leg een paar micron dunne film op de

oppervlak van het monster, inclusief diverse

metalen, halfgeleiders, ferromagnetisch

materialen, evenals isolerende oxiden,

keramiek en andere materialen.
PRODUCTPARAMETER

Wafer-formaat

≤6 inch

Vacuümgraad

10 -8 Torr

Fout in dikteuniformiteit

<5%

Sputterdikte

0-300 nm

Sputtermateriaal

Al, Cu, Gr, Co, Fe, Ni, PT, Ag, TiO2, NIFE en NiMn, enz.

Grootte

170 cm*130 cm*180 cm.