Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Gecontroleerde Leverancier De halogeenlamp RTP-uitgloeioven is een 6-inch wafer snelle uitgloeioven. Het maakt gebruik van innovatieve verwarmingstechnologie om een echte temperatuurmeting van het substraat te realiseren. Het heeft geen behoefte aan de temperatuurcompensatie van traditionele snelle uitgloeiende ovens. De temperatuurregeling is nauwkeurig en de temperatuur is zeer herhaalbaar. Klanten zijn onder andere veel internationale halfgeleiderbedrijven en bekende wetenschappelijke onderzoeksteams. Het is een ideale keuze voor het proces van halffabrikaten.
Technische kenmerken:
• meting van de werkelijke temperatuur van het substraat zonder traditionele temperatuurcompensatie
• infrarood halogeenlampen
• zeer uitstekende nauwkeurigheid en uniformiteit van de verwarmingstemperatuur
• snelle digitale PID-temperatuurregeling
• roestvrijstalen koude wand vacuümkamer
• goede systeemstabiliteit
• Compact structuur, klein desktopsysteem
• pc-bediening met touchscreen
• compatibel met normale druk- en vacuümomgeving is de standaardwaarde van vacuümgraad 5×10-3 Torr, en de vacuümgraad is slechts 5×10-6 Torr met behulp van tweetraps moleculaire pomp
• tot 3-kanaals gassen (MFC-regeling)
• geen kruisbesmetting, geen metaalvervuiling.
Introductie van technologie voor het meten van de temperatuur van het echte substraat:
Zoals in de bovenstaande afbeelding wordt weergegeven, bereikt de warmte die door de array-halogeenlamp wordt uitgestraald het oppervlak van het monster door het kwartsvenster en wordt het monster verwarmd. De traditionele snelle uitgloeiende oven gebruikt een thermokoppel om de temperatuur van het substraat te meten. Omdat het thermokoppel zich op een bepaalde afstand van het substraat bevindt, is de meting niet het substraat. De werkelijke temperatuur van de chip moet worden gecompenseerd door de temperatuur.
De halogeenlamp RTP-verspaningsoven maakt gebruik van een speciale vlokachtige Real T/C-KIT voor temperatuurmeting, zoals in de bovenstaande afbeelding wordt getoond, is de contactthermometer aangesloten op de vlokachtige Real T/C-KIT. De vlokachtige Real T/C-KIT bevindt zich tijdens het werken zeer dicht bij het bovenstaande monster, de array halogeenlamp straalt warmte naar het oppervlak van het monster door het kwartsvenster, het monster wordt verwarmd en de vlokachtige Real T/C-KIT wordt tegelijkertijd verwarmd. Omdat het substraat zeer dicht bij de Real T/C KIT ligt, zal er warmteoverdracht tussen hen plaatsvinden, En het thermische evenwicht zal snel bereikt worden, dus de temperatuur gemeten door de vlokachtige Real T/C KIT is oneindig dicht bij de werkelijke temperatuur van het substraat, waardoor de werkelijke meting van de temperatuur van de ondergrond gerealiseerd wordt.
| productnaam | 1200ºC RTP-uitgloeiend fornuis |
| Productnummer | CY-RTP1000-Φ300-T |
| Substraatgrootte | 6 duim |
| Basis van substraat | Quartz-naald (optionele basis van grafiet met SiC-coating) |
| Temperatuurbereik | 150 °C. |
| Verwarmingssnelheid | 10-150ºC/S. |
| Temperatuuruniformiteit | ≤±1.5% (@800ºC, siliciumwafer) ≤±1.0% (@800ºC, substraat op grafietsusceptor met SiC-coating) |
| Nauwkeurigheid van de temperatuurregeling | ≤ ±3 ºC |
| Herhaalbaarheid van de temperatuur | ≤ ±3 ºC |
| Vacuüm | 5.0E-3 Torr / 5.0E-6 Torr |
| Gastoevoer | Standaard 1-kanaals N2-purge- en koelgascircuit, geregeld door MFC (er kunnen maximaal 3 kanalen worden geselecteerd) |
| Duur van uitgloeien | ≥35 min bij 1200 ºC |
| Temperatuurregeling | Snelle digitale PID-regeling |
| Afmetingen | 890 mm x 950 mm x 1400 mm |
Type substraat:
• Silicon wafers
• Halfgeleiders voor compound-halfgeleiders
• GAN/Sapphire wafers voor LED's
• Silicon carbide wafers
• Polysiliciumwafers voor zonnecellen
• Glassubstraten
• metalen
• polymeren
• Siliciumcarbide susceptoren
Toepassingsgebieden:
Ionenimplantatie/contactannealing, snelle thermische verwerking (RTP), snelle annealing (RTA), snelle thermische oxidatie (RTO), snelle thermische nitridatie (RTN), kan worden gebruikt in verschillende omgevingen zoals vacuüm, inerte atmosfeer, zuurstof, waterstof, gemengd gas, Enz. SiAu, Sial, Simo-legeringen, laagdiëlektrische materialen, kristallisatie, verdichting, zonnecelbinding, enz.
Omdat het substraat zeer dicht bij de Real T/C KIT ligt, zal er warmteoverdracht tussen hen plaatsvinden, En het thermische evenwicht zal snel bereikt worden, dus de temperatuur gemeten door de chip Real T/C KIT is oneindig dicht bij de werkelijke temperatuur van het substraat, waardoor het substraat de werkelijke meting van de spaantemperatuur realiseert.
Zhengzhou CY Scientific instrument Co., Ltd. is opgericht in 2005 en is een bedrijf dat gespecialiseerd is in de ontwikkeling en productie van onderzoeksapparatuur voor laboratoriumtechnologie. De producten worden gemengd, geperst, verbrand, gesneden, gemalen, gepolijste, gecoate, analytische apparatuur en gerelateerde verbruiksartikelen. Tot de producten behoren apparatuur voor het sinteren van laboratoria, coatingapparatuur, enzovoort. Momenteel is het geëxporteerd naar 25 landen en regio's zoals de Verenigde Staten, Europa en Zuidoost-Azië, en is het goed ontvangen door verschillende wetenschappelijke onderzoekseenheden.
We hebben een volwassen technologie onderzoek en ontwikkeling team, het aantal technici is 33, het bedrijf heeft 150 mensen, meer dan 500 vierkante meter kantoorruimte, de fabriek beslaat een gebied van ongeveer 1,500 vierkante meter gelegen in Zhengzhou High-tech Zone Electronic Industrial Park. De producten bevinden zich voornamelijk in de onderzoeksmarkt, die wetenschappelijk onderzoek in de laboratoria van universiteiten en hogescholen dient, en kunnen ook producten aanpassen aan uw behoeften.
V. bent u een fabrikant of een handelsmaatschappij?
A. wij zijn professionele fabrikanten van laboratoriuminstrumenten, hebben een eigen ontwerpteam en fabriek, hebben een volwassen technische ervaring en kunnen de kwaliteit van producten en de optimale prijs garanderen.
V. Hoe is het aftersales-servicesysteem van uw bedrijf?
A. de garantieperiode van het product is 12 maanden, we kunnen levenslange onderhoudswerkzaamheden uitvoeren. We hebben professionele pre-sales- en aftersales-afdelingen die binnen 24 uur op u kunnen reageren om eventuele technische problemen op te lossen.
V. Hoe lang is uw levertijd? Hoe lang duurt het als ik het instrument wil aanpassen?
A.1. Als de goederen op voorraad zijn, is het 5-10 dagen. We kunnen onze klanten op maat gemaakte diensten aanbieden. Het duurt gewoonlijk 30-60 dagen, afhankelijk van de specificaties van het aangepaste instrument.
V. de stroomvoorziening en stekker in ons land zijn verschillend. Hoe lost u het op?
A. we kunnen een transformator en stekker leveren volgens uw lokale vereisten, afhankelijk van de stekker van verschillende landen.
V. Hoe te betalen?
A.T / T, L / C, D / P, enz., wordt het gebruik van Alibaba Trade Guarantee aanbevolen.
V. Hoe is het pakket goederen? Leveringsmethoden?
A.1. Standaard export fumigatie teken houten doos verpakking 2. Express, lucht, zee scheepvaart volgens de eisen van de klant, vinden de meest geschikte manier.
Neem voor meer vragen contact op met de klantenservice.
Leveranciers met geverifieerde zakelijke licenties
Gecontroleerde Leverancier 
